近日，芯源微高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目正式開(kāi)工。芯源微于2019年12月16日正式登陸科創(chuàng)板，招股書(shū)顯示，公司計(jì)劃募集資金約3.78億元，主要用于高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目及高端晶圓處理設(shè)備研發(fā)中心項(xiàng)目。

芯源微是一家從事半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的公司，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)），可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)）及6英寸及以下單晶圓處理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等環(huán)節(jié)）。

芯源微官微顯示，公司高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目總投資5.28億元，將分2期建設(shè)，其中一期投資2.38億元。項(xiàng)目總用地面積45576.95平方米，總建筑面積76728.84平方米，一期建筑面積47012.17平方米。項(xiàng)目主要用于生產(chǎn)高端晶圓處理設(shè)備，包括前道涂膠/顯影機(jī)及前道單片式清洗機(jī)等。項(xiàng)目將打造東北地區(qū)頂級(jí)的半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備研發(fā)與生產(chǎn)基地，全部達(dá)產(chǎn)后將帶動(dòng)就業(yè)2000人。

據(jù)介紹，截至2019年6月30日，芯源微產(chǎn)品已累計(jì)銷(xiāo)售700余臺(tái)套，目前作為主流機(jī)型已成功打入包括臺(tái)積電、長(zhǎng)電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等在內(nèi)的多家國(guó)內(nèi)知名一線大廠；公司集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)用涂膠顯影設(shè)備已開(kāi)發(fā)完成，于2018年下半年分別發(fā)往上海華力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)進(jìn)行工藝驗(yàn)證，其中，上海華力機(jī)臺(tái)已于2019年9月通過(guò)工藝驗(yàn)證并確認(rèn)收入，長(zhǎng)江存儲(chǔ)機(jī)臺(tái)仍在驗(yàn)證中，目前國(guó)內(nèi)該類(lèi)設(shè)備主要被日本東京電子（TEL）所壟斷。此外，公司集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)用清洗機(jī)產(chǎn)品目前已通過(guò)中芯國(guó)際（深圳廠）工藝驗(yàn)證并成功實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售。

芯源公司董事長(zhǎng)、總裁宗潤(rùn)福在致辭中表示，得益于芯源長(zhǎng)期的技術(shù)積累和半導(dǎo)體行業(yè)的投資升溫，芯源訂單持續(xù)增長(zhǎng)，擴(kuò)產(chǎn)勢(shì)在必行。