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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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中芯集成IPO募資125億投建MEMS和功率器件芯片制造及封裝測(cè)試生產(chǎn)基地
中芯集成是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的特色工藝晶圓代工企業(yè),主要從事MEMS和功率器件等領(lǐng)域的晶圓代工及模組封測(cè)業(yè)務(wù),為客戶(hù)提供一站式系統(tǒng)代工解決方案;而且中芯集成也是目...
悉尼大學(xué)開(kāi)發(fā)了與半導(dǎo)體制造兼容的硅光子MEMS平臺(tái)
據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道,澳大利亞悉尼大學(xué)Niels Quack副教授領(lǐng)導(dǎo)的研究小組開(kāi)發(fā)了一種新技術(shù),將光學(xué)元件和MEMS集成在一顆微芯片中,為構(gòu)建微型3D相機(jī)...
歌爾股份榮獲“2022中國(guó)制造業(yè)上市公司社會(huì)責(zé)任五星金獎(jiǎng)
歌爾股份榮獲“2022中國(guó)制造業(yè)上市公司社會(huì)責(zé)任五星金獎(jiǎng)(2022ESG Gold Medal)”,獲得本獎(jiǎng)項(xiàng)是對(duì)歌爾股份作為踐行共同富裕發(fā)展理念的高度...
晶方科技牽頭承擔(dān)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目正式啟動(dòng)實(shí)施
據(jù)晶方科技消息,3月25日上午,國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“智能傳感器”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)“MEMS傳感器芯片先進(jìn)封裝測(cè)試平臺(tái)項(xiàng)目”啟動(dòng)會(huì)在蘇州工業(yè)園區(qū)舉行。該項(xiàng)目由蘇州晶...
終于公布!RoboSense MEMS振鏡模組獲得業(yè)內(nèi)首例AEC-Q100可靠性認(rèn)證證書(shū)
全球領(lǐng)先的智能激光雷達(dá)系統(tǒng)科技企業(yè)RoboSense速騰聚創(chuàng)獲國(guó)際公認(rèn)的測(cè)試、檢驗(yàn)和認(rèn)證機(jī)構(gòu)SGS簽發(fā)的AEC-Q100可靠性測(cè)試報(bào)告與證書(shū)。RoboS...
科普|硅壓阻式MEMS壓力傳感器精度高、體積小、性能穩(wěn)定
在生活的各個(gè)領(lǐng)域中壓力都是一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)。壓力傳感器的種類(lèi)繁多,如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器等。但應(yīng)用最為廣泛的是壓阻...
RoboSense MEMS振鏡模組獲得AEC-Q100可靠性認(rèn)證
近日,全球領(lǐng)先的智能激光雷達(dá)系統(tǒng)科技企業(yè)RoboSense(速騰聚創(chuàng))獲國(guó)際公認(rèn)的測(cè)試、檢驗(yàn)和認(rèn)證機(jī)構(gòu)SGS簽發(fā)的AEC-Q100可靠性測(cè)試報(bào)告與證書(shū)。
SGS授予速騰聚創(chuàng)首張激光雷達(dá)MEMS振鏡AEC-Q100認(rèn)證證書(shū)
深圳2023年3月24日?/美通社/ -- 近日,國(guó)際公認(rèn)的測(cè)試、檢驗(yàn)和認(rèn)證機(jī)構(gòu)SGS與深圳市速騰聚創(chuàng)科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng):速騰聚創(chuàng))成功舉辦"Rob...
在家電領(lǐng)域成功轉(zhuǎn)型MEMS傳感器,需要具備哪些因素?
2020年,我們與中科院毛博士的團(tuán)隊(duì)合作,基于毛博士團(tuán)隊(duì)在MEMS傳感器領(lǐng)域15年以上的經(jīng)驗(yàn)積累,我們開(kāi)始轉(zhuǎn)型做 MEMS傳感器,實(shí)現(xiàn)了對(duì)MEMS紅外傳...
開(kāi)發(fā)一種基于氣溶膠沉積的單軸壓電MEMS加速度計(jì)
振動(dòng)測(cè)量在許多應(yīng)用中都是必要的,例如結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)、機(jī)器狀態(tài)監(jiān)測(cè)、慣性導(dǎo)航、地震預(yù)警、患者健康監(jiān)測(cè)等。
熱式流量芯片AFE-01在燃?xì)庥?jì)量表中的應(yīng)用
熱式技術(shù)是一項(xiàng)測(cè)量氣體和液體流量的成熟技術(shù)。技術(shù)進(jìn)步和設(shè)備微型化使得該技術(shù)能大批量應(yīng)用于對(duì)成本敏感的領(lǐng)域,如天然氣計(jì)量。一些研究也證實(shí)了熱式技術(shù)在惡劣環(huán)...
Mark Marshall博士將探討這款MEMS陀螺儀的工作原理,并詳細(xì)介紹其性能規(guī)格和Pinpoint結(jié)構(gòu),包括MEMS振動(dòng)環(huán)的設(shè)計(jì)與制造。
2023-03-20 標(biāo)簽:mems工業(yè)機(jī)器人MEMS陀螺儀 1791 0
虹科攜手ES Systems提供MEMS壓力傳感器&流量計(jì)解決方案!
憑借開(kāi)發(fā)創(chuàng)新MEMS系統(tǒng)的長(zhǎng)期經(jīng)驗(yàn),ES Systems的傳感器解決方案通過(guò)合格的工藝生產(chǎn),以準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量、溫度和壓力。其壓力和流量傳感器因其出色的...
重磅!2023年中國(guó)MEMS傳感器十大園區(qū)排名新鮮出爐(附全榜單)
2023年3月1日上午,第13屆中國(guó)國(guó)際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)在蘇州國(guó)際博覽中心順利召開(kāi)。多位政府及業(yè)界的專(zhuān)家、企業(yè)領(lǐng)袖齊聚一堂,從產(chǎn)業(yè)發(fā)展、技術(shù)突破、應(yīng)用...
左藍(lán)微電子亮相多個(gè)行業(yè)盛會(huì) 展現(xiàn)國(guó)產(chǎn)射頻器件技術(shù)創(chuàng)新全面實(shí)力
近日,左藍(lán)微電子參加了第二屆射頻濾波器創(chuàng)新技術(shù)大會(huì)和第四屆中國(guó)MEMS制造大會(huì)暨微納制造與傳感器展覽會(huì)。作為一家致力于研發(fā)高性能射頻濾波器、雙工器和射頻...
賽萊克斯深耕MEMS細(xì)分領(lǐng)域,創(chuàng)新研發(fā)構(gòu)建核心技術(shù)壁壘
除了專(zhuān)注技術(shù)革新,賽萊克斯還不忘熱心公益。2019年10月,賽萊克斯董事長(zhǎng)楊云春博士向母校青州一中個(gè)人捐資1000萬(wàn)元,設(shè)立“楊云春博士教育基金”,每年...
英飛凌推出采用小型封裝且超低功耗的全新PDM麥克風(fēng)
英飛凌的MEMS麥克風(fēng)開(kāi)發(fā)戰(zhàn)略涵蓋了主要的構(gòu)建模塊MEMS、ASIC和該傳感器系列的封裝。因此,英飛凌完全掌握著其產(chǎn)品的性能、質(zhì)量和技術(shù)創(chuàng)新。如今,英飛...
據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道,近期,Si-Ware Systems宣布與農(nóng)業(yè)飼料專(zhuān)家Cargill Animal Nutrition達(dá)成合作協(xié)議,Si-Ware研發(fā)...
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