鋁合金由于其良好的物理化學(xué)性能、優(yōu)異的機(jī)械性能，廣泛應(yīng)用于半 導(dǎo)體及微電子工業(yè)等領(lǐng)域。隨著現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品朝著高強(qiáng)度，輕型化、高性 能方向發(fā)展，鋁合金激光切割方法也朝著精密、高效、靈活的方向發(fā)展。激光切割具有切縫窄、熱影響區(qū)小、效率高，切邊無機(jī)械應(yīng)力等優(yōu)點(diǎn)，已成為 鋁合金精密加工的重要方法。

現(xiàn)有的鋁合金激光切割一般都采用切割頭加輔助氣體的方法切割，其作用機(jī)制在激光聚焦于鋁合金內(nèi)部，高能量氣化融化鋁合金，配合高壓輔助氣 體將融化的物質(zhì)吹走。這種切割方式主要采用波長約為10640nm和1064nm 兩種激光，都屬于紅外波長范圍，對于切割尺寸精度在微米級別的鋁合金 薄板精密切割中，由于其光斑較大，熱影響區(qū)域大，容易在切割邊緣處產(chǎn)生掛渣和微裂紋，最終影響切割的精度和效果。

實(shí)施例的鋁合金激光切割系統(tǒng)及方法通過利用激光束較小的脈沖寬 度和較短的波長以非接觸方式實(shí)現(xiàn)待切割工件的切割，避免了機(jī)械方法對待切割工件的接觸應(yīng)力損失，以及在切割加工過程中因熱加工機(jī)制產(chǎn)生微裂紋、掛渣等問題；通過使用特定夾具使待切割工件水平固定，保持切縫 位置懸空的同時(shí)，從背面支撐待切割工件切割區(qū)域，防止切斷瞬間由于掉落產(chǎn)生應(yīng)力破壞切割邊緣效果；通過水箱裝置中的循環(huán)冷卻水對待切割工 件做冷卻處理，減弱熱影響對周圍材料的影響，進(jìn)一步提高切割質(zhì)量；通過多條切割路徑組合方式進(jìn)行切割，以擴(kuò)大切縫寬度提高切割效率。

上述實(shí)施例為較佳的實(shí)施方式，但的實(shí)施方式并不受上 述實(shí)施例的限制，其他的任何未背離的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改 變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在鋁合金激光切割方法的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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