半導(dǎo)體器件中的基礎(chǔ)性原材料是晶圓。極高純度的半導(dǎo)體經(jīng)過(guò)拉晶、切片等工序制備成為晶圓，晶圓經(jīng)過(guò)一系列半導(dǎo)體制造工藝形成極微小的電路結(jié)構(gòu)，再經(jīng)過(guò)切割、封裝、測(cè)試成為芯片，廣泛應(yīng)用到各類電子設(shè)備當(dāng)中。

晶圓表面的電路結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜，當(dāng)需要對(duì)晶圓樣品的電路圖案和顏色進(jìn)行微觀觀察時(shí)，傳統(tǒng)方法要求前者采用暗場(chǎng)照明，后者采用明場(chǎng)照明，并在這兩種技術(shù)之間反復(fù)切換。這種觀察方法非常耗時(shí)，因?yàn)閯?chuàng)建報(bào)告時(shí)每種技術(shù)都需要圖像采集。

奧林巴斯解決方案

MX63/MX63L用于半導(dǎo)體/FPD檢查的工業(yè)顯微鏡提供了傳統(tǒng)觀察方法的有效替代方法：MIX照明功能。在混合光照下，可以同時(shí)觀察電路圖案和晶圓的顏色信息?；旌蠄D像的清晰度有助于提高工作效率和報(bào)告的創(chuàng)建。

薄膜（左：明場(chǎng) / 右：偏光）

偏光可用于顯示材料的紋理和晶體樣貌。其非常適合檢測(cè)晶片和LCD結(jié)構(gòu)。

硬盤(pán)（左：明場(chǎng) / 右：DIC)

微分干涉差(DIC)用于幫助觀察具有細(xì)微高度差異的樣品。該技術(shù)非常適合用于檢測(cè)諸如磁頭、硬盤(pán)介質(zhì)、以及拋光晶片等具有很小高度差的樣品。

半導(dǎo)體晶圓上的集成電路圖形（左：暗場(chǎng) / 右：MIX（明場(chǎng) + 暗場(chǎng)）

暗場(chǎng)是檢測(cè)標(biāo)本上細(xì)微劃痕或缺陷以及晶片等鏡面樣品的理想工具。MIX照明可讓使用者即可觀察圖形也可觀察色彩。

半導(dǎo)體晶片上的光致抗蝕劑殘留物 左：熒光 / 右: MIX（熒光 + 暗場(chǎng)）

熒光觀察適用于使用專用濾色片立方照明時(shí)能夠發(fā)光的樣品。其可用于檢測(cè)污染物和光致抗蝕劑殘留物。MIX照明可實(shí)現(xiàn)光致抗蝕劑殘留和集成電路圖形的觀察。

LCD濾光片 左：透射光 / 右：MIX (透射光 + 明場(chǎng))

這種觀察技術(shù)非常適合諸如LCD、塑料以及玻璃材料等透明樣品。MIX照明可實(shí)現(xiàn)濾色片顏色和電路圖形的觀察。

先進(jìn)的分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和存檔檢測(cè)結(jié)果提供更多選擇。

從不可見(jiàn)到可見(jiàn)：MIX觀察與圖像采集

通過(guò)將暗場(chǎng)與諸如明場(chǎng)、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得獨(dú)有的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在指定時(shí)間僅使用四分之一象限的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，對(duì)于樣品表面紋理的可視化非常有用。

表面收到反射（上左）

來(lái)自不同角度定向暗場(chǎng)的多幅圖像（上中）

將沒(méi)有光暈的清晰圖像拼接在一起，創(chuàng)建樣品的單幅清晰圖像（上右）

輕松生成全景圖像: 即時(shí)圖像拼接

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動(dòng)載物臺(tái)無(wú)需進(jìn)行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識(shí)別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場(chǎng)。

硬幣的即時(shí)MIA圖像

生成全聚焦圖像: EFI

奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像(EFI)功能可采集高度超出物鏡焦點(diǎn)深度的樣品圖像，并可將其合成一幅全聚焦圖像。EFI配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸調(diào)焦使用，可輕松實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。其也可在Stream桌面版（Desktop）離線情況下生成EFI圖像。

集成電路芯片上的凸塊

利用HDR同時(shí)捕捉明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

采用先進(jìn)圖像處理技術(shù)的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺(jué)品質(zhì)，從而有助于生成具有專業(yè)級(jí)外觀的報(bào)告。

（左）某些部位存在炫光。（右）暗光區(qū)域和明亮區(qū)域利用HD獲得清晰呈現(xiàn)。

從基本測(cè)量到高級(jí)分析

測(cè)量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測(cè)非常重要?；谶@一想法，即便是入門(mén)級(jí)奧林巴斯Stream軟件包也融入了交互測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果與圖像文件一起保存以便存檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流的直觀界面。點(diǎn)擊按鈕一下，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成。在大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間情況下，操作人員可以將精力集中在手邊的檢測(cè)工作上。

基本測(cè)量（印刷電路板上的圖形）

分散能力解決方案（PCB通孔的橫截面）

自動(dòng)測(cè)量解決方案（晶圓結(jié)構(gòu)）

選配晶圓搬送機(jī) — AL120系統(tǒng)

選配的晶圓搬送機(jī)可安裝在MX63系列上，實(shí)現(xiàn)無(wú)需使用鑷子或工具即可安全地將硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓從片盒轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺(tái)上。卓越的性能和可靠性可實(shí)現(xiàn)安全高效的前后宏觀檢測(cè)，同時(shí)搬送機(jī)還可幫助提高實(shí)驗(yàn)室工作效率。

MX63系統(tǒng)與AL120晶圓搬送機(jī)結(jié)合使用(200毫米型號(hào))

快速、清潔的檢測(cè)

MX63系列可實(shí)現(xiàn)無(wú)污染的晶圓檢測(cè)。所有電動(dòng)組件均安裝在防護(hù)結(jié)構(gòu)殼內(nèi)，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護(hù)罩、及其他部件均采用防靜電處理。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)速比手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器更快更安全，縮短檢測(cè)間隔時(shí)間的同時(shí)，讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。

防靜電呼吸防護(hù)罩

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器 接受所有晶圓尺寸該系統(tǒng)可配合各類150–200毫米和200– 300毫米晶圓支架和玻璃板使用。如果生產(chǎn)線上的晶圓尺寸發(fā)生變化，以很少的成本即可更改顯微鏡鏡架。有了MX63系列，各種載物臺(tái)均可用于檢測(cè)75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圓。

晶圓支架和玻璃板

讓您的大尺寸樣品檢測(cè)流程更加順暢

MX 63 和 MX63L 顯微鏡系統(tǒng)具有多種功能，采用符合人體工學(xué)的易用設(shè)計(jì)，能夠提供最大 300mm晶圓、平板顯示器、印刷電路板、以及其他大型樣本的高品質(zhì)觀察。該產(chǎn)品采用靈活的模塊設(shè)計(jì)，能夠提供適用于多種檢查用途的最佳觀察系統(tǒng)。通過(guò)與奧林巴斯 Stream 圖像分析軟件結(jié)合，從觀察到報(bào)告生成在內(nèi)的整體檢查過(guò)程都變得簡(jiǎn)單而流暢。

責(zé)任編輯：xj

原文標(biāo)題：【企業(yè)動(dòng)態(tài)】奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡 獨(dú)有的MIX照明功能讓圖像更清晰

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