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標(biāo)簽 > 光刻機(jī)
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納米壓印技術(shù),即Nanoimprint Lithography(NIL),是一種新型的微納加工技術(shù)。該技術(shù)將設(shè)計(jì)并制作在模板上的微小圖形,通過(guò)壓印等技術(shù)...
在投影光刻機(jī)照明系統(tǒng)中,均勻照明是保證加工出的線條線寬均勻一致的一項(xiàng)重要技術(shù)。通常,用于光刻機(jī)照明系統(tǒng)的勻光元件有積分棒、衍射光學(xué)元件和微透鏡陣列。積分...
2023-05-17 標(biāo)簽:照明系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計(jì)光刻機(jī) 2224 0
提到CPU性能,大部分同學(xué)想到的都是CPU利用率,這個(gè)指標(biāo)確實(shí)應(yīng)該首先被關(guān)注。但是除了利用率之外,還有很容易被人忽視的指標(biāo),就是指令的運(yùn)行效率。如果運(yùn)行...
如何評(píng)估CPU硬件效率?CPU硬件運(yùn)行效率介紹
提到CPU性能,大部分同學(xué)想到的都是CPU利用率,這個(gè)指標(biāo)確實(shí)應(yīng)該首先被關(guān)注。但是除了利用率之外,還有很容易被人忽視的指標(biāo),就是指令的運(yùn)行效率。
光刻(Photolithography) 意思是用光來(lái)制作一個(gè)圖形(工藝);在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過(guò)程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)“...
光刻機(jī)用UV光源,其通過(guò)特殊光學(xué)設(shè)計(jì)發(fā)射出接近平行光的UV平行光,使特定波段的紫外線通過(guò)掩膜掩孔對(duì)集成電路高精密線路完成蝕刻曝光顯影的工作。
光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來(lái)。利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過(guò)具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見(jiàn)光后會(huì)發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖形...
計(jì)算光刻技術(shù)有多重要?計(jì)算光刻如何改變2nm芯片制造?
光刻是在晶圓上創(chuàng)建圖案的過(guò)程,是芯片制造過(guò)程的起始階段,包括兩個(gè)階段——光掩膜制造和圖案投影。
EDA技術(shù)的核心 常見(jiàn)EDA軟件工具有哪些?
EDA技術(shù)的核心是將電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化,實(shí)現(xiàn)快速、準(zhǔn)確、方便的電路設(shè)計(jì)和仿真,以提高電路設(shè)計(jì)的效率和可靠性。通過(guò)提高EDA技術(shù)的運(yùn)用水平,可以縮短電路設(shè)計(jì)周...
2023-04-19 標(biāo)簽:eda光刻機(jī)電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化 1.3萬(wàn) 0
被卡脖子的半導(dǎo)體設(shè)備(萬(wàn)字深度報(bào)告)
光刻是將設(shè)計(jì)好的電路圖從掩膜版轉(zhuǎn)印到晶圓表面的光刻膠上,通過(guò)曝光、顯影將目標(biāo)圖形印刻到特定材料上的技術(shù)。光刻工藝包括三個(gè)核心流程:涂膠、對(duì)準(zhǔn)和曝光以及光...
2023-03-25 標(biāo)簽:集成電路光刻機(jī)半導(dǎo)體設(shè)備 8464 0
***被圍堵?國(guó)內(nèi)EDA產(chǎn)業(yè)尚未形成規(guī)模
沒(méi)有半導(dǎo)體設(shè)備的支持,芯片制造的任何一個(gè)環(huán)節(jié)都難以完成芯片的交付,但目前國(guó)產(chǎn)化率在全球市場(chǎng)中所占的比例很低。
2023-03-21 標(biāo)簽:eda光刻機(jī)半導(dǎo)體設(shè)備 642 0
DUV是深紫外線(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是極深紫外線(Extreme Ultraviolet Lithogr...
其全流程涉及了從 EUV 光源到反射鏡系統(tǒng),再到光掩模,再到對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),再到晶圓載物臺(tái),再到光刻膠化學(xué)成分,再到鍍膜機(jī)和顯影劑,再到計(jì)量學(xué),再到單個(gè)晶圓。
多自由度精密定位技術(shù)在納米計(jì)量、顯微成像、精密機(jī)床、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域具有重要地位。
用于集成電路制造的光刻機(jī)有兩種:半導(dǎo)體光刻機(jī)和光學(xué)(光刻)光刻機(jī)。下面將分別介紹這兩種光刻機(jī)的相關(guān)知識(shí)。半導(dǎo)體光刻機(jī)是根據(jù)芯片制造的工藝和設(shè)備來(lái)劃分的,...
光掩??梢员徽J(rèn)為是芯片的模板。光掩模用電子束圖案化并放置在光刻工具內(nèi)。然后,光掩模可以吸收或散射光子,或允許它們穿過(guò)晶圓。這就是在晶圓上創(chuàng)建圖案的原因。
節(jié)點(diǎn)的尺寸數(shù)值基本上和晶體管的長(zhǎng)寬成正比關(guān)系,每一個(gè)節(jié)點(diǎn)基本上是前一個(gè)節(jié)點(diǎn)的0.7倍。這樣以來(lái),由于0.7X0.7=0.49,所以每一代工藝節(jié)點(diǎn)上晶體管...
1.要讓掩模版上圖形同載片臺(tái)上硅片內(nèi)的圖形對(duì)準(zhǔn),是非常難的技術(shù)問(wèn)題; 2.I作臺(tái)要調(diào)節(jié)X、Y、Z、θ四個(gè)參數(shù); 3.快速對(duì)準(zhǔn)是提高設(shè)備產(chǎn)能的關(guān)鍵;
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