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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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在AI、物聯(lián)網等新技術推動下 傳感器助力企業(yè)向數(shù)字化轉型升級
3 月 12 日訊,在數(shù)字經濟大環(huán)境下,隨數(shù)字化、人工智能、物聯(lián)網等新技術推動,全球迎來了 2020 年數(shù)字之年,如何踏上數(shù)字化道路是每家企業(yè)都必須思考...
3 月 11 日訊,今年 1-2 月,天津港保稅區(qū)共引進項目 186 個,努力實現(xiàn)疫情防控和經濟發(fā)展“雙勝雙贏”。據(jù)悉,全球第二大 MEMS 廠商美新半...
隨著光通信網絡的快速發(fā)展,傳統(tǒng)以電為核心的通信器件已經不能滿足高速大容量的光通信需求,MEMS光開關由于其體積小,易集成,容量大等特點,已成為全光通信網...
在政府的支持下 國內MEMS產業(yè)發(fā)展已經全面升溫
傳感器技術作為信息技術的三大基礎之一,是當前各國競相發(fā)展的高新技術,世界各國普遍重視和投入開發(fā)。近年來,全球傳感器市場一直保持快速增長,隨著經濟環(huán)境的持...
Mems加速度計對于溫度測量是準確 Mems加速度計理論上可以測量小于1的傾斜,但是在溫度變化及振 動條件下是否仍然可以實現(xiàn)這樣的測量精度? 關于明確傾...
通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設備相對于水平面的傾斜角度。 通過分析動態(tài)加速度,你可以分析出設備移動的方式?,F(xiàn)在工程師們已經想出了很多方法獲...
MEMS加速度計的三種類型簡介 隨著MEMS技術的發(fā)展,慣性傳感器目前是最為成功應用最廣泛的微機電系統(tǒng)器件之一。而MEMS加速度計就是慣性傳感器件的杰出...
MEMS加速度計芯片的應用環(huán)境 通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設備相對于水平面的傾斜角度。 通過分析動態(tài)加速度,你可以分析出設備移動的方式。...
一 MEMS加速度計所用的材料 例如用于做襯底的襯底材料,用于做掩膜的掩膜材料,用于表面微加工的犧牲層材料等等。Mems加速度計常用的材料有單晶硅、二氧...
MEMS慣性傳感器的發(fā)展方向 MEMS加速度計是MEMS領域最早開始研究的傳感器之一。經過多年的發(fā)展MEMS加速度計的設計和加工技術已經日趨成熟。 目前...
國內最小MEMS溫濕度傳感器 在尺寸與智能方面建立了新的標準
創(chuàng)立于2003年9月的廣州奧松電子有限公司為國內濕度傳感器自主研發(fā)企業(yè),是目前國內先進的應用MEMS工藝技術生產傳感器及芯片的制造商,也是廣東省MEMS...
近日,據(jù)Fact.MR的一項新研究表示,到2027年,全球MEMS傳感器市場將以9%的復合年增長率增長,達到500億美元。
腐蝕是硅微機械加工的最主要的技術 ,各種硅 微機械幾乎都要用腐蝕成型。腐蝕法分濕法腐蝕和 干法腐蝕兩大類 ,濕法腐蝕又分為溶液法及陽極法 , 干法腐蝕分...
MEMS,微機電系統(tǒng),是1959年12月由理查德·費曼最早提出的概念,是將微觀模擬機械元件機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、...
微機電設備的尺寸通常在20微米到一毫米之間,它們內部通常包含一個微處理器和若干獲取外界信息的微型傳感器。
2020-03-07 標簽:傳感器mems微機電系統(tǒng) 7165 0
所謂開源飛控就是建立在開源思想基礎上的飛行自主控制器項目(Open Source AutoPilot),同時包含開源軟件和開源硬件,而軟件則包含飛控硬件...
據(jù)麥姆斯咨詢報道,CO2(二氧化碳)濃度是衡量室內空氣質量的關鍵指標。良好的空氣質量可以讓身處其中的人員精神更佳、生產效率更高;而CO2濃度過高則代表著...
TDK的MEMS超聲波ToF傳感器解決方案與光學ToF傳感器相比具有很多優(yōu)勢
TDK 公司(TSE:6762)宣布現(xiàn)在可以選擇擴大了感應范圍的基于Chirp CH-201 MEMS的超聲波飛行時間(ToF)傳感器的原始設備制造商(...
中芯紹興項目計劃今年1月進入量產階段 將打造成為世界一流的特色工藝半導體代工企業(yè)
近日,紹興市領導到中芯紹興MEMS和功率器件芯片制造及封裝測試項目進行了調研。據(jù)紹興發(fā)布報道,中芯紹興項目計劃今年1月進入量產階段。
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