MEMS（MICro EleCTRon Mechanical System）陀螺儀是一種可以精確測(cè)量物體方位的儀器，不僅成本低，體積小，重量輕，而且可以與微電子加工的電路實(shí)現(xiàn)集成，做到機(jī)電一體化。MEMS陀螺適用于汽車工業(yè)、慣性導(dǎo)航、計(jì)算機(jī)、機(jī)器人、軍事等急需大量小型、廉價(jià)陀螺的應(yīng)用領(lǐng)域，是國防、工業(yè)發(fā)展中必不可少的儀器。

但是，MEMS陀螺儀在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)不到需要的精度，為了提高陀螺儀系統(tǒng)工作性能和測(cè)量精度，對(duì)陀螺儀進(jìn)行數(shù)據(jù)采集并減小誤差是至關(guān)重要的。

ADIS16355慣性測(cè)量裝置將三軸角速度感知與三軸加速度感知相結(jié)合，提供六自由度運(yùn)動(dòng)感知、嵌入式校準(zhǔn)與傳感器處理以及傳感器-傳感器交叉補(bǔ)償，并大大提高信號(hào)穩(wěn)定性（使用偏移穩(wěn)定性為0.015 deg/sec），體積小于1立方英寸。ADIS16355是在整個(gè)溫度范圍內(nèi)校準(zhǔn)，具有卓越的偏壓溫度穩(wěn)定性（0.005 deg/sec/°）。ADISl6355提供一個(gè)串行外部接口SPI（Serial Peripheral Interface），通過SPI可以對(duì)芯片進(jìn)行配置，獲得運(yùn)行狀態(tài)與測(cè)量結(jié)果等，其對(duì)外部供電要求不高，內(nèi)部自帶高精度的穩(wěn)壓電路，外圍電路較少［1］。

AT89S52單片機(jī)［2］是一種低功耗、高性能CMOS 8位微控制器，具有8 KB在系統(tǒng)可編程Flash存儲(chǔ)器，使用美國ATMEL公司高密度非易失性存儲(chǔ)器技術(shù)制造，與工業(yè)80C51產(chǎn)品指令和引腳完全兼容。在單芯片上，擁有靈巧的8位CPU和在系統(tǒng)可編程Flash，同時(shí)，AT89S52帶有ISP下載功能，它利用在線編程器替代昂貴的單片機(jī)仿真器編程器，既方便使用，又節(jié)省開發(fā)費(fèi)用。

本文結(jié)合單片機(jī)對(duì)ADIS16355慣性傳感器進(jìn)行控制，將采集的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)存儲(chǔ)并通過LCD1602進(jìn)行顯示，最后對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試，并分析了系統(tǒng)存在的誤差。

1 ADIS16355芯片數(shù)據(jù)采集硬件設(shè)計(jì)

根據(jù)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的需要，系統(tǒng)以AT89S52作為主控單元，外擴(kuò)一片6264靜態(tài)存儲(chǔ)器作為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器，并設(shè)計(jì)AT89S52與ADIS16355通信的SPI接口模塊、LCD顯示模塊、鍵控模塊和在線編程模塊，系統(tǒng)硬件連接框圖如圖1所示。

1.1 主控模塊

控制單片機(jī)AT89S52具有8 KB Flash，256 B RAM，32 bit的I/O口線，看門狗定時(shí)器，兩個(gè)數(shù)據(jù)指針，3個(gè)16 bit定時(shí)器/計(jì)數(shù)器，一個(gè)六向量兩級(jí)中斷結(jié)構(gòu)，全雙工串行口，片內(nèi)晶振及時(shí)鐘電路等功能［3］。它與ADIS16355陀螺儀之間通過SPI接口相連。因?yàn)锳T89S52單片機(jī)沒有專門的SPI接口，只能通過軟件模擬P2.0口為時(shí)鐘信號(hào)線與陀螺儀的SPI接口SCLK引腳相連，P2.1口為主輸出從輸入MOSI與陀螺儀SPI接口的數(shù)據(jù)輸人SDI引腳相連，P2.2口為主輸入從輸出MISO與陀螺儀SPI接口的數(shù)據(jù)輸出SDO引腳相連，P2.3口為片選信號(hào)。P3.2、P3.3為中斷引腳，分別與ADIS16355的DIO1和DIO2相連，為數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換中斷。

1.2 LCD顯示模塊

系統(tǒng)顯示部分采用液晶LCD1602芯片，其特點(diǎn)是：功耗低、體積小、質(zhì)量輕、顯示質(zhì)量高、數(shù)字式，采用標(biāo)準(zhǔn)的16腳接口和單片機(jī)連接簡(jiǎn)單，操作方便，能夠同時(shí)顯示16×2即32個(gè)字符，1602液晶模塊內(nèi)部的字符發(fā)生存儲(chǔ)器（CGROM）存儲(chǔ)了160個(gè)不同的點(diǎn)陣字符圖形，方便顯示控制器采集出的數(shù)據(jù)。

1.3 在線編程模塊

系統(tǒng)設(shè)計(jì)了在線編程模塊，利用STC-ISP編程燒錄軟件實(shí)時(shí)在線下載程序，大大方便了開發(fā)者，提高了系統(tǒng)研發(fā)效率。

1.4 SPI接口模塊通信與配置

SPI是MOTOROLA公司提出的同步串行總線方式，是一種全雙工、同步、串行數(shù)據(jù)接口標(biāo)準(zhǔn)總線，與其他串行總線相比，它具有電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、速度快、通信可靠等優(yōu)點(diǎn)［4］。標(biāo)準(zhǔn)的SPI總線由4根信號(hào)線組成：時(shí)鐘信號(hào)（SCLK）、主輸入從輸出線（SDI）、主輸出從輸入線（SDO）和片選信號(hào)（CS）。

系統(tǒng)中ADIS16355通過SPI接口與外部進(jìn)行通信，需要外部設(shè)備MCU通過該接口對(duì)其內(nèi)部各寄存器進(jìn)行設(shè)置，圖2所示是一個(gè)典型的寫入控制寄存器命令的數(shù)據(jù)幀。由芯片資料［5］可知，DIN系列的首位是1，第二位是0，后面是目標(biāo)寄存器的6 bit地址和8 bit數(shù)據(jù)命令，因?yàn)槊恳粋€(gè)寫命令包含一個(gè)數(shù)據(jù)位，所以給整個(gè)16 bit寄存器空間寫值時(shí)要求有兩個(gè)數(shù)據(jù)幀。圖3為ADIS16355讀操作SPI時(shí)序圖，由芯片資料［5］可知ADIS16355完成一次SPI通信包括16 bit數(shù)據(jù)，其中第1位是SPI傳輸?shù)淖x寫狀態(tài)標(biāo)識(shí)，第2位為0，緊跟著的6 bit是目標(biāo)寄存器地址，最后8 bit是在寫操作時(shí)將要寫進(jìn)寄存器的數(shù)據(jù)，如果是讀操作則忽略，完成ADIS16355的一個(gè)讀操作需要進(jìn)行兩次16 bit的SPI通信，其中第一次是寫入將要讀取的寄存器地址，該寄存器的內(nèi)容將在第二次SPI通信出現(xiàn)在ADIS16355的DOUT信號(hào)線上，輸入SPI的主設(shè)備。

本設(shè)計(jì)中控制器與ADIS16355進(jìn)行SPI通信的每個(gè)數(shù)據(jù)幀為16 bit，而AT89S52的數(shù)據(jù)寬度為8 bit，所有內(nèi)部寄存器和數(shù)據(jù)空間存儲(chǔ)器都是8 bit寬度組成，作為主設(shè)備在其發(fā)出有效的SPI片選信號(hào)使能ADISl6355后，要對(duì)其自身的SPI數(shù)據(jù)寄存器進(jìn)行兩次寫操作，才能在總線上完成一次16 bit數(shù)據(jù)傳輸。

2 軟件設(shè)計(jì)

ADISl6255陀螺儀所有的數(shù)據(jù)和命令的讀取和寫入都是通過讀寫寄存器來完成的。通過AT89S52單片機(jī)編寫程序讀取ADISl6355內(nèi)部相應(yīng)的寄存器地址，相應(yīng)讀取回來的12 bit或者14 bit長度的數(shù)據(jù)經(jīng)過換算再乘以對(duì)應(yīng)的比例因子就得到了相應(yīng)的x、y、z軸陀螺儀和加速度計(jì)以及內(nèi)部溫度信息。

在啟動(dòng)陀螺儀前，首先要對(duì)陀螺儀的各個(gè)寄存器進(jìn)行正確的設(shè)置。由參考文獻(xiàn)［5］、［6］知，設(shè)置GYRO_OFF和GYRO_SCALE寄存器對(duì)陀螺儀三軸輸出的靈敏度和偏差進(jìn)行用戶自校準(zhǔn)；設(shè)置SMPL_PRD寄存器，選取合適的采樣頻率；設(shè)置SENS/AVG寄存器，定義陀螺動(dòng)態(tài)量程以及對(duì)應(yīng)的數(shù)字濾波器；設(shè)置MSC_CTRL寄存器，定義自檢位以及數(shù)據(jù)更新中斷位；設(shè)置COMMAND寄存器，定義數(shù)據(jù)校正模式；設(shè)置ALM_CTRL寄存器，為數(shù)據(jù)報(bào)警。

陀螺儀自身帶有一個(gè)校準(zhǔn)控制指令，在讀取數(shù)據(jù)之前需要用戶的自定義校準(zhǔn)，具體操作方法［6］是將MSC_

CTRL寄存器的第10位置1，20 ms后，讀取狀態(tài)寄存器的值，如果為0x0000，表明自檢通過，否則表明陀螺儀存在如供電超限、SPI通信錯(cuò)誤等問題，響應(yīng)的錯(cuò)誤位將在狀態(tài)寄存器中標(biāo)出。

MEMS陀螺儀數(shù)據(jù)采集軟件設(shè)計(jì)主要是對(duì)AT89S52的程序設(shè)計(jì)。系統(tǒng)上電復(fù)位后，首先完成單片機(jī)初始化，對(duì)陀螺儀各個(gè)自由度寄存器參數(shù)設(shè)置，初始化LCD1602，初始化SPI接口，陀螺儀自校準(zhǔn)過程，定時(shí)器和相應(yīng)中斷打開，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)及更新，最后通過按鍵分別顯示X、Y、Z軸陀螺儀和加速度計(jì)以及內(nèi)部溫度信息。系統(tǒng)軟件程序采用Keil μVision4軟件編寫，Keil μVision4是基于80C51內(nèi)核開發(fā)的，可以用C語言和匯編語言進(jìn)行編程，C編譯工具在產(chǎn)生代碼的準(zhǔn)確性和效率方面達(dá)到了較高的水平，并且可以附加靈活的控制選項(xiàng)，在開發(fā)大型項(xiàng)目時(shí)非常實(shí)用［7］。其軟件程序流程圖如圖4所示。

3 測(cè)試結(jié)果

完成硬件平臺(tái)搭建和軟件程序設(shè)計(jì)后，室溫下對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行靜態(tài)測(cè)量，通過改變溫度，分析角度的漂移；在小型旋轉(zhuǎn)平面上進(jìn)行動(dòng)態(tài)測(cè)試，分析線性加速度的變化，針對(duì)過大的漂移率現(xiàn)象，進(jìn)行自校準(zhǔn)，再測(cè)量。

靜態(tài)測(cè)試，在室溫下，由液晶屏顯示輸出溫度為

+21.36 ℃，輸出角度有不超過0.02°/s的漂移率。當(dāng)把陀螺儀溫度提高到50 ℃時(shí)，顯示溫度為+50.07 ℃，陀螺角度出現(xiàn)單向漂移現(xiàn)象，輸出角度大約為0.72°/min漂移率。經(jīng)過軟件自校準(zhǔn)后，角度漂移較穩(wěn)定變化，單漂移現(xiàn)象消除。

動(dòng)態(tài)測(cè)試，對(duì)三軸加速度計(jì)的測(cè)試采用重力場(chǎng)1 gn試驗(yàn)方法［8］，安裝方法如圖5所示，將加速度計(jì)通過卡具安裝在位置轉(zhuǎn)臺(tái)上，使加速度計(jì)的輸入軸在鉛垂平面內(nèi)相對(duì)重力加速度轉(zhuǎn)動(dòng)。

使位置轉(zhuǎn)臺(tái)在360°范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，由圖5可知，敏感軸上的加速度分量為［9］：

a=gn·sinθ （1）

式中a為敏感軸上的加速度；θ為加速度計(jì)敏感軸與水平方向間的夾角。由式（1）可知，當(dāng)位置轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，加速度計(jì)敏感軸上的重力加速度分量呈正弦關(guān)系變化，加速度計(jì)的輸出也呈正弦關(guān)系變化。在知道敏感軸與水平方向的夾角后，就可以計(jì)算出加速度計(jì)所感應(yīng)到的加速度大小［8］。

測(cè)試采取十二位置測(cè)試方法，即每間隔30°測(cè)量一次，首先需要確定機(jī)械零點(diǎn)，即試驗(yàn)前要確保初始狀態(tài)的敏感軸與水平方向間夾角為0°，確定機(jī)械零位一般采用四點(diǎn)法［9］，測(cè)量當(dāng)?shù)刂亓铀俣萭n（如長春重力加速度為9.801 m/s2），由公式（1）可以計(jì)算出十二位置點(diǎn)的重力加速度分量值，選取部分測(cè)試點(diǎn)與本系統(tǒng)顯示的加速度值對(duì)比，分析絕對(duì)誤差如表1所示。

由表1知，在常溫下測(cè)量的ADIS16355加速度計(jì) 系統(tǒng)顯示的值與理論值絕對(duì)誤差在轉(zhuǎn)臺(tái)限定的誤差范圍之內(nèi)，并且滿足ADIS16355線性加速度精度誤差為2.522 mg/LSB（約為0.024 7 m/s2）的要求，加上溫度補(bǔ)償可以進(jìn)一步提高測(cè)量精度。

本數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)主要存在以下誤差：一方面是由陀螺儀自身出廠工藝缺陷、結(jié)構(gòu)、工作模式等形成的各種漂移；另一方面是由重力場(chǎng)、磁場(chǎng)、檢測(cè)電路干擾、系統(tǒng)安裝不平衡引起的陀螺輸出偏差。對(duì)于以上誤差中確定性誤差可以采用標(biāo)定測(cè)試、自檢校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償來減小，對(duì)于不確定性誤差采用統(tǒng)計(jì)方法統(tǒng)計(jì)變化規(guī)律和有效系統(tǒng)辨識(shí)方法來處理。

ADIS16355 iSensor是一款完整的三軸陀螺儀與三軸加速計(jì)慣性檢測(cè)系統(tǒng)。本文以AT89S52單片機(jī)為核心控制器件，只需要很少的外圍電路，采用KeilC51軟件編寫程序，實(shí)時(shí)存儲(chǔ)采集的數(shù)據(jù)并經(jīng)LCD顯示，通過靜態(tài)溫度和角度測(cè)試及重力加速度試驗(yàn)測(cè)試表明，該系統(tǒng)具有較高的精度和實(shí)時(shí)性。最后對(duì)系統(tǒng)存在的誤差進(jìn)行分析。