MEMS加速度計有哪些類型?
MEMS加速度計以集成電路工藝和微機(jī)械加工工藝為基礎(chǔ),將電子原件和機(jī)械原件集成在一塊芯片上,具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、能耗低、集成度高等一系列的優(yōu)點,微加速度計的種類較多主要如下:
1、角振動加速度計、線振動加速度計
2、扭擺式加速度計、懸臂梁式加速度計、彈簧支撐式加速度計
3、電容式加速度計、電阻式加速度計、諧振式加速度計、熱流式加速度計、隧道電流式加速度計
4、開環(huán)式加速度計、閉環(huán)式加速度計
5、單軸微機(jī)械加速度計、雙軸微機(jī)械加速度計i、三軸微機(jī)械加速度計
其中電容式MEMS加速度計的敏感元件為固定電極和可動電極之間的電容器,是目前研究最為廣泛的一類加速度傳感器,一般采用懸臂梁、固支梁或撓性軸結(jié)構(gòu),支撐一個當(dāng)作電容動板電極的質(zhì)量塊,質(zhì)量塊與一個固定極板構(gòu)成一個平板電容。
其工作原理是在外部加速度作用下,校驗質(zhì)量塊產(chǎn)生位移這樣就會改變質(zhì)量塊和電極之間的電容,將這種變化量用外圍電路檢測出來就可測量加速度的大小。lw
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