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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>測試測量論文>三維MEMS加速度計的測試方法

      三維MEMS加速度計的測試方法

      2009-11-26 | rar | 225 | 次下載 | 10積分

      資料介紹

      文章針對一種三維MEMS 加速度計，提出了三維加速度計的測試方法，
      并根據(jù)測試結(jié)果對此加速度計進(jìn)行了性能分析。通過對其設(shè)計原理和內(nèi)部結(jié)構(gòu)的
      描述，指出該型MEMS 加速度計的結(jié)構(gòu)優(yōu)點及性能特點。針對該加速度計，作
      者設(shè)計了測試裝置，制作了測試電路，并在文章中詳細(xì)描述了測試原理及整個測
      試過程。
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