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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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剖析MEMS氣壓傳感器在物聯(lián)網(wǎng)中的應(yīng)用
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,氣壓傳感器是一類非常有用的MEMS器件。它們?cè)谖锫?lián)網(wǎng)(IoT)中有非常廣泛的應(yīng)用,從氣象監(jiān)測(cè)到室內(nèi)資產(chǎn)跟蹤。
2018-11-26 標(biāo)簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 4491 0
艾邁斯半導(dǎo)體推出了一款用于檢測(cè)廚房環(huán)境中的氣體傳感器模塊
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,全球領(lǐng)先的高性能傳感器解決方案供應(yīng)商艾邁斯半導(dǎo)體(ams)宣布推出新版iAQ-Core模塊,這是一款用于檢測(cè)廚房環(huán)境中的蒸汽、氣味和煙...
2019-06-28 標(biāo)簽:mems氣體傳感器艾邁斯半導(dǎo)體 990 0
意法半導(dǎo)體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計(jì)
意法半導(dǎo)體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計(jì),可以在超低功耗和高分辨率之間動(dòng)態(tài)改變工作模式,在有限的功耗預(yù)算內(nèi)實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
2018-11-23 標(biāo)簽:傳感器MEMS意法半導(dǎo)體 4865 0
淺析近年值得關(guān)注的新興MEMS和傳感器技術(shù)
今天的大部分重磅MEMS產(chǎn)品,都是作為學(xué)術(shù)研究成果而誕生的。
MEMS麥克風(fēng)讀出電路設(shè)計(jì)方案
本文提供的MEMS麥克風(fēng)讀出電路設(shè)計(jì)方案具有噪聲小、可以處理的小信號(hào)幅度范圍廣、功耗低等特點(diǎn),可延長(zhǎng)電池供電的便攜式設(shè)備的待機(jī)時(shí)間。
MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)和工作模式概述
人們使用電腦和智能設(shè)備的方式的變化,推動(dòng)對(duì)可靠和高性能MEMS麥克風(fēng)的需求。
MEMS傳感器技術(shù)優(yōu)化制造業(yè)預(yù)測(cè)維護(hù)手段
在工業(yè)制造運(yùn)營(yíng)中,被動(dòng)的設(shè)備維修是造成生產(chǎn)能力喪失的一個(gè)主要因素,這種維修本來是可以避免的。
鈦MEMS技術(shù)在藥物輸送和微流控系統(tǒng)的應(yīng)用前景
近年來,受益于MEMS技術(shù),傳感器和執(zhí)行器小型化的同時(shí),性能、功能和靈敏度也得到增強(qiáng);加上低成本、個(gè)性化醫(yī)療應(yīng)用潛力,MEMS器件在醫(yī)療和生物領(lǐng)域的應(yīng)用...
MEMS微鏡在DLP的應(yīng)用是一個(gè)成功的例子。DLP顯示的核心技術(shù)則是采用靜電原理的MEMS微鏡組成的陣列,每一面微鏡構(gòu)成一個(gè)單色像素,由微鏡下層的寄存器...
在拯救摩爾定律的道路上,人們挖盡心思。從設(shè)計(jì)角度出發(fā),SoC將系統(tǒng)所需的組件高度集成到一塊芯片上。從封裝立場(chǎng)看,SiP也踩著七彩祥云回到了人們視野面前。
小型化需求促進(jìn)了MEMS技術(shù)的進(jìn)步
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,MEMS技術(shù)的進(jìn)步正在引領(lǐng)產(chǎn)品小型化(或者說產(chǎn)品的小型化需求促進(jìn)了MEMS技術(shù)的進(jìn)步),同時(shí)該技術(shù)又提高了產(chǎn)品的可靠性、準(zhǔn)確性和性能。
基于MEMS的DNA合成技術(shù)實(shí)現(xiàn)DNA高通量組裝
LioniX將使用普通硅加工技術(shù)和材料制造新型熱尋址硅陣列,使得Evonetix能夠使用其用于傳輸?shù)臒釁f(xié)同控制化學(xué)方法控制再生DNA的合成,從而實(shí)現(xiàn)大規(guī)...
加速傳感器的分類工作原理及在各領(lǐng)域中的應(yīng)用
加速傳感器顧名思義就是一種能夠測(cè)量出產(chǎn)品加速度的一種設(shè)備。生活中我們一般常用的主要是兩種加速度計(jì),分別是角加速度計(jì)和線加速度計(jì)。生活中我們又將它分為四種...
2018-10-11 標(biāo)簽:mems可穿戴設(shè)備加速傳感器 2016 0
智能汽車將推動(dòng)CMOS圖像傳感器和傳感器晶圓需求的持續(xù)增長(zhǎng)
移動(dòng)終端產(chǎn)品中的電子元器件應(yīng)用日益增長(zhǎng),受此驅(qū)動(dòng),半導(dǎo)體行業(yè)正面臨著一個(gè)新的時(shí)代,在這個(gè)新時(shí)代,工藝節(jié)點(diǎn)縮小和成本降低將不再延續(xù)過去幾十年來的摩爾定律發(fā)...
MEMS超聲波換能器為何是現(xiàn)在進(jìn)入大眾市場(chǎng)?
解釋上述時(shí)間因素主要有四點(diǎn)。首先,市場(chǎng)應(yīng)用正在推動(dòng)MEMS超聲波換能器發(fā)展。由于更便宜且更小的探頭誕生,醫(yī)療超聲波成像將實(shí)現(xiàn)平民化,全科醫(yī)生甚至家庭都可...
基于PZT材料的MEMS微執(zhí)行器的幾種技術(shù)解析
壓電MEMS微執(zhí)行器的設(shè)計(jì)難點(diǎn)包括了大位移與低驅(qū)動(dòng)電壓之間的制約、驅(qū)動(dòng)負(fù)載功率與執(zhí)行器薄型化之間的制約、不可避免的工藝誤差帶來的性能退化。針對(duì)上述性能提...
思立微電子在MEMS超聲技術(shù)上取得突破,在10MHz頻點(diǎn)轉(zhuǎn)換效率可達(dá)1.5%
日前,上海思立微電子在MEMS超聲技術(shù)上歷時(shí)兩年的潛心研發(fā),取得了突破性進(jìn)展。其自主研發(fā)的超聲換能器已通過系列性能測(cè)試,在10MHz頻點(diǎn)轉(zhuǎn)換效率可達(dá)1....
基于MEMS微振鏡的3D成像精度可達(dá)到亞毫米級(jí)精度,最優(yōu)實(shí)現(xiàn)0.2毫米。同時(shí)基于MEMS微振鏡可實(shí)現(xiàn)無焦的結(jié)構(gòu)光投射,實(shí)現(xiàn)大景深探測(cè)。
什么叫做MEMS?意法半導(dǎo)體將如何布局智能工業(yè)MEMS市場(chǎng)
什么叫做MEMS?在此先做個(gè)小科普:它的全稱Micro Electromechanical System,簡(jiǎn)稱微機(jī)電系統(tǒng)。它是指尺寸在幾毫米乃至更小的高...
2018-10-03 標(biāo)簽:傳感器MEMS意法半導(dǎo)體 4846 0
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