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標(biāo)簽 > 輪廓測量
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摘要:本文研究白光干涉儀在肖特基二極管晶圓深溝槽 3D 輪廓測量中的應(yīng)用,分析其工作原理及適配深溝槽結(jié)構(gòu)的技術(shù)優(yōu)勢,通過實(shí)際案例驗證其測量精度,為肖特基...
精密機(jī)床主軸軸承孔孔深光學(xué) 3D 輪廓測量 - 激光頻率梳 3D 輪廓技術(shù)
一、引言 精密機(jī)床主軸軸承孔(直徑 20-80mm,長徑比 5-18,同軸度要求≤0.5μm,孔壁粗糙度 Ra≤0.2μm,材質(zhì)多為 40CrNiMoA...
在對微/納機(jī)電系統(tǒng)(micro/nano electro me-chanical system,MEMS/NEMS)結(jié)構(gòu)的特性參數(shù)進(jìn)行測量和MEMS/N...
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