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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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深度反應(yīng)離子刻蝕或DRIE是一種相對較新的制造技術(shù),已被MEMS社區(qū)廣泛采用。這項技術(shù)可以在硅基板上執(zhí)行非常高的縱橫比蝕刻。蝕刻的孔的側(cè)壁幾乎是垂直的,...
MEMS加速度計在發(fā)射系統(tǒng)中的作用 單聯(lián)裝導彈發(fā)射裝置是指在一座發(fā)射架上,只能裝載(裝填)和發(fā)射一枚導彈的發(fā)射裝置。早期的導彈發(fā)射裝置大多采用單聯(lián)裝方式...
MEMS加速度計有哪些類型? MEMS加速度計以集成電路工藝和微機械加工工藝為基礎(chǔ),將電子原件和機械原件集成在一塊芯片上,具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、能...
MEMS加速度計的運用現(xiàn)狀及應(yīng)用前景分析
MEMS加速度計的運用現(xiàn)狀: (1)MEMS傳感器在汽車產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用 (2)MEMS運動傳感器在移動電話中的應(yīng)用 (3)光標或游戲機控制 (4)慣性導航...
通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設(shè)備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態(tài)加速度,你可以分析出設(shè)備移動的方式。現(xiàn)在工程師們已經(jīng)想出了很多方法獲得...
MEMS加速度計可有效提升工業(yè)應(yīng)用的精度
MEMS加速度計來提升工業(yè)應(yīng)用精度 現(xiàn)如今汽車安全系統(tǒng)推動了MEMS慣性傳感器技術(shù)的發(fā)展。大批與汽車安全系統(tǒng)相關(guān)的應(yīng)用促進了對MEMS制造技術(shù),封裝概念...
MEMS加速度計和MEMS陀螺儀的區(qū)別 1、MEMS陀螺儀測角速度的 2、MEMS加速度是測線性加速度的 MEMS陀螺儀MEMS陀螺儀利用科里奧利力旋轉(zhuǎn)...
2020-06-08 標簽:mems陀螺儀壓電效應(yīng) 1940 0
MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域,與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適...
2020-06-08 標簽:傳感器mems微機電系統(tǒng) 3104 0
MEMS加速度計在尋北儀中的應(yīng)用 高精度尋北儀是一款由高精度雙軸動力調(diào)諧陀螺通過測量地球自轉(zhuǎn)角速度,自主確定所附載體的真北方向值,不受外界磁場或其他環(huán)境...
MEMS加速度計在發(fā)射系統(tǒng)中的作用 單聯(lián)裝導彈發(fā)射裝置是指在一座發(fā)射架上,只能裝載(裝填)和發(fā)射一枚導彈的發(fā)射裝置。早期的導彈發(fā)射裝置大多采用單聯(lián)裝方式...
2020-04-16 標簽:mems發(fā)射系統(tǒng)加速度計 746 0
MEMS加速度計在機器人的應(yīng)用 隨著科技的發(fā)展人們社會中的各類智能機器也越來越多,這里對機器人的運動簡單介紹。 機器人運動主要靠三軸傾角傳感器進行的運動...
MEMS加速度計在慣導中的作用 慣性導航系統(tǒng)有如下優(yōu)點: 1、由于它是不依賴于任何外部信息,也不向外部輻射能量的自主式系統(tǒng),故隱蔽性好,也不受外界電磁干...
2020-04-16 標簽:mems加速度計慣性導航系統(tǒng) 1376 0
MEMS加速度計在慣導中的角色 慣性導航系統(tǒng)(INS)也稱作慣性參考系統(tǒng),是一種不依賴于外部信息、也不向外部輻射能量(如無線電導航那樣)的自主式導航系統(tǒng)...
2020-04-16 標簽:mems加速度計慣導系統(tǒng) 752 0
MEMS加速度計有哪些類型? MEMS加速度計以集成電路工藝和微機械加工工藝為基礎(chǔ),將電子原件和機械原件集成在一塊芯片上,具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、能...
MEMS加速度計一般用在哪里? 通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設(shè)備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態(tài)加速度,你可以分析出設(shè)備移動的方式?,F(xiàn)...
MEMS加速度計來提升工業(yè)應(yīng)用精度 現(xiàn)如今汽車安全系統(tǒng)推動了MEMS慣性傳感器技術(shù)的發(fā)展。大批與汽車安全系統(tǒng)相關(guān)的應(yīng)用促進了對MEMS制造技術(shù),封裝概念...
MEMS加速度計和MEMS陀螺儀的區(qū)別 1、MEMS陀螺儀測角速度的 2、MEMS加速度是測線性加速度的 MEMS陀螺儀MEMS陀螺儀利用科里奧利力旋轉(zhuǎn)...
MEMS加速度計在短程制導的位置 短程彈道導彈屬于地地戰(zhàn)術(shù)導彈范疇,射程一般在1000公里以下,可攜帶核彈頭或常規(guī)彈頭,主要用于攻擊地面炮兵射程之外敵戰(zhàn)...
MEMS電容式加速度傳感器(簡介) MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域,與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、...
2020-04-16 標簽:mems電容式微機電系統(tǒng) 7629 0
MEMS傳感器的6大種類簡介 以下直接介紹MEMS傳感器的幾個類型及工作原理介紹,MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的前...
2020-06-01 標簽:傳感器mems微電子技術(shù) 4727 0
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