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標(biāo)簽 > 光刻技術(shù)
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,光刻技術(shù)傳遞圖形的尺寸限度縮小了2~3個(gè)數(shù)量級(jí)(從毫米級(jí)到亞微米級(jí)),已從常規(guī)光學(xué)技術(shù)發(fā)展到應(yīng)用電子束、 X射線、微離子束、激光等新技術(shù);使用波長已從4000埃擴(kuò)展到 0.1埃數(shù)量級(jí)范圍。光刻技術(shù)成為一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。
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ASML脫胎于飛利浦、成立于1984年,其唯一產(chǎn)品類型就是集成電路制造環(huán)節(jié)中最核心的設(shè)備——光刻機(jī)。光刻機(jī)設(shè)備通過光源將掩模上的電路圖曝光至涂滿光刻膠的...
Samsung 宣佈開始量產(chǎn) 10nm DRAM
Samsung 5 日宣佈正式量產(chǎn)全球首款採用 10nm 制程生產(chǎn)的 DDR4 DRAM 顆粒,加快半導(dǎo)體市場(chǎng)邁向更精密的 10nm 制程工藝之路,...
Rolith宣布安裝由SUSS MicroTec建造的第2代納米結(jié)構(gòu)原型工具
Rolith, Inc.,今天宣布成功安裝 由Rolith, Inc. 獨(dú)家授權(quán)SUSS MicroTec AG建造的第 2 代納米結(jié)構(gòu)原型工具 – R...
Molecular Imprints將為半導(dǎo)體大批量制造提供先進(jìn)光刻設(shè)備
奈米圖案成形系統(tǒng)與解決方案的市場(chǎng)與技術(shù)廠商Molecular Imprints, Inc. (MII) 宣佈,該公司已經(jīng)獲得一份包含多個(gè)壓印範(fàn)本的採購訂...
2012-09-26 標(biāo)簽:半導(dǎo)體存儲(chǔ)器光刻技術(shù)半導(dǎo)體芯片 1310 0
光刻(photoetching)是通過一系列生產(chǎn)步驟將晶圓表面薄膜的特定部分除去的工藝在此之后,晶圓表面會(huì)留下帶有微圖形結(jié)構(gòu)的薄膜。被除去的部分可能形狀...
2011-09-05 標(biāo)簽:光刻技術(shù) 4190 0
簡單的說用一定波長的波刻蝕材料就是光刻技術(shù),集成電路制造中利用光學(xué)- 化學(xué)反應(yīng)原理和化學(xué)、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到單晶表面或介質(zhì)層上,形成有效圖形...
2011-09-05 標(biāo)簽:光刻技術(shù) 5892 0
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