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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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引 言MEMS技術(shù)的發(fā)展使得慣性技術(shù)領(lǐng)域正在經(jīng)歷一場深刻的變化。慣性傳感器是利用物體的慣性性質(zhì)來測量物體運動情況的一類傳感器,包括加速度計和...
本文把加速度傳感器作為檢測的模塊,一方面可用來防止坐姿的不當,提醒本人注意坐姿,另一方面可用來做運動的測量裝置如(計步器)(燈光調(diào)節(jié)器)(音樂調(diào)節(jié)器)。...
微機電 (MEMS)汽車傳感器消費量猛增 關(guān)注中國市場
據(jù)iSuppli公司的最新調(diào)研,微機電 (MEMS)汽車傳感器將在2010年強勁反彈,預計2010年全球汽車MEMS傳感器出貨量將達到5.912億個,比...
在消費電子設備中如何選擇和集成MEMS運動處理方案 對設備在三維空間中的運動進行測量及智能處理的運動處理技術(shù),將是下一個重大的革命性技術(shù),會對未來的手持消費電
2010-01-04 標簽:MEMS 437 0
如何利用MEMS慣性感測技術(shù)實現(xiàn)應用變革
如何利用MEMS慣性感測技術(shù)實現(xiàn)應用變革 雖然MEMS(微電子機械系統(tǒng))技術(shù)被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領(lǐng)域已有二十年左右,但卻是任天堂Wii和...
2010-04-27 標簽:MEMS 1412 0
什么是MEMS MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機械系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電...
2010-04-02 標簽:MEMS 2220 0
全球五大MEMS買家 各具特色 2009年消費類電子產(chǎn)品與手機MEMS部件的最大買家是任天堂。任天堂在提高游戲...
2010-03-25 標簽:MEMS 440 0
MEMS,什么是MEMS MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機械系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處...
2010-03-20 標簽:MEMS 1238 0
MEMS光開關(guān)的優(yōu)勢有發(fā)展動態(tài)簡介
MEMS光開關(guān)的優(yōu)勢有發(fā)展動態(tài)簡介 摘要 本文介紹了基于MEMS(微電子機械系統(tǒng))技術(shù)的光開關(guān)的技術(shù)優(yōu)勢及主要制造商情況,并概要分
MEMS產(chǎn)業(yè)預強勢發(fā)展 2008年,TSMC宣布開始進入MEMS代工。一石激起千層浪,MEMS頓時成為半導體代工行業(yè)的明星。2009年Q1,SMI...
2010-03-17 標簽:MEMS 555 0
CAD工具提供MEMS專用設計功能介紹 在過去幾年,MEMS和微機械化設計與生產(chǎn)更多地是發(fā)生在大學實驗室里的研究活動,而
2010-03-11 標簽:MEMS 1751 0
MEMS規(guī)范概述 許多擁有晶圓廠的半導體制造商尋求通過為無晶圓廠MEMS開發(fā)商制造MEMS器件來利用他們舊生產(chǎn)線...
2010-03-11 標簽:MEMS 677 0
采用PC的IC工具降低MEMS設計方法 鑒于MEMS工藝源自光刻微電子工藝,所以人們很自然會考慮用IC設計工具來...
2010-03-11 標簽:MEMS 554 0
創(chuàng)建靈敏的MEMS結(jié)構(gòu)的工藝技術(shù)介紹
創(chuàng)建靈敏的MEMS結(jié)構(gòu)的工藝技術(shù)介紹 表面微加工技術(shù)可用于創(chuàng)建微機電傳感器及激勵器系統(tǒng),它能夠通過高適應度的彈性,形成錨
2010-03-11 標簽:MEMS 750 0
2009年MEMS慣性傳感器現(xiàn)狀及2010年趨勢
2009年MEMS慣性傳感器現(xiàn)狀及2010年趨勢 MEMS技術(shù)最早由Richard Pfeynman(1965年獲得諾貝爾物理獎),在1959年提出...
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