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      光激光拾自諧振傳感器的光學(xué)特性及優(yōu)化設(shè)計

      2009-07-15 | rar | 336 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      建立了光激、光拾自諧振多晶硅微機(jī)械傳感器的多層膜系模型, 利用該模型對傳感器的光學(xué)特性進(jìn)行了理論分析, 并對傳感器諧振微梁厚度和空腔高度進(jìn)行了優(yōu)化1
      關(guān)鍵詞　自諧振; 菲涅耳系數(shù)矩陣; 光電激勵
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