來(lái)源：半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟

8月10日，大族激光在互動(dòng)平臺(tái)表示，公司在研光刻機(jī)項(xiàng)目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等方面的應(yīng)用，目前已接到少量訂單。

此前，大族激光也在互動(dòng)平臺(tái)表示，公司在研光刻機(jī)項(xiàng)目主要聚焦在分立器件、LED等領(lǐng)域的應(yīng)用，尚未實(shí)現(xiàn)銷售。

行業(yè)周知，高端芯片制造所需的光刻機(jī)一直以來(lái)被荷蘭ASML公司壟斷，一臺(tái)精密光刻機(jī)售價(jià)動(dòng)輒過(guò)億，而我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)起步較晚，光刻機(jī)技術(shù)與ASML的差距非常大。

當(dāng)前，我國(guó)光刻機(jī)市場(chǎng)環(huán)境中，除了合肥芯碩半導(dǎo)體公司也具備量產(chǎn)200nm光刻機(jī)的實(shí)力，無(wú)錫影幻半導(dǎo)體公司也具備200nm光刻機(jī)量產(chǎn)的實(shí)力，而上海微電子所生產(chǎn)的90nm光刻機(jī)已是目前國(guó)內(nèi)最高技術(shù)的光刻機(jī)。

隨著大族激光在研光刻機(jī)項(xiàng)目的有序推進(jìn)，也為我國(guó)光刻機(jī)的研發(fā)向前推進(jìn)提供助力。

來(lái)源：半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟

原文標(biāo)題：重磅 | 深圳自研光刻機(jī)公司：已接到訂單！

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