振動(dòng)測(cè)量在許多應(yīng)用中都是必要的，例如結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)、機(jī)器狀態(tài)監(jiān)測(cè)、慣性導(dǎo)航、地震預(yù)警、患者健康監(jiān)測(cè)等。為了檢測(cè)這些應(yīng)用中的振動(dòng)信號(hào)，通常使用低噪聲加速度計(jì)。壓電加速度計(jì)因其具有高品質(zhì)因數(shù)，降低了對(duì)真空封裝的需求。再加上良好的溫度耐久性和線(xiàn)性度，壓電加速度計(jì)是許多工業(yè)應(yīng)用的可靠選擇?？紤]到這些優(yōu)點(diǎn)，研究人員認(rèn)為利用微加工工藝開(kāi)發(fā)壓電MEMS加速度計(jì)是一個(gè)巨大的機(jī)會(huì)，因?yàn)樵摴に嚳梢灾圃斐龈〕叽绲牡驮肼暭铀俣扔?jì)，以滿(mǎn)足市場(chǎng)的需求。

據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道，近日，國(guó)立臺(tái)灣大學(xué)（National Taiwan University）和香港中文大學(xué)（The Chinese University of Hong Kong）聯(lián)合開(kāi)發(fā)了一種基于氣溶膠沉積的單軸壓電MEMS加速度計(jì)。它采用一種懸臂梁結(jié)構(gòu)，具有端部質(zhì)量塊和鋯鈦酸鉛（PZT）傳感層。為了確定該設(shè)計(jì)是否適用于結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)，通過(guò)仿真獲得了工作帶寬和噪聲水平。研究人員首次在制備過(guò)程中使用氣溶膠沉積法沉積PZT厚膜，以實(shí)現(xiàn)高靈敏度。該單軸壓電MEMS加速度計(jì)的電荷靈敏度、固有頻率、工作帶寬和噪聲等效加速度分別為22.74 pC/g、867.4 Hz、10-200 Hz（±5%偏差范圍內(nèi)）和5.6 μg/√Hz（@ 20 Hz）。

在本項(xiàng)研究中，單軸加速計(jì)采用一種懸臂梁結(jié)構(gòu)，有四個(gè)功能層：頂部電極、壓電傳感層、底部電極和檢測(cè)質(zhì)量塊。與完全夾緊的中心對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)相比，由于梁剛度較低，懸臂梁在相同尺寸下具有更高的靈敏度。此外，基于不銹鋼的底部電極的設(shè)計(jì)簡(jiǎn)化了制造過(guò)程，避免了另一層電極的沉積。

單軸加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

為了驗(yàn)證所設(shè)計(jì)的加速度計(jì)的頻率范圍和噪聲水平，研究人員通過(guò)COMSOL Multiphysics軟件進(jìn)行仿真。結(jié)果表明，使用該加速度計(jì)測(cè)量小于200 Hz的加速度產(chǎn)生的誤差小于5%。200 Hz的高頻限制滿(mǎn)足工作帶寬的設(shè)計(jì)目標(biāo)（>100 Hz）。此外，加速度計(jì)的電荷靈敏度為36.8 pC/g。

單軸加速度計(jì)的建模結(jié)構(gòu)和仿真結(jié)果

研究人員測(cè)試了單軸加速度計(jì)的頻率響應(yīng)、靈敏度和噪聲性能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該加速度計(jì)的電荷靈敏度、固有頻率、工作帶寬和噪聲等效加速度分別為22.74 pC/g、867.4 Hz、10-200 Hz（±5%偏差范圍內(nèi)）和5.6 μg/√Hz（@ 20 Hz）。為了證明其在實(shí)際應(yīng)用中的可行性，使用所設(shè)計(jì)的傳感器和商用壓電加速度計(jì)對(duì)風(fēng)扇的振動(dòng)進(jìn)行了測(cè)量，兩者的結(jié)果非常吻合。此外，利用ADXL1001對(duì)振動(dòng)器的振動(dòng)進(jìn)行了測(cè)量，結(jié)果表明該傳感器具有較低的噪聲水平。

實(shí)驗(yàn)結(jié)果

總而言之，研究人員開(kāi)發(fā)了一種基于單軸懸臂梁的壓電MEMS加速度計(jì)。為了提高靈敏度，在MEMS制造過(guò)程中使用氣溶膠沉積來(lái)形成厚的PZT傳感膜。該加速度計(jì)在風(fēng)扇振動(dòng)測(cè)量方面與商用壓電加速度計(jì)B&K 4381的性能相當(dāng)，證明了其在實(shí)際應(yīng)用中的適用性。此外，與電容式MEMS加速度計(jì)ADXL1001相比，該傳感器在低噪聲應(yīng)用方面具有巨大潛力。

審核編輯：劉清