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光刻機(jī)

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光刻機(jī)技術(shù)

光刻是將設(shè)計(jì)好的電路圖從掩膜版轉(zhuǎn)印到晶圓表面的光刻膠上，通過曝光、顯影將目標(biāo)圖形印刻到特定材料上的技術(shù)。光刻工藝包括三個(gè)核心流程：涂膠、對(duì)準(zhǔn)和曝光以及光...

2023-03-25 標(biāo)簽：集成電路光刻機(jī)半導(dǎo)體設(shè)備 8476 0

一文詳解光刻機(jī)的工作原理

　　是的！光刻機(jī)本身的原理，其實(shí)和相機(jī)非常相似，同學(xué)們可以把光刻機(jī)就想成是一臺(tái)巨大的單反相。機(jī)。相機(jī)的原理，是被攝物體被光線照射所反射的光線，透過相機(jī)的...

2022-11-21 標(biāo)簽：光刻機(jī) 8380 0

光刻機(jī)為何在我國(guó)是個(gè)難題

　光刻機(jī)是芯片制造最為重要的設(shè)備之一。目前，ASML壟斷了全世界的高端光刻機(jī)。中國(guó)一直以來都想掌握光刻機(jī)技術(shù)，但是上海微電子經(jīng)過17年的努力，才造出90...

2020-01-29 標(biāo)簽：光敏芯片制造硅片 8370 0

光刻機(jī)的發(fā)展歷程及工藝流程

光刻機(jī)經(jīng)歷了5代產(chǎn)品發(fā)展，每次改進(jìn)和創(chuàng)新都顯著提升了光刻機(jī)所能實(shí)現(xiàn)的最小工藝節(jié)點(diǎn)。按照使用光源依次從g-line、i-line發(fā)展到KrF、ArF和EU...

2024-03-21 標(biāo)簽：芯片集成電路芯片制造 8288 0

剖析***的種類與原理

用于集成電路制造的光刻機(jī)有兩種：半導(dǎo)體光刻機(jī)和光學(xué)（光刻）光刻機(jī)。下面將分別介紹這兩種光刻機(jī)的相關(guān)知識(shí)。半導(dǎo)體光刻機(jī)是根據(jù)芯片制造的工藝和設(shè)備來劃分的，...

2023-03-03 標(biāo)簽：芯片集成電路半導(dǎo)體 8284 0

全球主要晶圓廠制程節(jié)點(diǎn)技術(shù)路線圖

雕刻電路圖案的核心制造設(shè)備是光刻機(jī)，它的精度決定了制程的精度。光刻機(jī)的運(yùn)作原理是先把設(shè)計(jì)好的芯片圖案印在掩膜上，用激光穿過掩膜和光學(xué)鏡片，將芯片圖案曝光...

2023-11-24 標(biāo)簽：臺(tái)積電晶體管光刻機(jī) 8140 0

光刻機(jī)市場(chǎng)簡(jiǎn)析國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)今年能否進(jìn)入實(shí)際生產(chǎn)環(huán)節(jié)

中科院去年宣布進(jìn)軍光刻機(jī)，相信在量子芯片、光子芯片、第三代半導(dǎo)體等領(lǐng)域中國(guó)可以實(shí)現(xiàn)彎道超車的。

2021-01-20 標(biāo)簽：光刻機(jī)28nm ASML 7180 0

關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)分析和介紹

測(cè)試設(shè)備遍布前道檢測(cè)、后道中測(cè)和后道終測(cè)。前道檢測(cè)、晶圓可接受性測(cè)試及后道終測(cè)保證芯片質(zhì)量及性能，外觀測(cè)試與電性功能測(cè)試并重。前道檢測(cè)主要指晶圓檢測(cè)...

2019-08-30 標(biāo)簽：芯片半導(dǎo)體光刻機(jī) 7119 0

光學(xué)鄰近效應(yīng)修正技術(shù)的基本知識(shí)

在上一節(jié)計(jì)算光學(xué)小講堂中，我們學(xué)習(xí)了光源掩模協(xié)同優(yōu)化（source mask co-optimization, SMO）的相關(guān)知識(shí)。這一節(jié)我們將主要探索...

2023-09-01 標(biāo)簽：OPC 光學(xué)系統(tǒng)光刻機(jī) 7037 0

用于Chiplet 3D系統(tǒng)的硅光Interposer工藝架構(gòu)介紹

這篇文章簡(jiǎn)要介紹CEA-Leti發(fā)布用于Chiplet 3D系統(tǒng)的硅光Interposer工藝架構(gòu)，包括硅光前端工藝 (FEOL)、TSV middle...

2023-08-02 標(biāo)簽：耦合器光刻機(jī)硅光子技術(shù) 7018 0

***工藝流程圖及成像過程詳解

IGBT相比MOSFET，可在更高電壓下持續(xù)工作，同時(shí)需要兼顧高功率密度、低損耗、高可靠性、散熱好、低成本等因素。一顆高性能、高可靠性與低成本的IGBT...

2023-06-06 標(biāo)簽：MOSFET IGBT 芯片制造 6845 0

中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備現(xiàn)在的狀態(tài)到底是怎么樣的

半導(dǎo)體設(shè)備位于整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的上游，在新建晶圓廠中半導(dǎo)體設(shè)備支出的占比普遍達(dá)到 80%。一條晶圓制造新建產(chǎn)線的資本支出占比如下：廠房 20%、晶圓制造...

2020-01-21 標(biāo)簽：電子元器件半導(dǎo)體光刻機(jī) 6450 0

芯片制造光刻步驟詳解

芯片前道制造可以劃分為七個(gè)環(huán)節(jié)，即沉積、涂膠、光刻、去膠、烘烤、刻蝕、離子注入。

2023-06-08 標(biāo)簽：集成電路 PAC 光刻機(jī) 6425 0

深度探究芯片的光刻技術(shù)

在集成電路的制造過程中，有一個(gè)重要的環(huán)節(jié)——光刻，正因?yàn)橛辛怂?，我們才能在微小的芯片上?shí)現(xiàn)功能。

2018-12-29 標(biāo)簽：芯片光刻機(jī) 6372 0

光刻膠和光刻機(jī)的區(qū)別

光刻膠是一種涂覆在半導(dǎo)體器件表面的特殊液體材料，可以通過光刻機(jī)上的模板或掩模來進(jìn)行曝光。

2024-03-04 標(biāo)簽：半導(dǎo)體材料半導(dǎo)體器件光刻機(jī) 6286 0

看一下EUV光刻的整個(gè)過程

EUV 光刻是以波長(zhǎng)為 10-14nm 的極紫外光作為光源的芯片光刻技術(shù)，簡(jiǎn)單來說，就是以極紫外光作“刀”，對(duì)芯片上的晶圓進(jìn)行雕刻，讓芯片上的電路變成人...

2022-10-10 標(biāo)簽：光刻機(jī)EUV ASML 6272 0

一文解析光刻機(jī)的工作原理

利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見光后會(huì)發(fā)生性質(zhì)變化，從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上，從而使薄片具有電子線路圖的作用。

2022-12-01 標(biāo)簽：集成電路光刻機(jī) 6247 0

光刻技術(shù)的詳細(xì)工序

清洗硅片（Wafer Clean）清洗硅片的目的是去除污染物去除顆粒、減少針孔和其它缺陷，提高光刻膠黏附性基本步驟：化學(xué)清洗——漂洗——烘干。

2023-04-25 標(biāo)簽：硅片光刻機(jī)光刻膠 6013 0

晶圓制造到底難在哪？

以硅晶片為例，硅從石英砂里提煉出來，在高溫下，碳和里面的二氧化硅發(fā)生化學(xué)反應(yīng)只能得到純度約為98%的純硅，這對(duì)于微電子器件來說不夠純，因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電...

2019-10-14 標(biāo)簽：硅晶片光刻機(jī)晶圓制造 5836 0

世界首臺(tái)分辨力最高紫外超分辨光刻裝備意味著什么?

剛剛研制成功的世界首臺(tái)分辨力最高紫外超分辨光刻裝備意味著什么？對(duì)國(guó)內(nèi)芯片行業(yè)有何影響？

2018-12-02 標(biāo)簽：光刻機(jī) 5806 0

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UHD是”超高清“的意思UHD的應(yīng)用在電視機(jī)技術(shù)上最為普遍，目前已有不少?gòu)S商推出了UHD超高清電視。
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STEP 7是一款編程軟件，廠商是西門子，用于西門子系列工控產(chǎn)品包括SIMATIC S7、M7、C7和基于PC的WinAC的編程、監(jiān)控和參數(shù)設(shè)置，是SIMATIC工業(yè)軟件的重要組成部分。
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LPC1114是NXP公司推出的一款A(yù)RM Cortex-M0 內(nèi)核的32位單片機(jī)。它的主頻最大可達(dá)50MHz，內(nèi)部集成時(shí)鐘產(chǎn)生單元，不用外部晶振也可以工作。
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光電探測(cè)器的原理是由輻射引起被照射材料電導(dǎo)率發(fā)生改變。光電探測(cè)器在軍事和國(guó)民經(jīng)濟(jì)的各個(gè)領(lǐng)域有廣泛用途。在可見光或近紅外波段主要用于射線測(cè)量和探測(cè)、工業(yè)自動(dòng)控制、光度計(jì)量等；在紅外波段主要用于導(dǎo)彈制導(dǎo)、紅外熱成像、紅外遙感等方面。
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　　文本顯示器，又名終端顯示器，是一種單純以文字呈現(xiàn)的人機(jī)互動(dòng)系統(tǒng)。通過文本顯示器，將所需要控制的內(nèi)容，編寫成相應(yīng)的程序，最終在文本顯示器的界面上顯示出來。這樣，不但大大提高了操作的方便性，而且能夠顯著提高工作效率。
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Motor drive組裝在照相內(nèi)的彈簧或附件，借助微型電機(jī)自動(dòng)地卷取膠片，大多是指35毫米單鏡頭反光相機(jī)所用的。拍一片格和連拍可以交替，連拍時(shí)一般一秒鐘拍3—5片格。視照相機(jī)的種類，將背部蓋子換為長(zhǎng)膠卷用片盒，即可拍250片格。
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工業(yè)路由器是一種，利用公用無線網(wǎng)絡(luò)為用戶提供無線的數(shù)據(jù)傳輸功能。已廣泛應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)鏈中的M2M行業(yè)，如智能電網(wǎng)、智能交通、智能家居、金融物聯(lián)網(wǎng)無線通信路由器、移動(dòng)POS終端、供應(yīng)鏈自動(dòng)化、工業(yè)自動(dòng)化、智能建筑、消防、公共安全、環(huán)境保護(hù)、氣象、數(shù)字化醫(yī)療、遙感勘測(cè)、農(nóng)業(yè)、林業(yè)、水務(wù)、煤礦、石化等領(lǐng)域。
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差壓變送器是一種典型的自平衡檢測(cè)儀表，它利用負(fù)反饋的工作原理克服元件材料、加工工藝等不利因素的影響。
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