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光刻技術(shù)常見方法

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光刻是一種圖像復(fù)制技術(shù),是集成電路工藝中至關(guān)重要的一項工藝。簡單地說,光刻類似照相復(fù)制方法,即將掩膜版上的圖形精確地復(fù)制到涂在硅片表面的光刻膠或其他掩蔽膜上面,然后在光刻膠或其他掩蔽膜的保護下對硅片進行離子注入、刻蝕、金屬蒸鍍等。
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2023-05-18 15:49:041286

淺談光刻技術(shù)

在整個芯片制造過程中,幾乎每一道工序的實施都離不開光刻技術(shù)。光刻技術(shù)也是制造芯片最關(guān)鍵的技術(shù),占芯片制造成本的35%以上。
2023-04-26 08:57:03697

什么是光刻技術(shù)

光刻技術(shù)簡單來講,就是將掩膜版圖形曝光至硅片的過程,是大規(guī)模集成電路的基礎(chǔ)。目前市場上主流技術(shù)是193nm沉浸式光刻技術(shù),CPU所謂30nm工藝或者22nm工藝指的就是采用該技術(shù)獲得的電路尺寸。
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光刻技術(shù)簡述

光刻技術(shù)是將掩模中的幾何形狀的圖案轉(zhuǎn)移到覆蓋在半導(dǎo)體晶片表面的薄層輻射敏感材料(稱為抗蝕劑)上的過程
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箱式變壓器保養(yǎng)的常見方法和事項

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逆變器維修的常見方法

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剖析光刻機的種類與原理

用于集成電路制造的光刻機有兩種:半導(dǎo)體光刻機和光學(xué)(光刻光刻機。下面將分別介紹這兩種光刻機的相關(guān)知識。半導(dǎo)體光刻機是根據(jù)芯片制造的工藝和設(shè)備來劃分的,可以分為:193納米濕法光刻、 DUV、 ArF+ ALD等技術(shù)路線,以及傳統(tǒng)的干法光刻技術(shù)路線。
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掩膜光刻機原理及掩膜版

光刻是指利用光學(xué)復(fù)制的方法把圖形印制在光敏記錄材料上,然后通過刻蝕的方法將圖形轉(zhuǎn)移到晶圓片上來制作電子電路的技術(shù)。其中光刻系統(tǒng)被稱為光刻機,帶有圖形的石英板稱為掩膜,光敏記錄材料被稱為光刻膠或抗蝕劑。
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電路板檢測兩種常見方法

隨著表面貼裝技術(shù)的引人,電路板的封裝密度飛速增加。因此,即使對于密度不高、一般數(shù)量的電路板,電路板的自動檢測不但是基本的,而且也是經(jīng)濟的。在復(fù)雜的電路板檢測中,兩種常見方法是針床測試法和雙探針或飛
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光刻機的工作原理以及關(guān)鍵技術(shù)

導(dǎo)讀:光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。光刻是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù),在整個芯片制造工藝中,幾乎每個工藝的實施,都離不開光刻技術(shù)。 光刻機的工作原理: 利用光刻
2022-12-23 13:34:546622

光刻技術(shù)介紹 幾種常見光刻方法

前烘就是在一定溫度下,使膠膜里的溶劑緩慢地揮發(fā)出來,使膠膜干燥,并增加其粘附性和耐磨性。
2022-12-16 11:55:181793

按鍵消除抖動的常見方法

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jf_24750660發(fā)布于 2022-11-22 07:16:43

華為最新消息 EUV光刻技術(shù)新專利面市

對于光刻機難道我們真就毫無還手之力了?其實也不見得,華為最新的專利端上來了,看看這道硬菜。日前,華為一項名為“反射鏡、光刻裝置及其控制方法”的新專利公開,專利申請
2022-11-21 15:10:072470

半導(dǎo)體光刻技術(shù)的起源與發(fā)展

光刻是半導(dǎo)體工業(yè)的核心技術(shù)。自1960年Fairchild Semiconductor的羅伯特·諾伊斯發(fā)明單片集成電路以來,光刻一直是主要的光刻技術(shù)
2022-11-14 11:36:461920

計算光刻技術(shù)的發(fā)展

計算光刻 (Computational Lithography)技術(shù)是指利用計算機輔助技術(shù)來增強光刻工藝中圖形轉(zhuǎn)移保真度的一種方法,它是分辦率增強技術(shù)(ResolutionEnhancement
2022-10-26 15:46:221935

產(chǎn)生糾纏光子的常見方法

產(chǎn)生量子糾纏的設(shè)備通常體積龐大,且每次只能產(chǎn)生一對糾纏光子?,F(xiàn)在,科學(xué)家們發(fā)明了一種厚度約為一便士三分之一的裝置,它不僅可以成對產(chǎn)生復(fù)雜的糾纏光子網(wǎng),還可以將多對糾纏光子連在一起。本發(fā)明不僅可以大大簡化量子技術(shù)所需的設(shè)置,而且有助于支持更復(fù)雜的量子應(yīng)用。
2022-10-18 16:52:023233

深度解析EUV光刻工藝技術(shù)

光刻是半導(dǎo)體工藝中最關(guān)鍵的步驟之一。EUV是當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)最熱門的關(guān)鍵詞,也是光刻技術(shù)。為了更好地理解 EUV 是什么,讓我們仔細看看光刻技術(shù)。
2022-10-18 12:54:052736

光刻工藝的基本步驟

傳統(tǒng)的光刻工藝是相對目前已經(jīng)或尚未應(yīng)用于集成電路產(chǎn)業(yè)的先進光刻工藝而言的,普遍認為 193nm 波長的 ArF 深紫外光刻工藝是分水嶺(見下表)。這是因為 193nm 的光刻依靠浸沒式和多重曝光技術(shù)的支撐,可以滿足從 0.13um至7nm 共9個技術(shù)節(jié)點的光刻需要。
2022-10-18 11:20:2912687

沉浸式光刻技術(shù)是什么 原理是什么

沉浸式光刻技術(shù)是在傳統(tǒng)的光刻技術(shù)中,其鏡頭與光刻膠之間的介質(zhì)是空氣,而所謂浸入式技術(shù)是將空氣介質(zhì)換成液體。實際上,浸入式技術(shù)利用光通過液體介質(zhì)后光源波長縮短來提高分辨率,其縮短的倍率即為液體介質(zhì)的折射率。
2022-10-13 16:51:382506

光刻技術(shù)的原理及其難點分別是什么

光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來。利用光刻機發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光。
2022-09-13 11:00:214726

PCBA工廠確保采購物料原裝的常見方法

PCBA工廠確保采購物料原裝的常見方法是先核驗供應(yīng)商的資質(zhì),然后讓供應(yīng)商提供欲采購物料的原廠授權(quán)證明。在收到物料后讓倉管仔細檢查核對,避免收到氧化料、老料、型號參數(shù)不對的物料。
2022-08-20 12:09:59698

光刻工藝中使用的曝光技術(shù)

根據(jù)所使用的輻射,有不同類型的光刻方法用于曝光的:光刻(光刻)、電子束光刻、x射線光刻光刻和離子束光刻。在光學(xué)光刻技術(shù)中,有部分不透明和部分不透明的圖案掩模(光片)半透明區(qū)域被使用。紫外線輻射或氣體激光的照射以1:1的比例完成或者以4:1或10:1的比例減少。
2022-07-27 16:54:532708

用于后端光刻的新型無掩模技術(shù)分析

從 2D 擴展到異構(gòu)集成和 3D 封裝對于提高半導(dǎo)體器件性能變得越來越重要。近年來,先進封裝技術(shù)的復(fù)雜性和可變性都在增加,以支持更廣泛的設(shè)備和應(yīng)用。在本文中,我們研究了傳統(tǒng)光刻方法在先進封裝中的局限性,并評估了一種用于后端光刻的新型無掩模曝光。
2022-07-26 10:42:12887

壓印光刻技術(shù)是什么 它是如何工作的

壓印光刻是許多新興應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù),例如微光學(xué)、增強現(xiàn)實、MEMS和光電傳感器;但它是什么以及它是如何工作的?
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EUV光刻技術(shù)相關(guān)的材料

與此同時,在ASML看來,下一代高NA EUV光刻機為光刻膠再度帶來了挑戰(zhàn),更少的隨機效應(yīng)、更高的分辨率和更薄的厚度。首先傳統(tǒng)的正膠和負膠肯定是沒法用了,DUV光刻機上常用的化學(xué)放大光刻膠(CAR)也開始在5nm之后的分辨率和敏感度上出現(xiàn)瓶頸
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euv光刻機原理是什么

euv光刻機原理是什么 芯片生產(chǎn)的工具就是紫外光刻機,是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的核心設(shè)備,對芯片技術(shù)有著決定性的影響。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻機生產(chǎn)。那么euv光刻機原理是什么呢? EUV
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duv光刻機和euv光刻機區(qū)別是什么

目前,光刻機主要分為EUV光刻機和DUV光刻機。DUV是深紫外線,EUV是非常深的紫外線。DUV使用的是極紫外光刻技術(shù),EUV使用的是深紫外光刻技術(shù)。EUV為先進工藝芯片光刻的發(fā)展方向。那么duv
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USB-C常見的PCB單轉(zhuǎn)方案詳解

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一種半導(dǎo)體制造用光刻膠去除方法

本發(fā)明涉及一種去除光刻膠的方法,更詳細地說,是一種半導(dǎo)體制造用光刻膠去除方法,該方法適合于在半導(dǎo)體裝置的制造過程中進行吹掃以去除光刻膠。在半導(dǎo)體裝置的制造工藝中,將殘留在晶片上的光刻膠,在H2O
2022-04-13 13:56:42712

半導(dǎo)體光刻是什么

平版印刷術(shù)被定義為“一種從已經(jīng)準(zhǔn)備好的平坦表面(如光滑的石頭或金屬板)印刷的方法,以便油墨僅粘附在將要印刷的設(shè)計上”。在半導(dǎo)體器件制造中,石頭是硅片,而墨水是沉積、光刻和蝕刻工藝的綜合效果,從而產(chǎn)生
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PCB分析常見方法

軟件代碼有bug,可以通過人工查找,也可以通過編譯發(fā)現(xiàn),同時也可以通過代碼靜態(tài)分析工具找到錯誤或警告。
2022-03-10 17:55:132230

Futurrex高端光刻

Futurrex,成立于1985年,位總部設(shè)在美國新澤西州,富蘭克林市。 公司業(yè)務(wù)范圍覆蓋北美、亞太以及歐洲。Futurrex在開發(fā)最高端產(chǎn)品方面已經(jīng)有很長的歷史,尤其是其光刻
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中科院5nm光刻技術(shù)與ASML光刻機有何區(qū)別?

5nm光刻技術(shù)與ASML光刻機有何區(qū)別? EUV光刻機產(chǎn)能如何? 大飛_6g(聽友) 請問謝博士,EUV光刻機的產(chǎn)能是怎樣的?比如用最先進的光刻機,滿負荷生產(chǎn)手機芯片麒麟990,每天能產(chǎn)多少片?中芯國際有多少臺投入生產(chǎn)的光刻機?是1臺、5臺還是10臺呢?謝謝 謝志
2021-03-14 09:46:3023048

電路板檢測的常見方法有哪些

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是如何一步一步變成了芯片制造的卡脖子技術(shù)?本文試圖一探究竟。 光刻技術(shù)是利用光學(xué)和化學(xué)反應(yīng)的原理,以及利用化學(xué)和物理的刻蝕方法,把電路圖形制作到半導(dǎo)體基片、或者下一層介質(zhì)材料之上,經(jīng)過有序的多次光刻工序疊加,
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光刻技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀、趨勢及挑戰(zhàn)分析

近兩年來,芯片制造成為了半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的焦點。芯片制造離不開光刻機,而光刻技術(shù)則是光刻機發(fā)展的重要推動力。在過去數(shù)十載的發(fā)展中,光刻技術(shù)也衍生了多個分支,除了光刻機外,還包括光源、光學(xué)元件、光刻膠等材料設(shè)備,也形成了極高的技術(shù)壁壘和錯綜復(fù)雜的產(chǎn)業(yè)版圖。
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提高光刻機性能的關(guān)鍵技術(shù)光刻機的發(fā)展情況

作為光刻工藝中最重要設(shè)備之一,光刻機一次次革命性的突破,使大模集成電路制造技術(shù)飛速向前發(fā)展。了解提高光刻機性能的關(guān)鍵技術(shù)以及了解下一代光刻技術(shù)的發(fā)展情況是十分重要的。 光刻光刻機(Mask
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DMD無掩膜光刻技術(shù)解析

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光刻技術(shù)的原理詳細說明

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LED電子顯示屏很重要的組成部分就有LED單元板,如果單元板有問題,會直接影響LED顯示屏的整體質(zhì)量!所以,如何辨別LED單元板的好壞是LED顯示屏商家關(guān)心的問題,下面整理了一些檢測LED單元板的常見方法
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深度探究光刻技術(shù)的原理和EUV光刻技術(shù)前景

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2019-03-02 09:41:2910877

淺析光刻技術(shù)的原理和EUV光刻技術(shù)前景

光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。在整個芯片制造工藝中,幾乎每個工藝的實施,都離不開光刻技術(shù)。光刻也是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù),他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技與社會發(fā)展中,光刻技術(shù)的增長,直接關(guān)系到大型計算機的運作等高科技領(lǐng)域。
2019-02-25 10:07:535619

光刻技術(shù)的基本原理!光刻技術(shù)的種類光學(xué)光刻

光刻技術(shù)是包含光刻機、掩模、光刻材料等一系列技術(shù),涉及光、機、電、物理、化學(xué)、材料等多個研究方向。目前科學(xué)家正在探索更短波長的F2激光(波長為157納米)光刻技術(shù)。由于大量的光吸收,獲得用于光刻系統(tǒng)
2019-01-02 16:32:2322173

光刻技術(shù)的原理和EUV光刻技術(shù)前景

光學(xué)光刻是通過廣德照射用投影方法將掩模上的大規(guī)模集成電路器件的結(jié)構(gòu)圖形畫在涂有光刻膠的硅片上,通過光的照射,光刻膠的成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而生成電路圖。限制成品所能獲得的最小尺寸與光刻系統(tǒng)能獲得
2018-06-27 15:43:5011578

芯片升級神助攻 光刻技術(shù)你了解多少?

光刻技術(shù)是集成電路最重要的加工工藝。在整個芯片制造工藝中,幾乎每個工藝的實施,都離不開光刻技術(shù)光刻也是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù),占芯片制造成本的35%以上。
2018-04-22 17:54:003010

光刻技術(shù)概述及光刻技術(shù)的原理

光學(xué)光刻是通過廣德照射用投影方法將掩模上的大規(guī)模集成電路器件的結(jié)構(gòu)圖形畫在涂有光刻膠的硅片上,通過光的照射,光刻膠的成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而生成電路圖。限制成品所能獲得的最小尺寸與光刻系統(tǒng)能獲得
2018-04-17 16:07:4133297

MEMS工藝(3光刻技術(shù))

本文提到MEMS技術(shù)中所應(yīng)有的光刻技術(shù),幫助讀者了解光刻技術(shù)的原理,應(yīng)用。
2016-04-28 11:35:3210

光耦隔離的4種常見方法對比

光耦隔離的4種常見方法對比
2012-05-31 11:06:35130218

半導(dǎo)體光刻技術(shù)及設(shè)備的發(fā)展趨勢

隨著芯片集成度的不斷提高、器件尺寸的不斷縮小,光刻技術(shù)光刻設(shè)備發(fā)生著顯著變化。通過對目前國內(nèi)外光刻設(shè)備生產(chǎn)廠商對下一代光刻技術(shù)的開發(fā)及目前已經(jīng)應(yīng)用到先進生產(chǎn)線上
2011-10-31 16:38:1769

光刻技術(shù)工藝及應(yīng)用

簡單的說用一定波長的波刻蝕材料就是光刻技術(shù),集成電路制造中利用光學(xué)- 化學(xué)反應(yīng)原理和化學(xué)、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到單晶表面或介質(zhì)層上,形成有效圖形窗口或功能圖形
2011-09-05 11:25:085199

光刻技術(shù)領(lǐng)域的期盼與黯淡

擺脫光刻技術(shù)的沮喪看來遙遙無期。今天的193nm浸入式光刻技術(shù)仍然遠遠領(lǐng)先。業(yè)界一度認為193nm浸入式光刻會在32nm遭遇極限
2011-03-21 10:00:332363

光刻膠與光刻工藝技術(shù)

光刻膠與光刻工藝技術(shù) 微電路的制造需要把在數(shù)量上精確控制的雜質(zhì)引入到硅襯底上的微小 區(qū)域內(nèi),然后把這些區(qū)域連起來以形成器件和VLSI電路.確定這些區(qū)域圖形 的工藝是由光刻來完成的,也就是說,首先在硅片上旋轉(zhuǎn)涂覆光刻膠,再將 其曝露于某種光源下,如紫外光,
2011-03-09 16:43:21127

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