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中國(guó)有望擺脫荷蘭光刻機(jī)束縛,帶領(lǐng)國(guó)產(chǎn)芯片實(shí)現(xiàn)彎道超車(chē)

姚小熊27 ? 來(lái)源:人工智能實(shí)驗(yàn)室 ? 作者:人工智能實(shí)驗(yàn)室 ? 2020-10-11 09:57 ? 次閱讀
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自華為遭遇美國(guó)禁令之后,關(guān)于半導(dǎo)體領(lǐng)域的話(huà)題開(kāi)始頻頻進(jìn)入大眾的視野。實(shí)現(xiàn)芯片自主可控,是眾多國(guó)人的心愿,但半導(dǎo)體屬于高精尖領(lǐng)域,入門(mén)門(mén)檻高,我國(guó)起步又晚,最終造成了如今受制于人的困境。不過(guò),我國(guó)仍有不少科研工作者在數(shù)十年來(lái)在相關(guān)領(lǐng)域默默耕耘,如今終于有所收獲。

近段時(shí)間,新型5nm高精度激光光刻技術(shù)的問(wèn)世,引發(fā)業(yè)績(jī)的強(qiáng)烈反響。該技術(shù)出自中國(guó)科學(xué)院蘇州研究所的張子與劉前研究員,并已經(jīng)在Nano Letter上以研究論文的形式發(fā)表。雖然,該技術(shù)仍在實(shí)驗(yàn)階段,但因該技術(shù)有望擺脫荷蘭光刻機(jī)的束縛,帶領(lǐng)國(guó)產(chǎn)芯片實(shí)現(xiàn)彎道超車(chē),而備受關(guān)注。

當(dāng)前,主流的為投影式光刻加工技術(shù),雖然該技術(shù)效率不低,但新型5nm高精度激光光刻技術(shù)的效率同樣不容小覷,而且還達(dá)到5nm的標(biāo)準(zhǔn)。未來(lái),其還有望實(shí)現(xiàn)更高精度的光刻技術(shù)。除光刻技術(shù)外,我國(guó)半導(dǎo)體材料也有了新突破。近日,450mm半導(dǎo)體級(jí)單晶硅棒于SemiconChina 2020上問(wèn)世。

該單晶硅棒由新美光半導(dǎo)體科技有限公司自主研發(fā)而成,實(shí)現(xiàn)我國(guó)在該領(lǐng)域自主從零到一的突破。單晶硅棒遵循摩爾定律,尺寸越大約好。作為芯片制造重要原材料的單晶硅棒,自然受到業(yè)界的重視,目前450mm(18英寸)規(guī)格已經(jīng)是業(yè)界最頂尖,而300mm與200mm在當(dāng)前的應(yīng)用最為普遍。

半導(dǎo)體制造材料市場(chǎng)中,有硅片、電子氣體、光掩膜等在內(nèi)的十余種材料,其中,硅片以超35%的占比處于最重要的位置。硅片參與了整個(gè)芯片制造的步驟,由此可見(jiàn)其重要性。不過(guò),硅片的制作難度并不低,不僅對(duì)生產(chǎn)環(huán)境有極為苛刻的要求,而且對(duì)工藝與純度都有很高的標(biāo)準(zhǔn)。

因此,新美光半導(dǎo)體能實(shí)現(xiàn)在該領(lǐng)域的突破,并不容易。而且,新美光450nm半導(dǎo)體級(jí)單晶硅棒技術(shù)還有待更進(jìn)一步,朝著更成熟的技術(shù)與更低的成本方向前進(jìn)。在今年6月,新美光獲新一輪融資,有資金的支持,其有望再有新突破。

中科院、新美光這些企業(yè)與機(jī)構(gòu)的出現(xiàn),給我國(guó)芯片領(lǐng)域帶來(lái)了彎道超車(chē)的機(jī)會(huì)。希望,在這些企業(yè)的共同推動(dòng)下,我國(guó)芯片領(lǐng)域能早日實(shí)現(xiàn)安全、自主、可控。
責(zé)任編輯:YYX

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