文｜James

集微網(wǎng)消息，光刻機(jī)被業(yè)界譽(yù)為集成電路產(chǎn)業(yè)皇冠上的明珠，其研發(fā)的技術(shù)門檻和資金門檻非常高，全球光刻機(jī)主要制造廠商主要包括荷蘭的 ASML、日本的 Nikon、日本的 Cannon、美國的 Ultratech 以及中國的上海微電子。隨著工藝制程的演進(jìn)和分辨率的可靠性等要求越來越高，光刻機(jī)制造難度也越來越大，對(duì)配套的精密光學(xué)器件也提出了更高的要求。

近年來，受益于本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)爆發(fā)，不少光學(xué)領(lǐng)域公司已初具規(guī)模，其中就包括南京茂萊光學(xué)科技股份有限公司（簡(jiǎn)稱“茂萊光學(xué)”）。筆者發(fā)現(xiàn)，近日，從股轉(zhuǎn)系統(tǒng)摘牌3年的茂萊光學(xué)申請(qǐng)科創(chuàng)板IPO已獲受理。憑借在精密光學(xué)器件方面的持續(xù)研發(fā)投入，茂萊光學(xué)已成功進(jìn)入上海微電子的供應(yīng)體系，實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)核心光學(xué)器件的部分國產(chǎn)替代。

進(jìn)入上海微電子供應(yīng)體系

在半導(dǎo)體檢測(cè)中，高精度的光學(xué)成像系統(tǒng)有助于避免制造損失的指數(shù)式增長(zhǎng)。以缺陷檢測(cè)為例，晶圓特征尺寸的不斷減小會(huì)造成更多微小的缺陷，這些表面缺陷是提高良率的主要障礙，表面缺陷檢測(cè)使用的設(shè)備主要是掃描電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡，由此可見，高精度的光學(xué)成像系統(tǒng)在半導(dǎo)體檢測(cè)過程中意義重大。

據(jù)招股書披露，茂萊光學(xué)的主要產(chǎn)品包括精密光學(xué)器件、高端光學(xué)鏡頭和先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)三大類業(yè)務(wù)，覆蓋深紫外DUV、可見光到遠(yuǎn)紅外全譜段。茂萊光學(xué)在半導(dǎo)體方面的業(yè)務(wù)主要有半導(dǎo)體光學(xué)透鏡、大視場(chǎng)大數(shù)值孔徑顯微物鏡和高精度快速半導(dǎo)體制造工藝缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)。

據(jù)悉，半導(dǎo)體光學(xué)透鏡用于半導(dǎo)體光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)中耦合、中繼照明模塊，是光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)光線均勻性的關(guān)鍵模塊；大視場(chǎng)大數(shù)值孔徑顯微物鏡系列主要功能為利用光線使被檢物體一次成像，是半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)中的核心光學(xué)鏡頭；此外，高精度快速半導(dǎo)體制造工藝缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體裝備晶圓檢測(cè)，可提升有效視場(chǎng)范圍和提高檢測(cè)速度。

據(jù)了解，茂萊半導(dǎo)體領(lǐng)域核心客戶是上海微電子，后者是國內(nèi)技術(shù)領(lǐng)先的光刻機(jī)研制生產(chǎn)單位，目前已量產(chǎn)的光刻機(jī)有三款，其中性能最好的是90nm光刻機(jī)，在先進(jìn)光刻機(jī)產(chǎn)品方面形成了系列化和量產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)海外市場(chǎng)的銷售突破。

與此同時(shí)，上海微電子的發(fā)展也帶動(dòng)了茂萊光學(xué)的業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)。2017-2019年，茂萊光學(xué)實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入分別為1.52億元、1.84億元及2.22億元，復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)20.82%。值得一提的是，2019年，茂萊光學(xué)高端光學(xué)鏡頭收入較2018年度增長(zhǎng)25.78%。

由上表可知，大視場(chǎng)大數(shù)值孔徑顯微物鏡系列產(chǎn)品收入同比增長(zhǎng)136.79%，主要由于半導(dǎo)體檢測(cè)物鏡系列產(chǎn)品收入增長(zhǎng)，茂萊光學(xué)2018年相應(yīng)樣品研發(fā)成功，2019年其新增訂單實(shí)現(xiàn)大幅增長(zhǎng)，收入同比增長(zhǎng)554.69萬元。

此外，茂萊光學(xué)先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)業(yè)務(wù)也實(shí)現(xiàn)了高速增長(zhǎng)。2018年度，茂萊光學(xué)先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)業(yè)務(wù)收入較2017年度增長(zhǎng)59.95%，主要是由于高精度快速半導(dǎo)體制造工藝缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)于當(dāng)期完成樣品驗(yàn)收，實(shí)現(xiàn)銷售收入71.72萬元；2019年度，高精度快速半導(dǎo)體制造工藝缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)收入同比增長(zhǎng)329.41萬元，產(chǎn)品進(jìn)入批量生產(chǎn)階段。

持續(xù)高研發(fā)投入加速國產(chǎn)替代進(jìn)程

茂萊光學(xué)之所以能在半導(dǎo)體領(lǐng)域取得快速突破，與其持續(xù)高研發(fā)投入的推動(dòng)密不可分。據(jù)悉，茂萊光學(xué)高度重視研發(fā)投入及專業(yè)人才的引進(jìn)和培養(yǎng)，從研發(fā)人員的薪酬占研發(fā)費(fèi)用的比例可見一斑。

從招股書來看，2017年至2020年Q1，茂萊光學(xué)各期研發(fā)費(fèi)用分別為1,506.60萬元、1,763.95萬元、2,413.34萬元和823.10萬元，其中，職工薪酬占研發(fā)費(fèi)用的比例分別為57.12%、65.21%、67.96%和52.84%，呈逐年走高趨勢(shì)。

2018年度及2019年度，茂萊光學(xué)研發(fā)費(fèi)用分別同比增長(zhǎng)17.08%和36.81%，茂萊光學(xué)解釋稱，主要由于持續(xù)構(gòu)建優(yōu)秀的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，加大研發(fā)投入力度以滿足客戶定制化需求。從前文分析來看，研發(fā)團(tuán)隊(duì)增加與2018、2019年半導(dǎo)體領(lǐng)域產(chǎn)品研發(fā)進(jìn)度相契合。

據(jù)招股書顯示，茂萊光學(xué)研發(fā)費(fèi)用占營(yíng)業(yè)收入比重分別為9.91%、9.60%、10.88%及21.27%。最近三年及一期累計(jì)研發(fā)投入占比為10.91%，茂萊光學(xué)報(bào)告期內(nèi)各期研發(fā)費(fèi)用率均高于平均水平。

持續(xù)高研發(fā)投入也為茂萊光學(xué)帶來回報(bào)，茂萊光學(xué)在光刻機(jī)前端照明用光學(xué)器件已處于國內(nèi)領(lǐng)先地位。據(jù)悉，該產(chǎn)品口徑接近200mm，可實(shí)現(xiàn)紫光鍍膜和測(cè)量要求。此外，茂萊光學(xué)宣稱研制的高精度快速半導(dǎo)體制造工藝缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)處于國際先進(jìn)，并實(shí)現(xiàn)了進(jìn)口替代。

核心技術(shù)產(chǎn)業(yè)化也幫助茂萊光學(xué)實(shí)現(xiàn)了業(yè)績(jī)穩(wěn)定增長(zhǎng)。據(jù)招股書顯示，2017年至2020年Q1，茂萊光學(xué)核心技術(shù)形成的營(yíng)業(yè)收入分別為1.14億元、1.43億元、1.89億元及 0.34億元，保持逐年增長(zhǎng)的良好趨勢(shì)。此外，擁有已形成主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的發(fā)明專利共計(jì) 6 項(xiàng)。

據(jù)中國光學(xué)光電子行業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示，2019年中國光學(xué)元器件市場(chǎng)規(guī)模為1,300億元，較2018年增長(zhǎng)85.71%。國內(nèi)光學(xué)元器件市場(chǎng)正迎來風(fēng)口，茂萊光學(xué)憑借高研發(fā)投入并推動(dòng)核心技術(shù)在半導(dǎo)體等多個(gè)戰(zhàn)略性行業(yè)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，不僅成為推動(dòng)半導(dǎo)體前道晶圓和后道封裝檢測(cè)技術(shù)進(jìn)步的光學(xué)引擎，還在光刻機(jī)的核心光學(xué)器件實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代。

整體來看，茂萊光學(xué)是行業(yè)稀缺標(biāo)的，目前該公司已掌握了精密光學(xué)拋光等尖端制造技術(shù)，在圖像算法諸多方面持續(xù)積累，不斷突破紫外光學(xué)加工和鍍膜、大口徑高精度透鏡加工等各類加工和檢測(cè)技術(shù)，促進(jìn)大口徑干涉系統(tǒng)、光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)、半導(dǎo)體封裝檢測(cè)系統(tǒng)、車載激光雷達(dá)等高端鏡頭和系統(tǒng)的國產(chǎn)化。除了在半導(dǎo)體業(yè)務(wù)順利開拓，持續(xù)的高研發(fā)投入，讓其在AR/VR、自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域，成功進(jìn)入了美國的Microsoft、Facebook、Mack Technologies以及Alphabet旗下自動(dòng)駕駛平臺(tái)等眾多國際品牌的供應(yīng)鏈體系，具有較大的成長(zhǎng)空間。

原文標(biāo)題：【IPO價(jià)值觀】供貨上海微電子，茂萊光學(xué)實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)核心光學(xué)器件國產(chǎn)替代！

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