成熟的供應(yīng)鏈以及設(shè)計(jì)和制造基礎(chǔ)設(shè)施，結(jié)合成功的商業(yè)化背景和更廣闊的市場(chǎng)需求，為MEMS領(lǐng)域的初創(chuàng)公司提供了一個(gè)充滿活力的發(fā)展環(huán)境。

MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystem，微機(jī)電系統(tǒng)）這個(gè)首字母縮略詞，自1987年誕生以來(lái)已經(jīng)陪伴了我們30多年。實(shí)際上我們從1960年代就已經(jīng)開(kāi)始在硅晶圓上開(kāi)發(fā)、制造并出貨這類(lèi)器件。事實(shí)上，MEMS這個(gè)細(xì)分領(lǐng)域最早是由RichardFeynman在其1959年發(fā)表的開(kāi)創(chuàng)性論文“There’sPlentyofRoomattheBottom”中提出的。

第一批MEMS產(chǎn)品主要是壓阻式壓力傳感器和應(yīng)變傳感器，主要用于航空航天和工業(yè)應(yīng)用。不過(guò)，多年來(lái)這些市場(chǎng)規(guī)模仍然不大。如今，從納米尺度的原子力顯微鏡尖端，到具有數(shù)百萬(wàn)個(gè)可運(yùn)動(dòng)反射鏡的數(shù)字投影芯片，市場(chǎng)上出現(xiàn)了一大批令人眼花繚亂的MEMS器件。MEMS已經(jīng)廣泛應(yīng)用于噴墨打印機(jī)噴嘴、醫(yī)療診斷微流控器件，以及我們常用的移動(dòng)設(shè)備中的MEMS麥克風(fēng)、加速度計(jì)、陀螺儀、振蕩器和FBAR濾波器等。

現(xiàn)在，全球每年生產(chǎn)數(shù)十億顆MEMS器件，每年的市場(chǎng)規(guī)模超過(guò)200億美元。令人難以置信的是，這種爆發(fā)性增長(zhǎng)主要集中在過(guò)去的十來(lái)年內(nèi)。

據(jù)麥姆斯咨詢介紹，受向5G過(guò)渡的復(fù)雜性和更多的頻帶要求，4G/5G對(duì)射頻（RF）濾波器的需求持續(xù)增長(zhǎng)，使得RFMEMS（BAW濾波器）成為增長(zhǎng)速度最快的MEMS細(xì)分市場(chǎng)。該領(lǐng)域市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)將從2017年的23億美元快速增長(zhǎng)至2023年的150億美元。不算RF器件，2018~2023年期間MEMS市場(chǎng)的復(fù)合年增長(zhǎng)率預(yù)計(jì)為9%，而算上RF市場(chǎng)，這一數(shù)字將達(dá)到17.5%。

早年，我們?cè)?jīng)覺(jué)得做MEMS挺悲催的，因?yàn)閹缀鯚o(wú)法說(shuō)服當(dāng)時(shí)的集成電路代工廠為我們提供制造服務(wù)。他們對(duì)于我們的需求，總是冷眼相待?，F(xiàn)在大不相同了，幾乎每家代工廠和組裝廠都建立了MEMS產(chǎn)線，因此現(xiàn)在的MEMS創(chuàng)業(yè)公司擁有了強(qiáng)大的代工基礎(chǔ)。

實(shí)際上，每個(gè)擁有工程專(zhuān)業(yè)的大學(xué)都在研究和開(kāi)發(fā)新的MEMS結(jié)構(gòu)、制造工藝和應(yīng)用。他們的研究包括利用MEMS和視網(wǎng)膜植入物制造的微型機(jī)器人，有可能讓盲人重見(jiàn)光明。

MEMS視網(wǎng)膜植入物原型

此外，還有許多潛在的創(chuàng)新產(chǎn)品尚未大規(guī)模商業(yè)化，例如MEMS揚(yáng)聲器、GHz范圍內(nèi)的可調(diào)諧電子濾波器、可變天線調(diào)諧器、MEMS開(kāi)關(guān)、空氣微粒MEMS傳感器、攝像頭應(yīng)用的MEMS自動(dòng)聚焦和變焦執(zhí)行器、MEMS激光雷達(dá)以及物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的能量收集芯片等。

健康/健身和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用，為新型MEMS傳感器和執(zhí)行器提供了巨大的市場(chǎng)機(jī)遇，包括車(chē)輛監(jiān)控、建筑結(jié)構(gòu)和空間占用監(jiān)測(cè)，以及農(nóng)業(yè)和畜牧監(jiān)測(cè)等。

全球知名MEMS初創(chuàng)企業(yè)

作為一名創(chuàng)業(yè)導(dǎo)師和天使投資人，我?guī)缀趺刻於紩?huì)看到新穎的創(chuàng)新概念。例如，ZephyrusBiosciences公司擁有單細(xì)胞蛋白質(zhì)測(cè)試的微流控技術(shù)，并于2016年被Bio-Techne公司收購(gòu)。Chirp為移動(dòng)設(shè)備設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)了一種低成本MEMS超聲波傳感芯片，也已在2018年并被TDK收購(gòu)。

在眾多值得關(guān)注的私營(yíng)公司中，NextInput擁有一種力傳感技術(shù)，可以改變按鈕的實(shí)現(xiàn)方式。IMT和MenloMicrosystems可能最終已經(jīng)克服了50年來(lái)構(gòu)建高可靠MEMS歐姆開(kāi)關(guān)的難題。

我鼓勵(lì)所有的MEMS研究人員和開(kāi)發(fā)人員繼續(xù)致力于培育和創(chuàng)造這個(gè)有趣而又令人興奮和驚嘆的新興行業(yè)。