:采用“摸扳法”以對(duì)甲基苯酚、42硝基鄰苯二晴為原材料,以N ,N 二甲基甲酰胺為溶劑,在N2 保護(hù)和碳酸鉀的催化作用下,合成了酞菁分子碎片,通過(guò)質(zhì)譜分析確定了相對(duì)分子質(zhì)量為243 (理論值為243. 34) ,驗(yàn)證了工藝過(guò)程的正確性。以共溶技術(shù)將分子碎片與氯化鈀在正戊醇、DBU 作用下合成墨綠色四取代對(duì)甲苯氧基PdPc ,通過(guò)紅外吸收光譜分析驗(yàn)證了其吸收峰的測(cè)量值與理論值基本吻合,確定了合成反應(yīng)終產(chǎn)物,進(jìn)而以一定比例將PdPc 、H2 PtCl6 共溶在甲醇溶液中,在30～50 ℃下48 h 雜化合成為有機(jī)半導(dǎo)體氣敏材料。依據(jù)歐姆定律,并以激光微加工、半導(dǎo)體技術(shù)設(shè)計(jì)、制作了多孔電極平板結(jié)構(gòu),增大電極面積,降低了電極間距,比常用叉指電極結(jié)構(gòu)的電阻降低了103 倍以上,使其電導(dǎo)率接近無(wú)機(jī)半導(dǎo)體數(shù)量級(jí),利于后續(xù)電路信號(hào)采集。通過(guò)電鏡觀察了多孔電極的微觀SEM 形貌,確定其為連續(xù)、多孔的表面態(tài),氣孔在<0. 1～<2μm ,既保證了導(dǎo)電,又有透氣的特征。以真空鍍膜技術(shù)將氣敏材料形成氣敏膜,電鏡觀察其氣敏膜的微觀SEM 形貌,基本層膜厚2μm ,并有<0. 1～<5μm 微球結(jié)晶體嵌入,分布勻一,呈現(xiàn)繼續(xù)互融生長(zhǎng)趨勢(shì)。以靜態(tài)法測(cè)量其氣敏特性,結(jié)果表明傳感器對(duì)NO2 呈N 型半導(dǎo)體,0. 010 %氣體濃度下靈敏度為7. 45 倍;對(duì)NO 呈P 型半導(dǎo)體,0. 010 %氣體濃度下靈敏度為0. 25 倍;響應(yīng)時(shí)間為90s。對(duì)氣體不同的變化規(guī)律說(shuō)明其的氣敏機(jī)理與氣體性能有關(guān)。