文｜James

集微網(wǎng)消息，光刻機被業(yè)界譽為集成電路產(chǎn)業(yè)皇冠上的明珠，其研發(fā)的技術門檻和資金門檻非常高，全球光刻機主要制造廠商主要包括荷蘭的 ASML、日本的 Nikon、日本的 Cannon、美國的 Ultratech 以及中國的上海微電子。隨著工藝制程的演進和分辨率的可靠性等要求越來越高，光刻機制造難度也越來越大，對配套的精密光學器件也提出了更高的要求。

近年來，受益于本土半導體產(chǎn)業(yè)爆發(fā)，不少光學領域公司已初具規(guī)模，其中就包括南京茂萊光學科技股份有限公司（簡稱“茂萊光學”）。筆者發(fā)現(xiàn)，近日，從股轉系統(tǒng)摘牌3年的茂萊光學申請科創(chuàng)板IPO已獲受理。憑借在精密光學器件方面的持續(xù)研發(fā)投入，茂萊光學已成功進入上海微電子的供應體系，實現(xiàn)了光刻機核心光學器件的部分國產(chǎn)替代。

進入上海微電子供應體系

在半導體檢測中，高精度的光學成像系統(tǒng)有助于避免制造損失的指數(shù)式增長。以缺陷檢測為例，晶圓特征尺寸的不斷減小會造成更多微小的缺陷，這些表面缺陷是提高良率的主要障礙，表面缺陷檢測使用的設備主要是掃描電子顯微鏡和光學顯微鏡，由此可見，高精度的光學成像系統(tǒng)在半導體檢測過程中意義重大。

據(jù)招股書披露，茂萊光學的主要產(chǎn)品包括精密光學器件、高端光學鏡頭和先進光學系統(tǒng)三大類業(yè)務，覆蓋深紫外DUV、可見光到遠紅外全譜段。茂萊光學在半導體方面的業(yè)務主要有半導體光學透鏡、大視場大數(shù)值孔徑顯微物鏡和高精度快速半導體制造工藝缺陷檢測光學系統(tǒng)。

據(jù)悉，半導體光學透鏡用于半導體光刻機光學系統(tǒng)中耦合、中繼照明模塊，是光刻機實現(xiàn)光線均勻性的關鍵模塊；大視場大數(shù)值孔徑顯微物鏡系列主要功能為利用光線使被檢物體一次成像，是半導體檢測系統(tǒng)中的核心光學鏡頭；此外，高精度快速半導體制造工藝缺陷檢測光學系統(tǒng)主要用于半導體裝備晶圓檢測，可提升有效視場范圍和提高檢測速度。

據(jù)了解，茂萊半導體領域核心客戶是上海微電子，后者是國內技術領先的光刻機研制生產(chǎn)單位，目前已量產(chǎn)的光刻機有三款，其中性能最好的是90nm光刻機，在先進光刻機產(chǎn)品方面形成了系列化和量產(chǎn)化，實現(xiàn)了光刻機海外市場的銷售突破。

與此同時，上海微電子的發(fā)展也帶動了茂萊光學的業(yè)績增長。2017-2019年，茂萊光學實現(xiàn)營業(yè)收入分別為1.52億元、1.84億元及2.22億元，復合增長率達20.82%。值得一提的是，2019年，茂萊光學高端光學鏡頭收入較2018年度增長25.78%。

由上表可知，大視場大數(shù)值孔徑顯微物鏡系列產(chǎn)品收入同比增長136.79%，主要由于半導體檢測物鏡系列產(chǎn)品收入增長，茂萊光學2018年相應樣品研發(fā)成功，2019年其新增訂單實現(xiàn)大幅增長，收入同比增長554.69萬元。

此外，茂萊光學先進光學系統(tǒng)業(yè)務也實現(xiàn)了高速增長。2018年度，茂萊光學先進光學系統(tǒng)業(yè)務收入較2017年度增長59.95%，主要是由于高精度快速半導體制造工藝缺陷檢測光學系統(tǒng)于當期完成樣品驗收，實現(xiàn)銷售收入71.72萬元；2019年度，高精度快速半導體制造工藝缺陷檢測光學系統(tǒng)收入同比增長329.41萬元，產(chǎn)品進入批量生產(chǎn)階段。

持續(xù)高研發(fā)投入加速國產(chǎn)替代進程

茂萊光學之所以能在半導體領域取得快速突破，與其持續(xù)高研發(fā)投入的推動密不可分。據(jù)悉，茂萊光學高度重視研發(fā)投入及專業(yè)人才的引進和培養(yǎng)，從研發(fā)人員的薪酬占研發(fā)費用的比例可見一斑。

從招股書來看，2017年至2020年Q1，茂萊光學各期研發(fā)費用分別為1,506.60萬元、1,763.95萬元、2,413.34萬元和823.10萬元，其中，職工薪酬占研發(fā)費用的比例分別為57.12%、65.21%、67.96%和52.84%，呈逐年走高趨勢。

2018年度及2019年度，茂萊光學研發(fā)費用分別同比增長17.08%和36.81%，茂萊光學解釋稱，主要由于持續(xù)構建優(yōu)秀的研發(fā)團隊，加大研發(fā)投入力度以滿足客戶定制化需求。從前文分析來看，研發(fā)團隊增加與2018、2019年半導體領域產(chǎn)品研發(fā)進度相契合。

據(jù)招股書顯示，茂萊光學研發(fā)費用占營業(yè)收入比重分別為9.91%、9.60%、10.88%及21.27%。最近三年及一期累計研發(fā)投入占比為10.91%，茂萊光學報告期內各期研發(fā)費用率均高于平均水平。

持續(xù)高研發(fā)投入也為茂萊光學帶來回報，茂萊光學在光刻機前端照明用光學器件已處于國內領先地位。據(jù)悉，該產(chǎn)品口徑接近200mm，可實現(xiàn)紫光鍍膜和測量要求。此外，茂萊光學宣稱研制的高精度快速半導體制造工藝缺陷檢測光學系統(tǒng)處于國際先進，并實現(xiàn)了進口替代。

核心技術產(chǎn)業(yè)化也幫助茂萊光學實現(xiàn)了業(yè)績穩(wěn)定增長。據(jù)招股書顯示，2017年至2020年Q1，茂萊光學核心技術形成的營業(yè)收入分別為1.14億元、1.43億元、1.89億元及 0.34億元，保持逐年增長的良好趨勢。此外，擁有已形成主營業(yè)務收入的發(fā)明專利共計 6 項。

據(jù)中國光學光電子行業(yè)協(xié)會發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示，2019年中國光學元器件市場規(guī)模為1,300億元，較2018年增長85.71%。國內光學元器件市場正迎來風口，茂萊光學憑借高研發(fā)投入并推動核心技術在半導體等多個戰(zhàn)略性行業(yè)實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，不僅成為推動半導體前道晶圓和后道封裝檢測技術進步的光學引擎，還在光刻機的核心光學器件實現(xiàn)國產(chǎn)替代。

整體來看，茂萊光學是行業(yè)稀缺標的，目前該公司已掌握了精密光學拋光等尖端制造技術，在圖像算法諸多方面持續(xù)積累，不斷突破紫外光學加工和鍍膜、大口徑高精度透鏡加工等各類加工和檢測技術，促進大口徑干涉系統(tǒng)、光刻機光學系統(tǒng)、半導體封裝檢測系統(tǒng)、車載激光雷達等高端鏡頭和系統(tǒng)的國產(chǎn)化。除了在半導體業(yè)務順利開拓，持續(xù)的高研發(fā)投入，讓其在AR/VR、自動駕駛等領域，成功進入了美國的Microsoft、Facebook、Mack Technologies以及Alphabet旗下自動駕駛平臺等眾多國際品牌的供應鏈體系，具有較大的成長空間。

原文標題：【IPO價值觀】供貨上海微電子，茂萊光學實現(xiàn)光刻機核心光學器件國產(chǎn)替代！

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