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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS傳感器的市場(chǎng)應(yīng)用及未來發(fā)展
根據(jù)頂級(jí)市場(chǎng)研究公司的預(yù)測(cè),微機(jī)電 (MEMS) 系統(tǒng)將繼續(xù)穩(wěn)步增長(zhǎng)。 IHS 預(yù)計(jì) 2013 年增長(zhǎng) 6.3%,行業(yè)收入將達(dá)到 16 億美元。 IHS...
監(jiān)控工業(yè)系統(tǒng)中MEMS振動(dòng)傳感器的構(gòu)建
監(jiān)控工業(yè)系統(tǒng)中的振動(dòng)可以提供有關(guān)設(shè)備健康狀況的寶貴數(shù)據(jù),并可以節(jié)省成本的先發(fā)制人的維護(hù),但是有許多不同的方法來構(gòu)建這樣的系統(tǒng)。可以使用簡(jiǎn)單的壓電振動(dòng)傳感...
如何使用壓力傳感器解決物聯(lián)網(wǎng)設(shè)計(jì)的精度問題
壓力傳感器廣泛應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用,例如無人機(jī)和工業(yè)自動(dòng)化。但是,設(shè)計(jì)人員始終面臨挑戰(zhàn),必須不斷改進(jìn)設(shè)備的精度、分辨率、抗噪能力和溫度穩(wěn)定性,同時(shí)降低成本,...
2019-03-19 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 3864 0
基于MEMS技術(shù)的RF開關(guān)在電路中的設(shè)計(jì)
RF開關(guān)用于從多個(gè)可用信號(hào)源中選擇所需信號(hào),或?qū)⑿盘?hào)路由到所需信道,如分集天線系統(tǒng),雷達(dá)以及測(cè)試和測(cè)量設(shè)置等應(yīng)用。開關(guān)(有時(shí)稱為繼電器)可以使用類似于非...
2019-03-20 標(biāo)簽:驅(qū)動(dòng)器memsrf 4225 0
基于MEMS的加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的廣泛應(yīng)用
經(jīng)典物理學(xué)習(xí)運(yùn)動(dòng)的基本方程:力=質(zhì)量×加速度,其中加速度定義為速度的變化(其時(shí)間導(dǎo)數(shù)),速度是位置的變化(位置的時(shí)間導(dǎo)數(shù))。加速度在數(shù)字上表示為SI(公...
2019-03-22 標(biāo)簽:mems加速度計(jì)工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) 5099 0
隨著8位和32位微控制器之間差距的縮小,設(shè)計(jì)人員在選擇平臺(tái)時(shí)會(huì)在MCU上找到新的靈活性。雖然8位MCU因成本敏感原因和中低復(fù)雜應(yīng)用而存在,但32位MCU...
由于醫(yī)療成本上升,人口老齡化以及早期診斷在治療疾病和挽救生命方面的重要性,傳感器開發(fā)在醫(yī)療保健領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。傳感器現(xiàn)在用于一系列醫(yī)療應(yīng)用,從一次性...
固態(tài)激光雷達(dá)的研發(fā)及生產(chǎn)解決方案
最近幾年,自動(dòng)駕駛成為人們關(guān)注的焦點(diǎn),許多諸如谷歌、百度等企業(yè)家都不遺余力地發(fā)展自動(dòng)駕駛,以期能夠?qū)崿F(xiàn)這項(xiàng)造福人類的技術(shù)。
用靜電懸浮技術(shù)設(shè)計(jì)耐久的MEMS開關(guān)
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,研究人員開發(fā)了一款新型MEMS開關(guān),利用靜電懸浮技術(shù)提供了更耐久的系統(tǒng)。
目前,氣體傳感器的應(yīng)用日趨廣泛,在物聯(lián)網(wǎng)等泛在應(yīng)用的推動(dòng)下,其技術(shù)發(fā)展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能
論SMI SM95D/G在充油芯體領(lǐng)域應(yīng)用
SM95系列是一款硅型微壓電阻式壓力傳感芯片,其滿量程為0.15 到1.5PSI(1到 10 kPa),特別適用于OEM和高容量應(yīng)用,以DIE形式提供,...
國內(nèi)和國際MEMS晶圓級(jí)測(cè)試技術(shù)對(duì)比分析
晶圓級(jí)測(cè)試技術(shù)應(yīng)用于MEMS產(chǎn)品開發(fā)全周期的3個(gè)階段:(1)產(chǎn)品研發(fā)(R&D)階段:用以驗(yàn)證器件工作和生產(chǎn)的可行性,獲得早期器件特征。(2)產(chǎn)品試量產(chǎn)階...
如何設(shè)計(jì)壓電MEMS超聲波換能器產(chǎn)品
本文介紹了壓電MEMS超聲波換能器產(chǎn)品的設(shè)計(jì)過程,包括傳感器的仿真、設(shè)計(jì)以及它與整個(gè)系統(tǒng)的集成。
固體電解質(zhì)氣敏傳感器有電流型和電壓型兩種,電流型的靈敏度高,測(cè)量范圍大,溫漂小。但它的輸出電流和敏感性能與電極尺寸關(guān)系密切。傳統(tǒng)的燒結(jié)體型器件難于控制電...
MEMS氣體傳感器有哪些類型優(yōu)勢(shì)又是什么
具有代表性的基于金屬氧化物半導(dǎo)體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應(yīng)用于安全、環(huán)境、樓宇控制等領(lǐng)域的氣體檢測(cè),該類傳感器的能耗是制約其大規(guī)模布設(shè)的核心節(jié)...
村田通過MEMS技術(shù)使該產(chǎn)品達(dá)到了小型化,并實(shí)現(xiàn)了與晶體諧振器相同的初始頻率精度(±20ppm)以上的頻率溫度特性(160ppm以下)(工作環(huán)境:-30...
基于聲機(jī)電類比原理的壓電麥克風(fēng)等效電路模型
目前應(yīng)用最廣泛的麥克風(fēng)類型是微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)電容式麥克風(fēng),其主要結(jié)構(gòu)為電容器結(jié)構(gòu),由背極板、振膜以及背極板和振膜之間的空氣域組成。
“要保證動(dòng)車組高速平穩(wěn)行駛,首先要由加速度傳感器對(duì)來自X(軸)、Y(徑)和Z(垂)向的應(yīng)力進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),并將電信號(hào)傳輸給列車指揮系統(tǒng)?!北本┙煌ù髮W(xué)教授...
MEMS氣壓傳感器的工作原理及在物聯(lián)網(wǎng)中的應(yīng)用
壓力傳感器有多種不同的應(yīng)用,其中最常見的應(yīng)用是氣象監(jiān)測(cè)。壓力傳感器現(xiàn)在已非常普遍。它現(xiàn)在可能就存在你的口袋里!是的,在你的手機(jī)里就有一個(gè)。你的手機(jī)使用壓...
2018-11-28 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)氣壓傳感器 6629 0
淺析MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)與工作模式
隨著智能設(shè)備的迅猛發(fā)展,市場(chǎng)需要更高性能的麥克風(fēng),而MEMS可以在緊湊的尺寸內(nèi)麥克風(fēng)提供高性能和保真度及可靠性,適用于便攜式設(shè)備。本文介紹了MEMS麥克...
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