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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS模型由系統(tǒng)和IC 設(shè)計(jì)師使用,因此模型應(yīng)當(dāng)盡可能緊密地集成到用戶的設(shè)計(jì)流程。對(duì)于IC 設(shè)計(jì)師,這需要模型支持所有模擬器,具有設(shè)計(jì)流程中的各種實(shí)體...
2013-01-24 標(biāo)簽:轉(zhuǎn)換器MEMS 1024 0
菲爾斯特的MEMS微機(jī)電技術(shù)和MPT微組裝工藝
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-MechanicSystem)是一種先進(jìn)的制造技術(shù)平臺(tái)。它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來(lái)的。MEM...
2013-01-22 標(biāo)簽:MEMS菲爾斯特微機(jī)電技術(shù) 2607 5
如果說(shuō)很多人把MCU或SoC主芯片比喻為現(xiàn)代電子系統(tǒng)的大腦,那么時(shí)鐘組件當(dāng)之無(wú)愧是其心臟。無(wú)論是電子工程師還是元器件采購(gòu)者,在選擇時(shí)鐘組件時(shí)都會(huì)經(jīng)過(guò)全面...
MEMS加速度傳感器在胎兒心率檢測(cè)儀中的應(yīng)用
VTI公司使用基于SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器,提出一種無(wú)創(chuàng)胎心檢測(cè)方法,研制出一種簡(jiǎn)單易學(xué)、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監(jiān)護(hù)...
mems(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器;有三項(xiàng)MEMS技術(shù)產(chǎn)品:紅外傳感器、磁性傳感器、測(cè)角傳感器;在高檔汽車中,大約采用25至40只MEMS傳感器;
MEMS存儲(chǔ)器是一種新型存儲(chǔ)器件,本內(nèi)容介紹了MEMS存儲(chǔ)設(shè)備的管理技術(shù),請(qǐng)求調(diào)度算法,數(shù)據(jù)布局策略等內(nèi)容
反射式MEMS VOA在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用
可變光衰減器(VOA)是光纖通信中一種重要的光無(wú)源器件,本內(nèi)容詳細(xì)介紹了MEMS VOA在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用。
目前MEMS傳感器在消費(fèi)類電子產(chǎn)品中得到廣泛應(yīng)用,但是MEMS角速率陀螺儀存在嚴(yán)重的零點(diǎn)漂移和隨機(jī)誤差,在捷聯(lián)慣性導(dǎo)航解算中會(huì)產(chǎn)生積分誤差,難以達(dá)到應(yīng)用的精度。
從簡(jiǎn)單的精度約30000ppm的RC振蕩器,到精度優(yōu)于0.001ppb的原子鐘,有很多滿足不同應(yīng)用要求的時(shí)鐘選項(xiàng)。多年以來(lái),體聲波(BAW)晶體振蕩器可...
在我們的世界里,視覺(jué)和聲音都是類比形式,但當(dāng)我們利用電子訊號(hào)來(lái)獲取、儲(chǔ)存和傳送這些類比現(xiàn)象時(shí),采用數(shù)位技術(shù)卻能帶來(lái)許多重大優(yōu)點(diǎn);音訊處理就是個(gè)例子,當(dāng)它...
2012-05-11 標(biāo)簽:MEMSDLP技術(shù)DMD 4488 0
微/納機(jī)電系統(tǒng)發(fā)展特點(diǎn)及前景
本文分析了微/納機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展特點(diǎn),討論了MEMS和NEMS發(fā)展中的幾個(gè)問(wèn)題和MEMS和NEMS的發(fā)展前景。
2012-03-08 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 3200 0
文中介紹通過(guò)采用MEMS(micro electro mechanical systems)技術(shù)制造的硅壓阻力敏元件結(jié)合智能集成化信號(hào)調(diào)理技術(shù)設(shè)計(jì)了適合...
mems (微機(jī)電系統(tǒng))傳感器;有三項(xiàng)MEMS技術(shù)產(chǎn)品:紅外傳感器、磁性傳感器、測(cè)角傳感器;在高檔汽車中,大約采用25至40只MEMS傳感器;
鑒于MEMS工藝源自光刻微電子工藝,所以人們很自然會(huì)考慮用IC設(shè)計(jì)工具來(lái)創(chuàng)建MEMS器件的掩膜。
2011-12-09 標(biāo)簽:MEMS 962 0
本文論述如何在個(gè)人導(dǎo)航儀內(nèi)利用MEMS壓力傳感器輔助GPS接收器測(cè)量海拔高度。本文第一部分概述大氣壓與海拔高度的關(guān)系。第二部門描述如何使用壓力傳感器計(jì)算...
單軸MEMS偏航陀螺儀結(jié)構(gòu)應(yīng)用
陀螺儀能夠測(cè)量沿一個(gè)軸或幾個(gè)軸運(yùn)動(dòng)的角速度,而MEMS加速計(jì)則能測(cè)量線性加速度,因此這兩者是一對(duì)理想的互補(bǔ)技術(shù)。事實(shí)上,如果組合使用加速計(jì)和陀螺儀這...
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