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標(biāo)簽 > 光刻機(jī)
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光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。在整個(gè)芯片制造工藝中,幾乎每個(gè)工藝的實(shí)施,都離不開(kāi)光刻的技術(shù)。光刻也是制造芯片的最關(guān)...
光刻機(jī)是芯片制造最為重要的設(shè)備之一。目前,ASML壟斷了全世界的高端光刻機(jī)。中國(guó)一直以來(lái)都想掌握光刻機(jī)技術(shù),但是上海微電子經(jīng)過(guò)17年的努力,才造出90...
光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。光刻是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù),在整個(gè)芯片制造工藝中,幾乎每個(gè)工藝的實(shí)施,都離不開(kāi)光刻的技術(shù)。
以硅晶片為例,硅從石英砂里提煉出來(lái),在高溫下,碳和里面的二氧化硅發(fā)生化學(xué)反應(yīng)只能得到純度約為98%的純硅,這對(duì)于微電子器件來(lái)說(shuō)不夠純,因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電...
關(guān)于半導(dǎo)體制程/工藝/生產(chǎn)的性能分析和介紹
說(shuō)完了 FinFET,我們還有最后一個(gè)后綴,就是昨天報(bào)道中的 LPP、LPE 了,其實(shí)這些指的都是同一代工藝中的不同種類,比如 LPE(Low Powe...
關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)分析和介紹
測(cè)試設(shè)備遍布前道檢測(cè)、后道中測(cè)和后道終測(cè)。 前道檢測(cè)、晶圓可接受性測(cè)試及后道終測(cè)保證芯片質(zhì)量及性能,外觀測(cè)試與電性功能測(cè)試并重。 前道檢測(cè)主要指晶圓檢測(cè)...
在集成電路的制造過(guò)程中,有一個(gè)重要的環(huán)節(jié)——光刻,正因?yàn)橛辛怂?,我們才能在微小的芯片上?shí)現(xiàn)功能。
眾所周知,半導(dǎo)體作為最重要的產(chǎn)業(yè)之一,每年為全球貢獻(xiàn)近五千億美金的產(chǎn)值,可以毫不夸張的說(shuō),半導(dǎo)體技術(shù)無(wú)處不在。
剛剛研制成功的世界首臺(tái)分辨力最高紫外超分辨光刻裝備意味著什么?對(duì)國(guó)內(nèi)芯片行業(yè)有何影響?
2018-12-02 標(biāo)簽:光刻機(jī) 6k 0
據(jù)cnBeta、環(huán)球網(wǎng)、快科技等多家媒體證實(shí),近日長(zhǎng)江存儲(chǔ)從荷蘭阿斯麥(ASML)公司訂購(gòu)的一臺(tái)光刻機(jī)已抵達(dá)武漢。這臺(tái)光刻機(jī)價(jià)值高達(dá)7200萬(wàn)美元,約合...
2018-11-22 標(biāo)簽:光刻機(jī) 2.1萬(wàn) 0
芯片制造到底有多難?真正的芯片制造過(guò)程十分復(fù)雜
一塊晶圓經(jīng)過(guò)數(shù)個(gè)月的加工,在指甲蓋大小的空間中集成了數(shù)公里長(zhǎng)的導(dǎo)線和數(shù)以億計(jì)的晶體管器件,經(jīng)過(guò)測(cè)試,品質(zhì)合格的晶片會(huì)被切割下來(lái),剩下的部分會(huì)報(bào)廢掉。千挑...
看一看,數(shù)一數(shù),制造一枚合格的芯片都需要哪些設(shè)備?
反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)是一種各向異性很強(qiáng)、選擇性高的干法腐蝕技術(shù)。它是在真空系統(tǒng)中利用分子氣體等離子來(lái)進(jìn)行刻蝕的,利用了離子誘導(dǎo)化學(xué)反應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)各向異性刻蝕,即...
一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗、烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。最初的工序是用光來(lái)制作一個(gè)掩模版,然后在硅片表...
芯片產(chǎn)業(yè)中的光刻機(jī)是怎么雕刻出遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于自己波長(zhǎng)的線寬的?
具體地說(shuō)是利用某種Copolymer,比如PMMA-PS,在滿足一定分子比和物理?xiàng)l件的形況下,PMMA跑到一邊,PS跑到另一邊,形成很有序的交錯(cuò)結(jié)構(gòu),再...
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