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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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單軸硅微MEMS角速率陀螺PA-ARG系列 1. 單軸硅微MEMS角速率陀螺PA-ARG 簡介 : PA-ARG系列角速率傳感器(陀螺),由西安精準(zhǔn)測控...
2018-04-03 標(biāo)簽:MEMS 4k 0
原位芯片憑將于2018年內(nèi)發(fā)布國內(nèi)首個(gè)MEMS液體流量傳感器,并完成MEMS芯片式胰島素泵和PoCT即時(shí)血檢芯片等多個(gè)極具前景的新型生物芯片研發(fā)和中試。
MEMS技術(shù)的創(chuàng)新研究,前沿科技領(lǐng)域的融合
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也稱為微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微電子技術(shù)等,是指尺寸在幾毫米甚...
半導(dǎo)體傳感器18項(xiàng)國際標(biāo)準(zhǔn)獲重大進(jìn)展 MEMS標(biāo)準(zhǔn)化發(fā)展飛速
目前,在MEMS領(lǐng)域,我國牽頭制定的IEC 62047-25:2016已經(jīng)發(fā)布,牽頭制定的三項(xiàng)MEMS國際標(biāo)準(zhǔn)經(jīng)過本次會(huì)議討論將進(jìn)入到CD階段,未來我國...
2018-04-01 標(biāo)簽:mems 2k 0
以可穿戴市場為例,目前正在開發(fā)的傳感器包括氣體傳感器和生物傳感器,這些器件將會(huì)讓穿戴產(chǎn)品變得更實(shí)用,性能更強(qiáng)大。在不久的將來,重大創(chuàng)新成果和技術(shù)進(jìn)步將會(huì)...
半導(dǎo)體傳感器和MEMS標(biāo)準(zhǔn)化進(jìn)展飛速
MEMS傳感器是目前市場應(yīng)用較為成熟的MEMS器件,其中MEMS慣性傳感器、MEMS麥克風(fēng)幾乎已成為新型設(shè)備的標(biāo)配,MEMS溫濕度傳感器、MEMS壓力傳...
加速度計(jì)內(nèi)嵌壓力傳感器的單硅片復(fù)合傳感器
本發(fā)明提供了一種加速度計(jì)內(nèi)嵌壓力傳感器的單硅片復(fù)合傳感器結(jié)構(gòu)及方法,以解決傳統(tǒng)復(fù)合傳感器芯片結(jié)構(gòu)尺寸大、成本高、制作工藝復(fù)雜等問題。實(shí)現(xiàn)了單片復(fù)合傳感器...
MSIG國際物聯(lián)網(wǎng)論壇:新興應(yīng)用帶來MEMS第三波產(chǎn)業(yè)發(fā)展東風(fēng)
由智能手機(jī)帶動(dòng)的MEMS產(chǎn)業(yè)第二波發(fā)展潮已經(jīng)進(jìn)入尾聲。 3月16日舉行的MSIG國際物聯(lián)網(wǎng)論壇2018上,MEMS傳感器、AI、系統(tǒng)及應(yīng)用等IoT產(chǎn)業(yè)專...
2018-03-22 標(biāo)簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng) 1.1k 0
東大射頻與光電集成電路研究所王志功團(tuán)隊(duì)MEMS重磅突破
日前,東南大學(xué)射頻與光電集成電路研究所(射光所)王志功教授團(tuán)隊(duì)的王科平副研究員在集成電路與微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)協(xié)同設(shè)計(jì)方面取得重要進(jìn)展。 成果以Des...
2018-03-18 標(biāo)簽:MEMS 6k 0
不止手機(jī),可穿戴、AR/VR、物聯(lián)網(wǎng)正成為電子元器件微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)市場的關(guān)鍵驅(qū)動(dòng)力
在2018年慕尼黑上海電子展上,作為全球創(chuàng)新型MEMS傳感器及致動(dòng)器解決方案領(lǐng)先供應(yīng)商的Bosch Sensortec展示了三款核心產(chǎn)品,包括適用于可...
2018-03-18 標(biāo)簽:電子元器件MEMS物聯(lián)網(wǎng) 6.3k 0
蘇州鉭氪電子近日宣布推出了一款MEMS氫氣傳感器,這款氫氣傳感器支持催化燃燒和熱導(dǎo)兩種工作模式,可實(shí)現(xiàn)全量程的氫氣濃度檢測,其功耗只有傳統(tǒng)催化燃燒氫氣傳...
8英寸MEMS國際代工線將在2019年下半年投產(chǎn)
耐威科技是長期從事慣性導(dǎo)航產(chǎn)品、衛(wèi)星導(dǎo)航產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售,耐威科技建設(shè)投產(chǎn)了MEMS代工線項(xiàng)目,一方面與主營業(yè)務(wù)協(xié)同性很好,能深化導(dǎo)航產(chǎn)品布局,可...
RF MEMS國內(nèi)外現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢
基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)的各類射頻RF( Radio Frequency)無源器件...
MEMS產(chǎn)業(yè)鏈微介紹,mems各步驟廠商
MEMS代工主要有兩種類型:IDM廠商提供的MEMS代工,獨(dú)立的代工廠提供的MEMS代工,其中獨(dú)立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年F...
MEMS 的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng),利用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料,集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械機(jī)構(gòu)、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電...
MEMS晶圓制造滿產(chǎn),募投新產(chǎn)線增發(fā)在即
公司實(shí)為MEMS 晶圓純代工廠前列,產(chǎn)能及利用率雙雙提升,充分受益行業(yè)景氣。Yole 統(tǒng)計(jì),2017 年公司名列MEMS 晶圓代工廠第三名。當(dāng)前Sile...
智能汽車和無人駕駛是驅(qū)動(dòng)MEMS傳感器發(fā)展的重要?jiǎng)恿?。在智能汽車時(shí)代,將會(huì)使用大量的MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器實(shí)現(xiàn)主動(dòng)安全技術(shù):語音將成為人與智能汽車的重要交互...
海鷗集團(tuán)掌握MEMS微細(xì)加工制造工藝并生產(chǎn)出硅游絲
去年年底,天津海鷗表業(yè)集團(tuán)"博士后科研工作站"揭牌儀式在空港海鷗工業(yè)園啟動(dòng)完成,海鷗手表"博士后科研工作站"于2010年11月由國家人力資源和社會(huì)保障部...
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