?當(dāng)?shù)貢r間10月14日，半導(dǎo)體巨頭、全球光刻機領(lǐng)頭企業(yè)ASML首席財務(wù)官羅杰·達森（Roger Dassen），對向中國出口光刻機的問題作出了表態(tài)。他表示，ASML可以從荷蘭向中國出口DUV（深紫外）光刻機，無需美國許可。

但，大家都懂。DUV光刻機非ASML最先進的產(chǎn)品。10nm及以下的芯片制造，EUV光刻機必不可缺。中芯國際的7nm（N+1工藝），并非國際公認的7nm，更類似與臺積電10nm，使用DUV光刻機制造。

據(jù)了解，EUV光刻機不需要多重曝光，一次就能曝出想要的精細圖形，沒有超純水和晶圓接觸，在產(chǎn)品生產(chǎn)周期、光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正的復(fù)雜程度、工藝控制、良率等方面都有明顯優(yōu)勢。

當(dāng)天，ASML發(fā)布了其2020年第三季度財報，達森也一同接受了視頻采訪。當(dāng)被問及美國的半導(dǎo)體出口禁令對ASML的業(yè)務(wù)有何種影響時，達森回應(yīng)稱，他們注意到了美方的禁令，也意識到了禁令對中國客戶的影響。 隨后達森對ASML的光刻機出口問題作出了解釋，他說：“如果要解釋一下美國的規(guī)定對ASML有什么影響的話，對于的中國客戶，我們還是可以直接從荷蘭向他們出口DUV光刻機，無需任何出口許可?！?但他隨后也補充稱，如果相關(guān)系統(tǒng)或零件是從美國出口的，那這些設(shè)備仍然需要得到美方的許可。

采訪視頻截圖 達森表示，ASML將盡最大努力，盡可能為所有客戶繼續(xù)提供服務(wù)和支持。 根據(jù)公開的財報電話會議錄音，ASML首席執(zhí)行官彼得·韋尼克（Peter Wennink）也在會議上確認了這一點。韋尼克稱，根據(jù)當(dāng)前美國的規(guī)定，直接從荷蘭向中國出口的DUV光刻機不受影響。 但達森和韋尼克都強調(diào)的是DUV光刻機出口，并未提到更先進的EUV（極紫外）光刻機。彭博社14日在報道中也強調(diào)，DUV的規(guī)則不適用于EUV光刻機。ASML必須獲得許可證才有可能向中國企業(yè)出口EUV光刻機。但荷蘭政府已經(jīng)暫緩了EUV光刻機出口許可，一直到現(xiàn)在都沒有批準。

“盡管被夾在中美之間，ASML仍積極努力”

根據(jù)ASML發(fā)布的財報，2020年第三季度ASML光刻機凈銷售額達31億歐元，中國大陸市場的營收占到21%。第三季度ASML總計凈銷售額達到約40億歐元，凈收入近11億歐元。值得一提的是，EUV光刻機的收入占比極高，貢獻了66%的光刻機銷售額。 今年5月，ASML與無錫高新區(qū)簽署了戰(zhàn)略合作協(xié)議，在無錫高新區(qū)內(nèi)擴建升級阿斯麥光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)（無錫）基地。此前，ASML已在北京、上海、深圳、無錫等地開設(shè)分公司，為客戶提供服務(wù)和咨詢，其中深圳是其在亞洲最大的軟件研發(fā)中心。

原文標題：ASML表態(tài)：DUV可以！EUV不行！

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