就在國(guó)內(nèi)12英寸大硅片（300mm晶圓）項(xiàng)目紛涌而起之際，去年底新修訂的《瓦森納協(xié)議》中，便“緊跟形勢(shì)”地增加了對(duì)于12英寸硅晶圓制造技術(shù)的出口管制內(nèi)容。

具體而言，新增內(nèi)容直指當(dāng)下國(guó)內(nèi)正在尋求突破的針對(duì)于14nm制程的大硅片生產(chǎn)技術(shù)，在此之前，中芯國(guó)際已宣布14nm實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

“瓦森納新增部分對(duì)于12英寸大硅片技術(shù)的管制針對(duì)性非常強(qiáng)。當(dāng)他們發(fā)現(xiàn)無(wú)法限制中國(guó)的14nm芯片制造之后，便將范圍擴(kuò)大到上游14nm工藝硅片的生產(chǎn)技術(shù)上來(lái)。”一位業(yè)內(nèi)人士告訴集微網(wǎng)。

同光刻機(jī)類似，半導(dǎo)體硅片也是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈與國(guó)際先進(jìn)水平差距最大的環(huán)節(jié)之一。目前我國(guó)12英寸大硅片百分之九十九以上來(lái)自進(jìn)口，從生產(chǎn)技術(shù)、原材料到設(shè)備，幾乎均由國(guó)外企業(yè)把持。

在新瓦森納協(xié)議“鎖喉”之下，中國(guó)大硅片產(chǎn)業(yè)亟待尋求突圍之策。行業(yè)人士呼吁，芯片制造企業(yè)不能只顧眼前利益，要下決心配合硅片制造商測(cè)試國(guó)產(chǎn)化硅片質(zhì)量，從長(zhǎng)遠(yuǎn)利益出發(fā)，具有危機(jī)意識(shí)，雙方協(xié)同推進(jìn)我國(guó)大硅片產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。

新“瓦森納”的憂慮：中國(guó)14nm節(jié)點(diǎn)的突破

在去年年底新修訂的《瓦森納協(xié)議》中增加了兩條有關(guān)半導(dǎo)體領(lǐng)域的出口管制內(nèi)容，主要涉及計(jì)算光刻軟件以及12英寸大硅片生產(chǎn)制造技術(shù)。

對(duì)于大硅片技術(shù)管制的具體內(nèi)容表述為：對(duì)300mm直徑硅晶圓的切割、研磨、拋光達(dá)到局部平整度的技術(shù)要求，在任意26mm*8mm的面積內(nèi)平整度差小于等于20nm，以及邊緣去除方面小于等于2mm。

一位國(guó)內(nèi)的硅片廠商人士告訴集微網(wǎng)，這是行業(yè)內(nèi)關(guān)于硅片平整度技術(shù)要求的最精準(zhǔn)描述。換成通俗一點(diǎn)的說(shuō)法，這一技術(shù)規(guī)范通常情況下對(duì)應(yīng)的是針對(duì)14nm制程工藝的大硅片生產(chǎn)制造技術(shù)。在此要求之下，所有涉及到該指標(biāo)的技術(shù)、設(shè)備等都在出口管制之內(nèi)。

“在40nm制程節(jié)點(diǎn)以下，對(duì)于晶圓片要求基本是差不多的，對(duì)應(yīng)的技術(shù)節(jié)點(diǎn)主要是看光刻機(jī)下套準(zhǔn)的精度是多少，精準(zhǔn)度越高，平整度就要求越高，所以限制平整度絕對(duì)是專業(yè)手法?！痹撊耸勘硎尽?/p>

對(duì)于新修訂的《瓦森納協(xié)議》，上述硅片廠商人士告訴集微網(wǎng)，他解讀出了兩個(gè)字：憂慮。

“以前瓦森納協(xié)議中并沒(méi)有針對(duì)硅片的內(nèi)容，此次新修訂的瓦森納協(xié)議首次增加了對(duì)于硅片部分的限制內(nèi)容，來(lái)自于對(duì)中國(guó)在14nm工藝節(jié)點(diǎn)上取得突破的焦慮?？赡芩麄冋J(rèn)為如果不加以限制，會(huì)出大問(wèn)題?！痹撊耸勘硎?。

這個(gè)大問(wèn)題可能來(lái)自于中國(guó)在14nm以及先進(jìn)制程工藝節(jié)點(diǎn)上取得的重大突破。

去年10月，中芯國(guó)際宣布旗下的14nm工藝制程芯片已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，華力微也在去年3月表示，將于今年年底實(shí)現(xiàn)14nm FinFET量產(chǎn)。根據(jù)此前的公開報(bào)道，長(zhǎng)江存儲(chǔ)購(gòu)買到可用于生產(chǎn)14nm工藝3D NAND閃存的光刻機(jī)。與此同時(shí)，各地紛紛上馬的12英寸大硅片項(xiàng)目也有望實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)大硅片的自給，擺脫在12英寸大硅片上幾乎全部進(jìn)口的現(xiàn)狀。

這意味著在14nm節(jié)點(diǎn)上，中國(guó)構(gòu)建起從晶圓供給，到芯片制造較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈條雛形。14nm節(jié)點(diǎn)的大硅片主要應(yīng)用于存儲(chǔ)、邏輯電路，如GPU、智能手機(jī)SoC、高端存儲(chǔ)芯片、CPU、FPGA等，應(yīng)用廣泛，在消費(fèi)電子、汽車、工業(yè)、物聯(lián)網(wǎng)、5G等領(lǐng)域擁有龐大的市場(chǎng)空間。

這些都為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速掌握更加先進(jìn)的制程技術(shù)奠定了基礎(chǔ)，同時(shí)也正是瓦森納所代表的西方勢(shì)力所深感不安之處。

“新瓦森納協(xié)議的針對(duì)性很強(qiáng)，既然無(wú)法對(duì)我們的14nm芯片制造進(jìn)行限制，那就將矛頭指向14nm大硅片的生產(chǎn)工藝，從更上游進(jìn)行限制?！痹撊耸勘硎?。

鎖喉！中國(guó)大硅片產(chǎn)業(yè)鏈條受制日美

半導(dǎo)體硅片是芯片制造最重要的材料，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石。半導(dǎo)體硅片也是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈與國(guó)際先進(jìn)水平差距最大的環(huán)節(jié)之一。目前，我國(guó)12英寸大硅片幾乎全部來(lái)自進(jìn)口。

全球半導(dǎo)體硅片行業(yè)市場(chǎng)集中度很高，主要被日本、德國(guó)、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣等國(guó)家和地區(qū)的知名企業(yè)把持。數(shù)據(jù)顯示，2018年全球前五大半導(dǎo)體硅片企業(yè)日本ShinEtsu（信越化學(xué)）、日本SUMCO（勝高）、德國(guó)Siltronic（世創(chuàng)）、中國(guó)臺(tái)灣環(huán)球晶圓、韓國(guó)SK Siltron合計(jì)所占市場(chǎng)份額達(dá)到92%，而在12英寸大硅片領(lǐng)域，這五大廠商占比更是達(dá)到95%。

有業(yè)內(nèi)人士指出，新版瓦森納協(xié)議對(duì)于14nm工藝12英寸大硅片技術(shù)的限制可能會(huì)扼住我國(guó)大硅片產(chǎn)業(yè)發(fā)展“喉嚨”。因?yàn)槟壳拔覀儑?guó)內(nèi)大硅片企業(yè)正處于進(jìn)入和亟待該領(lǐng)域技術(shù)突破的階段。

以目前剛剛登陸科創(chuàng)板的國(guó)內(nèi)硅晶圓生產(chǎn)龍頭上海硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)為例，旗下的上海新昇是國(guó)內(nèi)首個(gè)具備12英寸大硅片量產(chǎn)能力的廠商。根據(jù)上海硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)的招股書披露，2019年該公司開始逐步進(jìn)入20-14nm集成電路用12英寸大硅片的技術(shù)開發(fā)，目前尚處于初期階段。

因此，新版瓦森納協(xié)議在這個(gè)時(shí)間點(diǎn)增加對(duì)于大硅片限制的內(nèi)容，無(wú)疑給國(guó)內(nèi)大硅片技術(shù)的發(fā)展帶來(lái)了挑戰(zhàn)。更為關(guān)鍵的是，在硅片產(chǎn)業(yè)所需要的關(guān)鍵材料和設(shè)備領(lǐng)域，我國(guó)同樣自主化程度不高。

比如長(zhǎng)期以來(lái)，用于硅片生產(chǎn)制造的關(guān)鍵原材料電子級(jí)多晶硅仍主要集中于美國(guó)Hemlock、德國(guó)Wacker和日本Tokuyama、住友、三菱等少數(shù)幾家多晶硅企業(yè)。設(shè)備方面，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，2018年全球硅片設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為26.93億美元(185億元)，其中單晶爐、CMP拋光機(jī)、量測(cè)設(shè)備為三大關(guān)鍵設(shè)備，分別占比25%、15%、20%。其中拉晶和量測(cè)設(shè)備主要提供商為美國(guó)企業(yè)，CMP拋光機(jī)則主要由日本企業(yè)提供。另?yè)?jù)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)統(tǒng)計(jì)，我國(guó)大硅片加工設(shè)備如研磨設(shè)備95%以上來(lái)自日本，減薄設(shè)備100%從日本進(jìn)口。

“日美的大廠把大硅片的產(chǎn)業(yè)鏈控制得很好，多數(shù)都通過(guò)股權(quán)的方式持有該產(chǎn)業(yè)的材料和設(shè)備公司股份，使得在高端產(chǎn)品上實(shí)現(xiàn)獨(dú)供和控制，國(guó)內(nèi)的硅片廠商無(wú)法引進(jìn)最先進(jìn)的設(shè)備。買回來(lái)設(shè)備后，只有靠一批次一批次的生產(chǎn)，積累know-how，然后調(diào)試設(shè)備，把設(shè)備調(diào)試到能達(dá)到的最佳狀態(tài)?！币晃皇煜で闆r的業(yè)內(nèi)人士告訴集微網(wǎng)。

沖動(dòng)！地方大硅片項(xiàng)目紛紛上馬存隱憂

新瓦森納協(xié)議增加對(duì)大硅片技術(shù)限制的另一個(gè)背景，來(lái)自于我國(guó)多地密集布局的12英寸大硅片項(xiàng)目。

自 2016 年起，全國(guó)各地12英寸大硅片項(xiàng)目建設(shè)紛紛上馬。據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，目前投產(chǎn)、在建以及規(guī)劃中的12英寸硅晶圓項(xiàng)目共計(jì)20余個(gè)，其中包括上海新昇、中環(huán)天津、中環(huán)無(wú)錫、超硅上海、超硅重慶、超硅成都、有研德州、寧夏銀和、合晶鄭州、安徽易芯、奕斯偉西安、四川經(jīng)略、金瑞泓（衢州）、啟世半導(dǎo)體、中欣晶圓，中晶嘉興等項(xiàng)目。高利潤(rùn)率、國(guó)產(chǎn)替代方向以及發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的熱情使得地方政府不惜投入重金。華西證券的研報(bào)顯示，截至2019年第三季度，國(guó)內(nèi)大硅片項(xiàng)目總投資額達(dá)到1349億元，目標(biāo)產(chǎn)能合計(jì)642萬(wàn)片/月，這個(gè)數(shù)字已經(jīng)是2018年全球12英寸硅片月需求量。

“上游電子級(jí)多晶硅的價(jià)格6萬(wàn)元一噸，做成晶圓片可以賣到60萬(wàn)一噸，升值10倍，12英寸大硅片的利潤(rùn)率在40%左右，具有較高的利潤(rùn)空間。而相較于8英寸產(chǎn)線，12英寸大硅片產(chǎn)線更為先進(jìn)，再加上國(guó)產(chǎn)替代，打破國(guó)際壟斷等概念，因此更能吸引到地方政府的投資?！币晃恍袠I(yè)人士告訴集微網(wǎng)。

但問(wèn)題也隨之而來(lái)。此前集微網(wǎng)曾報(bào)道，廣西啟世12英寸大硅片項(xiàng)目簽約1年半遲遲未開工，成都超硅遭清算等，國(guó)產(chǎn)大硅片在火熱上馬之后，遭遇落地難的現(xiàn)實(shí)。

“目前我國(guó)12英寸大硅片的產(chǎn)能規(guī)劃非常大，要么是掛在嘴邊，要么是貼在墻上，有多少能成功才是關(guān)鍵。如果真做，有沒(méi)有隊(duì)伍也是關(guān)鍵問(wèn)題。我認(rèn)為真正能有一半項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)最終落地已經(jīng)很不錯(cuò)了，特別是規(guī)劃小于30萬(wàn)片月產(chǎn)能的項(xiàng)目，量產(chǎn)后比較難以保證盈虧平衡，達(dá)不到經(jīng)濟(jì)規(guī)模?！币晃皇煜す杵a(chǎn)業(yè)情況的業(yè)內(nèi)人士坦言。

據(jù)集微網(wǎng)了解，多地密集上馬12英寸大硅片項(xiàng)目以及過(guò)程中產(chǎn)生的問(wèn)題已經(jīng)引起發(fā)改委的注意，行業(yè)也在不斷呼吁對(duì)12英寸大硅片的投資應(yīng)回歸理性。

“但大硅片畢竟不屬于戰(zhàn)略物資，還是要以市場(chǎng)為主，在地方政府和資金參與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資熱情高漲的情況下，發(fā)改委可能也頂不住來(lái)自地方政府的壓力。”上述人士表示。

保守？芯片制造商不能只顧眼前利益

芯片制造企業(yè)對(duì)半導(dǎo)體硅片的品質(zhì)有著極高的要求，對(duì)供應(yīng)商的選擇非常慎重。多年來(lái)，硅片制造商和芯片制造商已經(jīng)形成了深度的“綁定”關(guān)系。新的硅片廠商要進(jìn)入到芯片制造商供應(yīng)鏈體系中，需要通過(guò)嚴(yán)格的認(rèn)證流程。

通常情況下，產(chǎn)品認(rèn)證周期一般為9-18個(gè)月，而終端用于汽車電子、醫(yī)療健康以及航空航天等領(lǐng)域的半導(dǎo)體硅片產(chǎn)品認(rèn)證周期通常為3-5年。

因此，即便是國(guó)內(nèi)大硅片龍頭硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)和中環(huán)股份，也只是處于部分12英寸產(chǎn)品通過(guò)認(rèn)證，初步量產(chǎn)或即將量產(chǎn)的階段，離真正進(jìn)入到芯片制造大廠的供應(yīng)鏈體系還有一定距離。根據(jù)上海新昇方面公布的數(shù)據(jù)，雖然目前硅晶圓出貨累計(jì)已經(jīng)超過(guò)100萬(wàn)片，但很大一部分是測(cè)試樣片，正片出貨量不足十分之一。

“這個(gè)認(rèn)證過(guò)程，芯片制造商會(huì)安排在生產(chǎn)中的空檔環(huán)節(jié)進(jìn)行，因?yàn)樾酒圃焐痰纳a(chǎn)排期非常緊密，再加上一些芯片制造大廠對(duì)于一些新建項(xiàng)目的硅片產(chǎn)品本身存有疑慮，并不愿意配合驗(yàn)證?！鄙鲜鰳I(yè)內(nèi)人士表示。

多年來(lái)，國(guó)內(nèi)的芯片制造廠商同日本等晶圓供應(yīng)商已經(jīng)形成穩(wěn)定的供應(yīng)關(guān)系，讓其改變或部分改變，接受國(guó)內(nèi)廠商的產(chǎn)品會(huì)有所挑戰(zhàn)。

“即便從大方向上推進(jìn)國(guó)產(chǎn)替代沒(méi)有問(wèn)題，也能夠配合進(jìn)行測(cè)試和認(rèn)證，但能否最終批量采用，各家芯片制造廠商不得不考慮國(guó)產(chǎn)硅片的穩(wěn)定性、質(zhì)量，甚至自己的KPI。”該人士表示。

此外，在上述硅片廠商人士看來(lái)，大陸芯片制造商的能力和對(duì)上游材料的認(rèn)知程度，較主流大廠還存在一定差距，這些廠商在接受國(guó)產(chǎn)硅片上的相對(duì)“保守”也給國(guó)內(nèi)硅片廠商的發(fā)展增加了難度。

“比如硅片一共有20個(gè)參數(shù)指標(biāo)，我們能夠滿足關(guān)鍵指標(biāo)在內(nèi)的十幾個(gè)，有的一線芯片制造大廠認(rèn)為能用但需要我們降價(jià)，而國(guó)內(nèi)的廠商則認(rèn)為指標(biāo)不滿足要求不敢用?！痹撊耸勘硎?。

業(yè)內(nèi)人士指出，國(guó)產(chǎn)大硅片的發(fā)展需要硅片制造商和芯片制造廠商兩方面的共同推動(dòng)。一方面，國(guó)內(nèi)硅片廠商需要不斷提升自己的技術(shù)實(shí)力和產(chǎn)品品質(zhì)，確保硅片的質(zhì)量以及穩(wěn)定性；另一方面，芯片制造商也應(yīng)該開放更多機(jī)會(huì)。

“現(xiàn)在國(guó)內(nèi)部分芯片制造廠愿意幫助硅片制造商試驗(yàn)，已經(jīng)前進(jìn)了一大步。芯片制造企業(yè)不能只顧眼前利益，要下決心配合硅片制造商測(cè)試國(guó)產(chǎn)化硅片質(zhì)量。硅片是產(chǎn)業(yè)命脈，對(duì)手已先入為主，從長(zhǎng)遠(yuǎn)利益出發(fā)，無(wú)論是硅片制造商還是芯片制造商都要有危機(jī)意識(shí)，雙方協(xié)同才能共同推進(jìn)我國(guó)大硅片產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。”上述人士強(qiáng)調(diào)。