（文章來源：中關(guān)村在線）

我們都知道，芯片領(lǐng)域光刻機和OLED面板領(lǐng)域的蒸鍍機一直是中國的痛，因為縱觀中國的半導(dǎo)體領(lǐng)域，從設(shè)備生產(chǎn)商到晶圓代工廠商，與西方主流水準差距都不會很大，甚至像中微的蝕刻機達到了全球一流水準。但是光刻機中國目前才突破90nm，差距非常大，而蒸鍍機則還是0，直到合肥萊德成功量產(chǎn)蒸鍍機。

還有一個就是蒸鍍機，中國一直以來都是面板需求大國，從京東方成功突破日韓面板企業(yè)壟斷之后，為中國每年節(jié)省了數(shù)千億的進口費用。但是中國雖然成功掌握了面板制造技術(shù)，但是在新一代的OLED面板上和三星還有差距，其中之一的原因就是中國無法獲取到足夠的高端蒸鍍機。OLED最早是發(fā)端于學術(shù)研究上電致發(fā)光有機材料的發(fā)現(xiàn)，比較公認的是柯達公司的鄧青云發(fā)明了第一個OLED器件并申請了專利。

通俗地說，在生產(chǎn)OLED屏的過程中，要通過真空蒸鍍機將OLED有機發(fā)光材料精準、均勻、可控地蒸鍍到玻璃基板上，除了發(fā)光材料，金屬電極等也是這樣蒸上去的，具有成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高、膜結(jié)構(gòu)和性能獨特等優(yōu)點。

蒸鍍機及蒸鍍工藝是OLED屏生產(chǎn)過程中難度最高的環(huán)節(jié)之一，蒸鍍機為什么這么難造，要知道，這個設(shè)備可是一個龐然大物，該設(shè)備的真空生產(chǎn)線有 100 米長，尺寸相當于大型電視屏幕的玻璃面板透過機械臂在幾個廠間之間移動，有機材料的蒸發(fā)制程可以將紅、綠、藍像素點儲存在屏幕表面?？梢哉f，擁有了高性能的真空蒸鍍機才算是真正拿到了OLED屏生產(chǎn)的入場券。

掌握了高端蒸鍍機的Canon Tokki經(jīng)過幾十年的發(fā)展，也才343名員工。一臺設(shè)備才賣1.14億美元。一年目前僅能生產(chǎn)出七臺，可見企業(yè)規(guī)模有多少，收入和利潤有多低。但是它卻站在了OLED產(chǎn)業(yè)鏈的頂層，主宰了整個OLED產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，任何OLED都受限于它。尤其對于中國而言，蒸鍍機可以說是一項限制中國OLED產(chǎn)業(yè)發(fā)展的設(shè)備，2019年中國OLED市場需求達2.89億片。到2022年OLED市場需求達將要達到4.5億片，這都需要先進的蒸鍍機提供支持。

但是Canon Tokki為了感謝三星的支持，所以最開始的幾年，年產(chǎn)量3~4臺時，全部供貨給三星，所以三星在OLED占的先機，搶占95%的市場。直到2017年，Canon Tokki年產(chǎn)量達7臺，LGD和京東方才各得一臺，這條設(shè)備也是京東方量產(chǎn)OLED屏的硬件條件。也正是得益于擁有最頂級的蒸鍍機設(shè)備，以及近20年的技術(shù)積累，三星在OLED面板良品率已經(jīng)將近80%，在屏幕素質(zhì)的調(diào)教優(yōu)化上更是一騎絕塵。

而且因為得益于兩者的友好關(guān)系，三星關(guān)于OLED最前沿的技術(shù)都可以交給Canon Tokki來幫助其實現(xiàn)，從而讓三星在OLED上可以享受最為前沿的技術(shù)，三星和Canon Tokki已經(jīng)構(gòu)建了一個完整的OLED生態(tài)鏈。比如最近，三星與Canon Tokki合作為QD-OLED生產(chǎn)建立試驗性質(zhì)的8代生產(chǎn)線。

可以說，正是Canon Tokki幫助三星坐穩(wěn)了OLE的市場龍頭老大的位置。國內(nèi)面板廠商對于高端蒸鍍機的需求一直得不到滿足，而且價格又高，交付周期又長，服務(wù)還得不到保障，所以我們便想自研高端蒸鍍機。日前，合肥合巢經(jīng)開區(qū)合肥萊德設(shè)備技術(shù)有限公司已成功研制出從事OLED生產(chǎn)所必需的核心設(shè)備真空蒸鍍機，填補了國內(nèi)在這個領(lǐng)域的空白。

之所以取得這樣的成績，是因為中國借鑒了ASML崛起的經(jīng)驗，OLED面板生產(chǎn)鏈上下游通力合作，集結(jié)了OLED行業(yè)內(nèi)面板廠、設(shè)備廠和材料廠等多位資深專家進行攻關(guān)，終于打破國外高端蒸鍍機的壟斷，研制出了性價比高的OLED真空蒸鍍機，一旦國內(nèi)有能力研發(fā)出OLED蒸鍍設(shè)備，國外也開始降價。

除了合肥萊德，還有其他幾家目前也在向蒸鍍設(shè)備市場進發(fā)，分別是韓國的SUNIC、SFA，這兩家是三星從Tokki的設(shè)備上copy出來的企業(yè)，國內(nèi)也有企業(yè)采購了，不過都是試驗線設(shè)備而且差距很大。還有一家是日本的ULVAC，這家的技術(shù)還不穩(wěn)定，錯誤率比較高。不管怎么樣，從無到有都要付出巨大的努力，也期待中國生產(chǎn)的蒸鍍機可以生產(chǎn)，向全球發(fā)展。

（責任編輯：fqj）