1、產(chǎn)業(yè)鏈分析：下游應(yīng)用廣泛

離子注入機(jī)是高壓小型加速器中的一種，是由離子源得到所需要的離子，經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入，還能用于太陽能電池等的制造。

離子注入機(jī)也是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設(shè)備，半導(dǎo)體為改變載流子濃度和導(dǎo)電類型需要對半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜，而離子注入與常規(guī)熱摻雜工藝相比可對注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴(kuò)散等方面進(jìn)行精確的控制，使得離子注入在半導(dǎo)體制造中被廣泛應(yīng)用。

2、產(chǎn)業(yè)政策分析：離子注入機(jī)成關(guān)鍵研發(fā)設(shè)備

從政策環(huán)境上來看，我國對于離子注入機(jī)行業(yè)較為重視。其主要表現(xiàn)在將離子注入機(jī)在多項(xiàng)政策中列為推薦發(fā)展的關(guān)鍵設(shè)備。如《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推薦綱要》中明確提出，要離子注入機(jī)作為關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)行研發(fā)。;《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄》（2019年版）也將中束流、大束流、高能離子注入機(jī)等離子注入機(jī)列入了名錄。

3、設(shè)備簡析：設(shè)備類型因具體應(yīng)用而異

根據(jù)離子束電流和束流能量范圍，一般可以把離子注入機(jī)分為低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)和中低束離子注入機(jī)。這些離子注入機(jī)的運(yùn)行原理基本萊斯，但是注入計(jì)量范圍和具體在工藝中的主要應(yīng)用各有不同，其具體如下：

4、細(xì)分市場格局分析：以大束流離子注入機(jī)為主

目前，全球離子注入機(jī)仍以大束流離子注入機(jī)為主，據(jù)Gartner數(shù)據(jù)披露，大束流離子注入機(jī)占離子注入機(jī)市場總份額的61%，中低束流離子注入機(jī)和高能離子注入機(jī)分別占20%和18%。

5、市場競爭格局分析：應(yīng)用材料壟斷IC離子注入機(jī)

目前，全球離子注入機(jī)根據(jù)其下游應(yīng)用不同，可以分為IC離子注入機(jī)和光伏離子注入機(jī)，IC離子注入機(jī)方面，美國的應(yīng)用材料幾乎壟斷了市場，占據(jù)了70%左右的市場份額，其次為Axcelis（亞克士），占據(jù)了近20%的市場份額。

光伏離子注入機(jī)主要應(yīng)用于太陽能電池制造，其生產(chǎn)廠商較少，主要為凱世通，intevac和日本真空。

6、市場規(guī)模統(tǒng)計(jì)：市場規(guī)模波動(dòng)增長

從市場規(guī)模來看，2013-2019年，全球離子注入機(jī)市場呈現(xiàn)波動(dòng)增長的態(tài)勢，除2016年略有下降外，其他年份離子注入機(jī)市場規(guī)模均出現(xiàn)了一定幅度的增長。2019年，全球離子注入機(jī)市場規(guī)模實(shí)現(xiàn)18.0億美元，較2018年增長17.65%。

7、企業(yè)分析：中美日三國領(lǐng)銜發(fā)展

全球離子注入機(jī)的領(lǐng)先企業(yè)主要分布在中國、美國和日本，其中，中國大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機(jī)行業(yè)的龍頭企業(yè)，其中凱世通在光伏離子注入機(jī)方面遙遙領(lǐng)先。而美國則擁有近乎壟斷IC離子注入機(jī)市場的應(yīng)用材料，以及漢辰科技、Axcelis、intevac等企業(yè)。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機(jī)知名廠商。

但我國企業(yè)在IC離子注入機(jī)制造方面距離世界頭部企業(yè)仍有一定的距離，離子注入機(jī)研發(fā)進(jìn)度仍待加快。

我國離子注入機(jī)相關(guān)領(lǐng)先企業(yè)技術(shù)進(jìn)展情況如下所示：

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