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微電子技術是隨著集成電路,尤其是超大型規(guī)模集成電路而發(fā)展起來的一門新的技術。微電子技術包括系統(tǒng)電路設計、器件物理、工藝技術、材料制備、自動測試以及封裝、組裝等一系列專門的技術,微電子技術是微電子學中的各項工藝技術的總和。
微電子技術是隨著集成電路,尤其是超大型規(guī)模集成電路而發(fā)展起來的一門新的技術。其發(fā)展的理論基礎是19世紀末到20世紀30年代期間建立起來的現(xiàn)代物理學。
微電子技術包括系統(tǒng)電路設計、器件物理、工藝技術、材料制備、自動測試以及封裝、組裝等一系列專門的技術,微電子技術是微電子學中的各項工藝技術的總和。
微電子技術是高科技和信息產(chǎn)業(yè)的核心技術。微電子產(chǎn)業(yè)是基礎性產(chǎn)業(yè),之所以發(fā)展得如此之快,除了技術本身對國民經(jīng)濟的巨大貢獻之外,還與它極強的滲透性有關。另外,現(xiàn)代戰(zhàn)爭將是以集成電路為關鍵技術、以電子戰(zhàn)和信息戰(zhàn)為特點的高技術戰(zhàn)爭。
微電子技術是隨著集成電路,尤其是超大型規(guī)模集成電路而發(fā)展起來的一門新的技術。其發(fā)展的理論基礎是19世紀末到20世紀30年代期間建立起來的現(xiàn)代物理學。
微電子技術包括系統(tǒng)電路設計、器件物理、工藝技術、材料制備、自動測試以及封裝、組裝等一系列專門的技術,微電子技術是微電子學中的各項工藝技術的總和。
微電子技術是高科技和信息產(chǎn)業(yè)的核心技術。微電子產(chǎn)業(yè)是基礎性產(chǎn)業(yè),之所以發(fā)展得如此之快,除了技術本身對國民經(jīng)濟的巨大貢獻之外,還與它極強的滲透性有關。另外,現(xiàn)代戰(zhàn)爭將是以集成電路為關鍵技術、以電子戰(zhàn)和信息戰(zhàn)為特點的高技術戰(zhàn)爭。
集成電路的主要工藝技術,是在50年代后半期硅平面晶體管技術和更早的金屬真空涂膜學技術基礎上發(fā)展起來的。1964年出現(xiàn)了磁雙極型集成電路產(chǎn)品。
1962年生產(chǎn)出晶體管——晶體管理邏輯電路和發(fā)射極藉合邏輯電路。MOS集成電路出現(xiàn)。由于MOS電路在高度集成方面的優(yōu)點和集成電路對電子技術的影響,集成電路發(fā)展越來越快。
70年代,微電子技術進入了以大規(guī)模集成電路為中心的新階段。隨著集成密度日益提高,集成電路正向集成系統(tǒng)發(fā)展,電路的設計也日益復雜、費時和昂貴。實際上如果沒有計算機的輔助,較復雜的大規(guī)模集成電路的設計是不可能的。70年代以來,集成電路利用計算機的設計有很大的進展。制版的計算機輔助設計、器件模擬、電路模擬、邏輯模擬、布局布線的計算輔助設計等程序,都先后研究成功,并發(fā)展成為包括校核、優(yōu)化等算法在內的混合計算機輔助設計,乃至整套設備的計算機輔助設計系統(tǒng)。
集成電路制造的計算機管理,也已開始實現(xiàn)。此外,與大規(guī)模集成和超大規(guī)模集成的高速發(fā)展相適應,有關的器件材料科學和技術、測試科學和計算機輔助測試、封裝技術和超凈室技術等都有重大的進展。電子技術發(fā)展很快,在工藝技術上,微細加工技術,如電子束、離子束、X射線等復印技術和干法刻蝕技術日益完善,使生產(chǎn)上在到亞微米以至更高的光刻水平,集成電路的集成棄將超大型越每片106—107個元件,以至達到全圖片上集成一個復雜的微電子系統(tǒng)。高質量的超薄氧化層、新的離子注入退火技術、高電導高熔點金屬以其硅化物金屬化和淺歐姆結等一系列工藝技術正獲得進一步的發(fā)展。在微電子技術的設計和測試技術方面,隨著集成度和集成系統(tǒng)復雜性的提高,冗余技術、容錯技術,將在設計技術中得到廣泛應用。
微電子學是研究在固體(主要是半導體)材料上構成的微小型化電路、電路及系統(tǒng)的電子學分支。作為電子學的分支學科,它主要研究電子或離子在固體材料中的運動規(guī)律及其應用,并利用它實現(xiàn)信號處理功能的科學,以實現(xiàn)電路的系統(tǒng)和集成為目的,實用性強。微電子學又是信息領域的重要基礎學科,在這一領域上,微電子學是研究并實現(xiàn)信息獲取、傳輸、存儲、處理和輸出的科學,是研究信息獲取的科學,構成了信息科學的基石,其發(fā)展直接影響著整個信息技術的發(fā)展。微電子科學技術的發(fā)展水平和產(chǎn)業(yè)規(guī)模是一個國家經(jīng)濟實力的重要標志。微電子學是一門綜合性很強的邊緣學科,其中包括了半導體器件物理、集成電路工藝和集成電路及系統(tǒng)的設計、測試等多方面的內容;涉及了固體物理學、量子力學、熱力學與統(tǒng)計物理學、材料科學、電子線路、信號處理、計算機輔助設計、測試和加工、圖論、化學等多個領域。
微電子學是一門發(fā)展極為迅速的學科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微電子學發(fā)展的方向。信息技術發(fā)展的方向是多媒體(智能化)、網(wǎng)絡化和個體化。要求系統(tǒng)獲取和存儲海量的多媒體信息、以極高速度精確可靠的處理和傳輸這些信息并及時地把有用信息顯示出來或用于控制。所有這些都只能依賴于微電子技術的支撐才能成為現(xiàn)實。超高容量、超小型、超高速、超高頻、超低功耗是信息技術無止境追求的目標,是微電子技術迅速發(fā)展的動力。
微電子學滲透性強,其他學科結合產(chǎn)生出了一系列新的交叉學科。微機電系統(tǒng)、生物芯片就是這方面的代表,是近年來發(fā)展起來的具有廣闊應用前景的新技術。
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