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光譜儀由大型科研儀器走向便攜應(yīng)用的轉(zhuǎn)化

MEMS ? 來源:MEMS ? 2020-09-20 09:21 ? 次閱讀
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光譜,被視為物質(zhì)的“指紋”,是各類物質(zhì)與生俱來的“身份證”,而光譜儀就像一雙分辨光波的“眼睛”,通過準(zhǔn)確測量物質(zhì)“指紋”,“一眼洞穿”其化學(xué)成分和物理特性。

近期,利用光譜原理,中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院集成所副研究員林慧成功研發(fā)了一系列面向食品、藥品、照明檢測的超微型光譜儀,實(shí)現(xiàn)了光譜儀由大型科研儀器走向便攜應(yīng)用的轉(zhuǎn)化。

林慧團(tuán)隊(duì)從古代活字印刷術(shù)中獲得靈感,發(fā)明了用于曲面的柔性納米壓印技術(shù),改進(jìn)了關(guān)鍵器件,創(chuàng)新性地將光譜儀與合成生物學(xué)大設(shè)施、爬壁機(jī)器人等新領(lǐng)域結(jié)合,碰撞出全新應(yīng)用場景。

集成所精密工程研究中心副主任林慧


自然界中的太陽光、人造日光燈發(fā)出的光,都是由幾種單色光合成的復(fù)色光。將復(fù)色光分解為單色光的光柵,是光譜儀運(yùn)轉(zhuǎn)的關(guān)鍵。

用光譜儀測量物品的反射或透射光,將復(fù)雜成分的光分解為光譜,然后通過數(shù)據(jù)分析,就可以知道物品的成分。“其中光柵相當(dāng)于光譜儀的‘心臟’,是核心器件?!绷只郾硎荆麄兊难芯烤褪菑墓鈻派舷鹿Ψ?。

林慧團(tuán)隊(duì)研發(fā)的曲面光柵

團(tuán)隊(duì)在研發(fā)過程中發(fā)現(xiàn),與傳統(tǒng)光譜儀使用的平面光柵相比,凹面衍射光柵具有像差校正性能,可以代替多個(gè)光學(xué)元件,起到簡化光路的作用,推動(dòng)原本體積較大的光譜儀實(shí)現(xiàn)小型化和輕型化。

不過,制作工藝限制了凹面光柵的發(fā)展。凹面光柵的表面刻蝕了微納米尺度的溝槽,而且這些溝槽的間距是不均勻的。現(xiàn)階段的技術(shù)要么通過金剛石刻刀,沿曲面進(jìn)行步進(jìn)刻畫,要么通過全息曝光與離子束刻蝕制作,這些都需要依賴昂貴的設(shè)備,效率低、成本高。

為解決該問題,林慧團(tuán)隊(duì)與香港中文大學(xué)陳世祈老師團(tuán)隊(duì)合作,經(jīng)過3年研發(fā),發(fā)明柔性納米壓印技術(shù),實(shí)現(xiàn)了曲面光柵的高效印刻。

所謂納米壓印,可以形象地理解為古代的活字印刷術(shù)。柔性壓印則是采用硅橡膠等材料作為軟模板,先制作帶有光柵圖案的軟模板,再通過模板的變形與曲面貼合,從而實(shí)現(xiàn)圖形從平面向曲面的轉(zhuǎn)印。

目前團(tuán)隊(duì)已經(jīng)完成了柔性納米壓印機(jī)的樣機(jī)開發(fā),在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)實(shí)現(xiàn)了高效、靈活的柔性/曲面微納結(jié)構(gòu)制作。據(jù)了解,該技術(shù)在曲面屏、AR顯示等消費(fèi)電子產(chǎn)品中也將有廣闊的應(yīng)用前景。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
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原文標(biāo)題:柔性納米壓印實(shí)現(xiàn)曲面光柵的高效印刻,助力光譜儀的微型化

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