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微機電系統(tǒng)

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微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)其內部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。

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微機電系統(tǒng)資訊

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MEMS電容式加速度計的工作原理是怎么樣的

MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域，與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適...

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