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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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日本開發(fā)一種監(jiān)測系統(tǒng) 通過MEMS傳感器和無線技術實現建筑物結構監(jiān)測
該建筑物結構監(jiān)測系統(tǒng)通過新開發(fā)的高精度MEMS傳感器,并結合920MHz頻段的無線技術,可以實現長期的結構穩(wěn)定性監(jiān)測。
汽車內的顯示和信息系統(tǒng)非常豐富,層出不窮地包圍著我們,有些信息非常重要,有些則是為了舒適性或娛樂,有的則僅僅是提供資訊,這很有價值,但又非必需。
SiTime推出MEMS參考時鐘支持新物聯(lián)網應用所需的最佳尺寸、功耗和精度
SiTime市場部執(zhí)行副總裁Piyush Sevalia指出:“SiTime獨到的時序產品致力于為最嚴峻挑戰(zhàn)的設計提供解決方案。伴隨著物聯(lián)網的快速發(fā)展,...
MEMS振蕩器領域的行業(yè)龍頭企業(yè)SiTime Corporation宣布面向高級駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)中的汽車網絡應用方向推出新型振蕩器。這些解決方案...
超小型MEMS原子鐘誕生,用于智能手機、傳感器網絡和機器人控制系統(tǒng)
據報道,日本國家信息與通信研究院(NICT)與東北大學和東京工業(yè)大學展開合作,并成立壓電材料相關研究小組。近期,該研究小組成功開發(fā)了一款超小型原子鐘系統(tǒng)...
日立新型MEMS加速度計比商用MEMS加速度計靈敏度跟高,且功耗降低50%
日立通過在MEMS質量塊上制作貫通孔來降低空氣阻力,并且貫通孔的直徑在上層和下層之間是變化的。上層為電極部分,下層為重量較大的運動層。上述方法可將空氣阻...
TU Wien開發(fā)一款硅基MEMS電場測量傳感器 其優(yōu)勢是干擾正在測量的電場
MEMS電場傳感器的測量原理“目前用于測量電場強度的設備具有一些顯著的缺陷,” TU Wien傳感器和執(zhí)行器系統(tǒng)研究院的Andreas Kainz解釋稱...
當前以MEMS為基礎的細胞微陣列芯片受到科研人員廣泛重視。通過微加工技術在基底上構建微尺度的圖形結構,并通過物理化學修飾對表面進行改性,使得細胞在特定區(qū)...
當傳感器未在使用時,如果應用對傳感器周期供電以節(jié)省電能,噪聲與功耗的關系會大不相同。這種差異來源于建立時間,這可能讓有些人大吃一驚。在需要對一組連續(xù)數組...
在空間飛行器的慣性測量系統(tǒng),機器人的機械臂延展確定,車船體傾斜測量,巖體傾向判斷和工程鉆孔軌跡檢測等許多方面都需要測量物體的傾斜和方向等參數。
市場容量持續(xù)擴張 從加速度傳感器實現的功能來看,無論是國際知名品牌的手機,還是普通的手機,其主要功能是通過傾斜、晃動等動作來實現用戶界面控制、游戲控制...
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