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ASML第一臺5nm多光束檢測器實現了怎樣的突破?

SSDFans ? 來源:ssdfans ? 2020-09-22 17:49 ? 次閱讀
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在制造廠中,開發(fā)、設計和構建一條新的生產線時,計量是很重要的一個環(huán)節(jié):分析制造過程中的步驟以確定生產如期進行。計量使制造廠能辨別出機器是否能正常工作,也可以幫助描述最終產品的特性,關于合適的電壓/頻率等。如果晶圓特別差,則可以將其早點丟出這個循環(huán),從而節(jié)省時間和資金。

和制造過程中其他步驟一樣,計量在工廠中很占時間和空間。為了實現將更好的***移動到EUV這個目標,使其既能有更小的特征,又能加快每個芯片的制造,計量要做的兩個主要任務就是準確的報告和吞吐量。這些機器吞吐量增加意味著給定運行所需機器變少,而且過程節(jié)點步驟之間的延遲可以縮短。

ASML宣布其在多光束檢測工具系列上已取得重大突破。新的eScan1000將單光束掃描進程優(yōu)化成9光束掃描進程,ASML宣稱在線缺陷檢測應用中,能使工具吞吐量提高600%。該工具適用于目前生產的所有主要進程節(jié)點,包括5nm及更高工藝。

公司解釋道,新的eScan100工具擁有一個電子光學系統(tǒng),能將初始光束分成許多細光束,同時收集并處理這些次級光束帶來的結果。這個工具還能將串擾限制在2%以下以保證成像質量,并用高速模式增加整體吞吐量,而且新的電腦硬件加速處理次級光束數據比以前更快。它還能用于一系列波束電流,既能進行物理缺陷檢查也能進行電壓差別檢查。ASML宣傳的是它擁有一個缺陷檢測能力突出的專有數據庫,能檢測出許多傳統(tǒng)計量方法遺漏的缺陷。

據新聞報道,ASML在一周前已將首款eScan1000系統(tǒng)交給硅谷的一位特定客戶,在客戶現場進行初步測試和認證。但并沒有透露客戶是誰。

ASML期望擴大eScan1000機器的應用范圍以滿足特定客戶的要求,并表示會繼續(xù)開發(fā)能分更多光束和更廣光線分辨率的多光束技術。得知這個工具的重要性之后,我們有希望在今年晚些時候看到未來行業(yè)活動的產品路線圖。


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