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標(biāo)簽 > mems
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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從國內(nèi)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展歷程來看,1986年國家將傳感器技術(shù)列入國家重點(diǎn)攻關(guān)項(xiàng)目,到2000年傳感器技術(shù)體系和產(chǎn)業(yè)初步建立,國產(chǎn)傳感器技術(shù)水平不斷進(jìn)步。
避免將以下組件直接放置在傳感器后面(PCB背面),因?yàn)樗鼈優(yōu)镻CB和傳感器產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力
2023-03-07 標(biāo)簽:mems連接器PCB設(shè)計(jì) 2.4k 0
當(dāng)外界環(huán)境溫度變化時(shí), MEMS芯片上的硅烷偶聯(lián)劑與硅膠表面結(jié)合發(fā)生化學(xué)反應(yīng),使硅烷的化學(xué)性質(zhì)也隨之發(fā)生變化,當(dāng)此變化超過硅烷的臨界值時(shí),將引起硅烷偶聯(lián)...
LIDE激光誘導(dǎo)深度蝕刻技術(shù)在MEMS封裝領(lǐng)域的應(yīng)用
良好的機(jī)械強(qiáng)度:玻璃是一種相對堅(jiān)固且耐用的材料,可以保護(hù)MEMS器件免受機(jī)械應(yīng)力的影響。另外,不同于金屬或其他材料, 玻璃材料不會產(chǎn)生疲勞效應(yīng)。適用于長...
面向人體運(yùn)動感知的微應(yīng)變傳感-微電容集成MEMS
導(dǎo)電聚合物因其高離子電導(dǎo)率和優(yōu)異的機(jī)械柔性等獨(dú)特優(yōu)勢,被認(rèn)為是一種極具潛力的智能材料。
數(shù)十年來,基于石英的時(shí)鐘器件一直為航空航天和國防應(yīng)用提供參考時(shí)鐘。盡管,多年來基于石英的振蕩器不斷增強(qiáng)以改進(jìn)其缺點(diǎn),但其固有不足使其成為下一代防御系統(tǒng)(...
使用ADIS16209傾角儀進(jìn)行傾斜測量的精度和可重復(fù)性
測斜儀之間微妙的內(nèi)部非線性失配將表現(xiàn)出獨(dú)特的傳遞曲線。雖然某些非線性由于架構(gòu)而相似,但其他非線性由于部件之間的差異而有所不同。這些將表現(xiàn)為整體噪聲源以及...
測量角速率的MEMS陀螺儀有幾個(gè)內(nèi)部誤差因素,偏置不穩(wěn)定是一個(gè)組成部分。然而,與分立元件相比,慣性測量單元(IMU)具有幾個(gè)優(yōu)勢,可增強(qiáng)性能。具有六個(gè)自...
在自平衡制導(dǎo)控制系統(tǒng)中使用MEMS慣性測量單元
理想情況下,陀螺儀和加速度計(jì)中的多個(gè)軸相互正交。然而,一個(gè)常見的誤解是,由于多軸陀螺儀或加速度計(jì)可以在一個(gè)分立的MEMS組件內(nèi)設(shè)計(jì),因此每個(gè)軸彼此成90...
加速度計(jì)在整個(gè)溫度和存在振動的情況下進(jìn)行傾斜測量
答案很可能是否定的。圍繞確定的傾斜精度值的問題總是很難回答,因?yàn)樵贛EMS傳感器性能方面需要考慮許多環(huán)境因素。通常,消費(fèi)級加速度計(jì)很難在動態(tài)環(huán)境中檢測到...
高度可靠、精密測量控制的MEMS氣體質(zhì)量流量控制器
AMC1100和AMC2000都可支持空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)?、氧氣等干燥潔凈無腐蝕性氣體的測量控制,標(biāo)準(zhǔn)量程范圍都為0~100ml/min,在0-5...
如何構(gòu)建基于MEMS的解決方案用于狀態(tài)監(jiān)測中的振動檢測
本文展示了一種基于ADXL1002 MEMS加速度計(jì)的高線性、低噪聲、寬帶振動測量解決方案。該解決方案可用于軸承分析或發(fā)動機(jī)監(jiān)控,以及需要高達(dá) ±50 ...
SPI至RS-422/RS-1設(shè)計(jì)解決方案的詳細(xì)物理層設(shè)計(jì)注意事項(xiàng)
為MEMS實(shí)現(xiàn)有線物理層接口的常見挑戰(zhàn)包括管理EMC魯棒性和數(shù)據(jù)完整性。然而,當(dāng)在長RS-485/RS-422電纜上擴(kuò)展時(shí)鐘同步接口(如SPI)時(shí),以及...
您需要了解的有關(guān)狀態(tài)監(jiān)測的MEMS加速度計(jì)的信息
市場上出現(xiàn)了許多高度集成且易于部署的狀態(tài)監(jiān)測產(chǎn)品,這些產(chǎn)品采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì)作為核心傳感器。這些經(jīng)濟(jì)型產(chǎn)品有助于降低部署和擁有的總體成本...
大多數(shù)MEMS傳感器都具有自檢功能,能夠在關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用中部署之前測試傳感器。此功能練習(xí)傳感器的機(jī)械結(jié)構(gòu),以模擬其設(shè)計(jì)要測量的外力。此診斷還可用于模擬步進(jìn)...
精準(zhǔn)的測試,幾乎是所有工程師測試工作永恒的追求目標(biāo)。但這絕非易事,特別是小信號的測量。例如,半導(dǎo)體器件、材料、醫(yī)療、MEMS、發(fā)光器件等,需要測量精確伏...
適用于阻抗條測試,信號完整性驗(yàn)證、共面波導(dǎo)、電路調(diào)試及測試裝置用途,基本可以做到高速信號測試無死角。
使用MEMS加速度計(jì)和自適應(yīng)參考方法助于大幅提高DVR系統(tǒng)性能
現(xiàn)代車載數(shù)字視頻記錄系統(tǒng) (DVR) 或 OBD 正在使用加速度計(jì)(g 傳感器)來測量車載加速度。這允許DVR在發(fā)生預(yù)定義事件(例如急剎車或碰撞)時(shí),使...
2023-01-31 標(biāo)簽:CMOS發(fā)動機(jī)mems 3.8k 0
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