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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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基于MEMS技術(shù)的微型光束操縱器件有望實(shí)現(xiàn)更輕、更低成本的激光雷達(dá)
“機(jī)器人和無(wú)人機(jī)是絕對(duì)可能的應(yīng)用領(lǐng)域,”Gylfason說(shuō),“目前的激光雷達(dá)系統(tǒng)對(duì)于自動(dòng)駕駛汽車而言成本過(guò)于高昂,而汽車產(chǎn)業(yè)對(duì)成本非常敏感。其他可能的應(yīng)...
2019-04-15 標(biāo)簽:mems激光雷達(dá)自動(dòng)駕駛 3918 0
基于MEMS技術(shù)的微型硅基聲吶器件提供了毫米級(jí)精度的距離傳感功能
超低功耗的片上系統(tǒng)(SoC)控制整個(gè)ToF處理過(guò)程:發(fā)送超聲波脈沖,將接收的超聲回波數(shù)字化,檢測(cè)ToF到最近目標(biāo)并通過(guò)I2C返回16位ToF信號(hào)。SoC...
MEMS實(shí)現(xiàn)了具有感知、控制和執(zhí)行能力的增強(qiáng)型微系統(tǒng)
SMART Microsystems公司的Apanius認(rèn)為,基于MEMS的小型化解決方案將繼續(xù)推動(dòng)市場(chǎng)發(fā)展。“這是SMART Microsystems...
2019-04-08 標(biāo)簽:電動(dòng)汽車傳感器mems 3829 0
ADI公司推出了一款雙軸傾斜計(jì)傳感器能提供出小于0.1度線性傾斜誤差
ADIS16209作為業(yè)界最精密的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)傾斜計(jì),提供小于0.1度線性傾斜誤差的全補(bǔ)償直接角度輸出,從而使其精度提高到至少是同類傾斜傳...
美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院將采用非接觸式光學(xué)儀器來(lái)檢測(cè)MEMS的結(jié)構(gòu)
美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院把非接觸式光學(xué)測(cè)量?jī)x器連接在一個(gè)基于互聯(lián)網(wǎng)的MEMS計(jì)算器上。利用簡(jiǎn)單有效的光學(xué)干涉儀。這個(gè)方法使得工程師在光學(xué)干涉儀中插入測(cè)量值...
MEMS傳感器將迎來(lái)新的浪潮!MEMS定義與應(yīng)用
受惠于2007 年蘋果手機(jī)和任天堂Wii 游戲機(jī)的誕生,MEMS 在消費(fèi)電子領(lǐng)域迎來(lái)噴薄式的發(fā)展。iPhone 6S 包含加速度計(jì)、電子羅盤、陀螺儀、M...
2019-04-02 標(biāo)簽:傳感器mems機(jī)電系統(tǒng) 8643 0
電子工程師年輕創(chuàng)新者在“音樂(lè)的音符”中實(shí)現(xiàn)靈魂跳動(dòng)
在伯克利學(xué)習(xí)微機(jī)電系統(tǒng)工程博士學(xué)位期間,Ernest不僅專注于學(xué)業(yè),開(kāi)始專注于射頻MEMS。他在黎明時(shí)分在MEMS實(shí)驗(yàn)室開(kāi)始他的一天,經(jīng)常整天待在實(shí)驗(yàn)室...
通過(guò)傳感器實(shí)現(xiàn)嵌入式自主檢測(cè)系統(tǒng)的振動(dòng)監(jiān)控
現(xiàn)在,傳感器和傳感器處理方面的技術(shù)發(fā)展可實(shí)現(xiàn)完全嵌入式自主檢測(cè)系統(tǒng)的部署,并且能夠可靠地對(duì)設(shè)備缺陷、不平衡、性能變化以及其他異常進(jìn)行檢測(cè)和分析,如圖1所示。
TDK推出的全球第一款MEMS超聲波飛行時(shí)間傳感器的詳細(xì)資料說(shuō)明
基于 MEMS 的微型“硅芯片聲吶”裝置提供了毫米級(jí)精度的距離傳感功能,并具有業(yè)內(nèi)最低的功耗。這種 MEMS 超聲波傳感器可用于距離測(cè)量、位置追蹤、人員...
最新MEMS傳感器的新特性:不動(dòng)帶寬測(cè)試
對(duì)于使用MEMS加速度計(jì)和陀螺儀的工業(yè)系統(tǒng),優(yōu)化帶寬可能是一個(gè)重要的考慮因素
2019-04-12 標(biāo)簽:mems 2368 0
最新傳感器技術(shù):MEMS陀螺儀在任何情況下都能精確的慣性傳感
為了滿足這一需求,ADI公司開(kāi)發(fā)了一種帶有集成信號(hào)調(diào)理功能的新型高溫MEMS陀螺儀, ADXRS645。該傳感器即使在存在沖擊和振動(dòng)的情況下也能實(shí)現(xiàn)精確...
2019-04-10 標(biāo)簽:mems 4719 0
對(duì)MEMS工藝技術(shù)的投資加上設(shè)計(jì)創(chuàng)新,已大大改善MEMS性能,使得MEMS足以成為更廣泛狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用的可行選擇
2019-04-10 標(biāo)簽:mems 2754 0
MEMS傳感器垂直產(chǎn)業(yè)智能制造項(xiàng)目
北京康斯特儀表科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“公司”、“本公司”或“康斯特”)于2017年8月15日召開(kāi)的第四屆董事會(huì)第二次會(huì)議審議通過(guò)了《關(guān)于投資建設(shè)儀器...
顧杰斌團(tuán)隊(duì)研發(fā)的MEMS-Casting?技術(shù)實(shí)現(xiàn)了MEMS和鑄造的完美結(jié)合
MEMS技術(shù)與鑄造的結(jié)合,緣自它們之間的一個(gè)共通點(diǎn):兩者都是機(jī)械部件制造技術(shù),區(qū)別在于尺度上存在幾個(gè)數(shù)量級(jí)差異。相對(duì)于其他機(jī)械加工方法,例如車,銑,拋等...
淺析pMEMS振蕩器用于工業(yè)頻率控制的設(shè)計(jì)
從消費(fèi)類多媒體產(chǎn)品到工業(yè)自動(dòng)化和監(jiān)視系統(tǒng)、網(wǎng)絡(luò)和通信基礎(chǔ)設(shè)施以及堅(jiān)固的軍用設(shè)備,所有數(shù)字電子產(chǎn)品都有一個(gè)滴答作響的“心臟”,即一個(gè)準(zhǔn)確的振蕩器。歷史上,...
MEMS傳感器新的市場(chǎng)增長(zhǎng)機(jī)遇在哪里
近日,意法半導(dǎo)體(ST)在上海召開(kāi)媒體溝通會(huì),ST模擬、MEMS及傳感器事業(yè)部副總裁兼MEMS傳感器產(chǎn)品部總經(jīng)理Andera ONETTI表示,對(duì)于整個(gè)...
美國(guó)模擬器件公司ADI推出了一款多軸運(yùn)動(dòng)傳感器ADIS16355
ADIS16355可以很容易地與工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)融為一體,通過(guò)精確的運(yùn)動(dòng)分析與控制,提高系統(tǒng)性能,并使設(shè)計(jì)人員的研制時(shí)間縮短長(zhǎng)達(dá)一年。新的慣性測(cè)量裝置擴(kuò)展了...
2019-03-20 標(biāo)簽:adimems運(yùn)動(dòng)傳感器 2038 0
MEMS開(kāi)關(guān)基本原理及性能優(yōu)勢(shì)
本文介紹ADI公司突破性的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開(kāi)關(guān)技術(shù)。與傳統(tǒng)機(jī)電繼電器相比,ADI公司的MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)使RF和DC開(kāi)關(guān)性能、可靠性及小型化實(shí)現(xiàn)了跨...
加速度是描述物體速度變化快慢的物理量,通過(guò)測(cè)量由于重力引起的加速度,你可以計(jì)算出設(shè)備相對(duì)于水平面的傾斜角度。通過(guò)分析動(dòng)態(tài)加速度,你可以分析出設(shè)備移動(dòng)的方式。
“傾角傳感器”顧名思義,就是測(cè)量?jī)A斜角度的一種角度傳感器。傾角傳感器應(yīng)用場(chǎng)所極多,隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,傾角傳感器得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。適合應(yīng)用于工廠...
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