新模式解決大難題——“廢硫酸定向資源化再利用”給出廢酸 處置新方案
隨著產(chǎn)業(yè)規(guī)模的逐步擴大,集成電路制造企業(yè)在運營過程中產(chǎn)生的大量廢硫酸處置問題,正成為影響上海持續(xù)發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的一大難題。
為積極應對廢硫酸處置問題,主動服務企業(yè)的優(yōu)質高速發(fā)展,上海市集成電路行業(yè)協(xié)會跨前一步,在市經(jīng)信委、市生態(tài)環(huán)境局等相關部門的支持下,未雨綢繆,積極探索,多次召開專家研討會論證處置方案,最終形成了解決廢硫酸處置難題的新模式
——廢硫酸定向資源化再利用。
該模式的核心是實現(xiàn)集成電路制造過程中產(chǎn)生的廢硫酸替代鈦白粉生產(chǎn)工藝過程中用到的工業(yè)硫酸。在新模式的探索過程中,我們經(jīng)過試點工作,驗證了廢酸再利用單位在利用廢硫酸生產(chǎn)鈦白粉時,不需要調整現(xiàn)有工藝,并證明了廢硫酸回用技術具有很強的技術可行性,同時,替用過程不增加額外的環(huán)境負擔與風險,不影響產(chǎn)品的質量,符合“固體廢物減量化、資源化和無害化”原則。試點工作也彰顯了“廢硫酸定向資源化再利用”這一新模式具有很好的環(huán)境效益、經(jīng)濟效益和社會效益,符合循環(huán)經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)需求,不僅解決了廢硫酸處置出路難、處置費用高的難題,降低了企業(yè)生產(chǎn)成本和廢硫酸處理費用,還有力促進了鈦白粉生產(chǎn)單位的升級改造、精準轉型和綠色發(fā)展,為日后集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展鋪平了道路。
為了積極推行“廢硫酸定向資源化再利用”這一新模式,上海市集成電路行業(yè)協(xié)會編寫了《鈦白粉用集成電路制造行業(yè)廢硫酸》(T/SICA001-2020)團體標準,并在上海市質量技術監(jiān)督部門網(wǎng)站進行了備案和國家標準網(wǎng)上公示,該標準的制定有力地保證了廢酸源頭質量的把控。
2019 年 11 月,上海市生態(tài)環(huán)境局同意本市四家企業(yè)廢硫酸定向資源化再利用備案。目前各方進展順利,各試點企業(yè)在嚴格執(zhí)行危廢各項管理制度下,廢硫酸源頭品質得到保證,并委托具有相關運輸資質的單位專人專車進行運輸。接受單位在廢酸使用期間,生產(chǎn)運行穩(wěn)定,各項污染物排放環(huán)保指標檢測均符合排放標準。
2020 年 10 月,上海市生態(tài)環(huán)境局擴大“廢硫酸定向資源化再利用”備案,新增四家企業(yè),已經(jīng)全部覆蓋了上海市具備回收廢酸條件的集成電路制造企業(yè)。
至此,上海市集成電路行業(yè)協(xié)會參與創(chuàng)新建立的“廢硫酸定向資源化再利用”模式已初見成效,總體上穩(wěn)定地解決了上海集成電路產(chǎn)業(yè)廢硫酸處置問題。下一步將深入探索該模式的推廣應用課題,在嚴格遵守國家相關法律法規(guī)的前提下,努力實現(xiàn)將更多的集成電路生產(chǎn)過程中的“廢物”變成可資利用的優(yōu)質“資源”的目標,為綠色生態(tài)環(huán)境建設和集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展做出貢獻。
原文標題:難題:集成電路制造企業(yè)在運營過程中產(chǎn)生的大量廢硫酸處置問題
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