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一種采用氮化硅襯底制造集成光子電路(光子芯片)技術(shù)

MEMS ? 來(lái)源:中國(guó)科學(xué)報(bào) ? 作者:中國(guó)科學(xué)報(bào) ? 2021-05-24 10:43 ? 次閱讀
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IBM研發(fā)出2納米制程芯片的消息尚未傳開(kāi),臺(tái)積電和合作伙伴就宣布取得了1納米以下制程芯片技術(shù)突破。業(yè)內(nèi)普遍認(rèn)為,芯片技術(shù)日新月異的同時(shí),也一步步逼近其物理理論的極限。

近日,瑞士洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院(EPFL)教授Tobias Kippenberg團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)出一種采用氮化硅襯底制造集成光子電路(光子芯片)技術(shù),得到了創(chuàng)紀(jì)錄的低光學(xué)損耗,且芯片尺寸小。相關(guān)研究在《自然—通訊》上發(fā)表。

光子芯片奮起直追,也許能幫助人們突破摩爾定律開(kāi)辟新的“賽道”。

低光學(xué)損耗新紀(jì)錄

光子芯片通常由硅制成,硅在地殼中含量豐富且具有良好的光學(xué)特性,但難以滿足集成光子芯片所需的一切條件,因此出現(xiàn)了諸多新材料平臺(tái),如氮化硅、二氧化硅、氮化鋁、鈮酸鋰、碳化硅等。

Tobias Kippenberg團(tuán)隊(duì)用一種氮化硅光子大馬士革工藝(光子鑲嵌工藝)技術(shù)。大馬士革工藝是一種非常古老的工藝,最早可以追溯到阿拉伯人對(duì)他們的武器和裝飾上面做顏色的鑲嵌和繪圖。這個(gè)工藝要先做出圖形輪廓,然后把顏色材料鑲嵌到輪廓中再進(jìn)行拋光,這樣就得一個(gè)色彩艷麗的圖案。

“大馬士革工藝思路曾被用在早期以銅為材料的電子電路制造上,研究當(dāng)中,我們把氮化硅大馬士革工藝用到集成光路制造上,得到了極低的光損耗?!闭撐牡谝蛔髡?、EPFL微納技術(shù)中心博士劉駿秋告訴《中國(guó)科學(xué)報(bào)》,“利用這一技術(shù),我們制造了光損耗僅為1 dB / m的集成光路,創(chuàng)下了所有非線性光子集成材料的記錄?!?/p>

使用這項(xiàng)新技術(shù),研究人員在5平方毫米的芯片上制備了高品質(zhì)因數(shù)的微諧振器上和超過(guò)一米長(zhǎng)的波導(dǎo)。他們還報(bào)告了九成的制造良品率,這對(duì)于將來(lái)擴(kuò)大工業(yè)生產(chǎn)規(guī)模至關(guān)重要。

“超低損耗的氮化硅集成光子芯片對(duì)未來(lái)通訊、計(jì)算和6G技術(shù)都至關(guān)重要。這種類型的光子芯片可以將信息編碼進(jìn)光,再通過(guò)光纖傳輸,并成為光通信的一個(gè)核心組成部分?!眲ⅡE秋說(shuō)。

光子集成的優(yōu)勢(shì)

“電子芯片工作時(shí),可以理解為電信號(hào)輸入芯片進(jìn)行處理(比如存儲(chǔ)、讀取、進(jìn)行運(yùn)算等)后再輸出。與之類似,光子芯片是將光信號(hào)輸入芯片,進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸、存儲(chǔ)、計(jì)算和輸出的芯片?!眲ⅡE秋說(shuō),“相對(duì)于電子芯片,光子芯片雖然起步較晚,但也有自己獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)?!?/p>

科學(xué)家認(rèn)為,光具有天然的并行處理能力及成熟的波分復(fù)用技術(shù),從而使光子芯片的數(shù)據(jù)處理能力、容量及帶寬均大幅度提升。光波的波長(zhǎng)、頻率、偏振態(tài)和相位等信息可以代表不同的數(shù)據(jù),以用來(lái)作為非常高效的通信種子源。

“光子芯片具有高運(yùn)算速度、低功耗、低時(shí)延等特點(diǎn),且不易受到溫度、電磁場(chǎng)和噪聲變化的影響。”中科創(chuàng)星董事總經(jīng)理張思申說(shuō),“光子芯片不追求工藝尺寸的極限縮小,有更多的性能提升空間?!?/p>

“與電芯片相比,光芯片在諸多領(lǐng)域,比如通訊、激光雷達(dá)、傳感、圖像分析上面有獨(dú)一無(wú)二的優(yōu)勢(shì)?!眲ⅡE秋解釋說(shuō),光芯片速率可以達(dá)到100G,比電芯片快很多,這樣可以在光的通道上面做更多信息的編碼,它可以承載更多的信息,同時(shí)功耗比電芯片更小。因?yàn)楣庠趥鞑ブ胁粫?huì)產(chǎn)生任何熱效應(yīng),這和電子不一樣,還有光和光之間不會(huì)有相互作用,不會(huì)受到背景電磁場(chǎng)干擾。

劉駿秋所在團(tuán)隊(duì)曾利用氮化硅光芯片架構(gòu)光神經(jīng)網(wǎng)絡(luò),使用一個(gè)卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)去求解矩陣,然后應(yīng)用在浮雕過(guò)濾器上。其相關(guān)結(jié)果發(fā)表在今年一月的《自然》期刊上。

“我們把一個(gè)圖像信號(hào)輸入系統(tǒng)中,經(jīng)過(guò)浮雕過(guò)濾器,它會(huì)強(qiáng)化高頻信號(hào)、弱化低頻信號(hào),即實(shí)現(xiàn)強(qiáng)化圖像邊緣的目的。比如一輛小汽車的圖片,它原來(lái)的車燈內(nèi)部結(jié)構(gòu)你可能看不到。經(jīng)過(guò)浮雕處理器的新圖像中,車燈內(nèi)部結(jié)構(gòu)被強(qiáng)化了?!眲ⅡE秋說(shuō),“這證明了氮化硅光子芯片在光神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、深度學(xué)習(xí)方面有很好的應(yīng)用?!?/p>

人工智能另有外,光子芯片廣泛用于激光雷達(dá)、微波濾波器、毫米波生成、天體光譜儀校準(zhǔn)、低噪聲微波生成。也可以做中紅外雙梳光譜,用來(lái)測(cè)量氣體當(dāng)中的成分。做光學(xué)相關(guān)斷層掃描,可以看生物組織的結(jié)構(gòu)。還能用在數(shù)據(jù)中心上做開(kāi)關(guān),進(jìn)行數(shù)據(jù)上面的調(diào)控。

兩條賽道的競(jìng)爭(zhēng)與合作

劉駿秋說(shuō),通俗地理解,信息在手機(jī)或者電腦里進(jìn)行處理主要使用電子芯片,但信息的傳遞是需要光纖的。所以,到這一步就需要進(jìn)行電光轉(zhuǎn)換?!澳壳?,光和電是在兩個(gè)‘賽道’上,各有自己的應(yīng)用場(chǎng)景”。

“現(xiàn)在Intel數(shù)據(jù)中心用的集成半導(dǎo)體激光器,就是將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成光信號(hào)然后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理、編碼和傳輸。Intel每年向全世界輸送數(shù)千萬(wàn)個(gè)這樣的集成半導(dǎo)體激光器芯片?!眲ⅡE秋說(shuō),“光子集成電路相對(duì)于傳統(tǒng)分立的‘光—電—光’處理方式降低了復(fù)雜度,提高了可靠性,能夠以更低的成本構(gòu)建一個(gè)具有更多節(jié)點(diǎn)的全新網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),雖然目前仍處于初級(jí)發(fā)展階段,不過(guò)其成為光器件的主流發(fā)展趨勢(shì)已成必然?!?/p>

“在邏輯運(yùn)算領(lǐng)域,未來(lái)的趨勢(shì)是光電集成的結(jié)合,還需要很長(zhǎng)一段時(shí)間,才能實(shí)現(xiàn)全光計(jì)算?!睆埶忌暾f(shuō),“總體來(lái)說(shuō),目前只在個(gè)別計(jì)算和傳輸領(lǐng)域,光子芯片可以替代電子芯片?!?/p>

劉駿秋認(rèn)為,從架構(gòu)上可以看出,光子芯片系統(tǒng)整體非常復(fù)雜。光子芯片系統(tǒng)里有光源、處理器、探測(cè)器,也需要各種材料之間集成的協(xié)同,很少有單個(gè)研究單位能夠?qū)φ麄€(gè)系統(tǒng)進(jìn)行架構(gòu)和制備。在制造工藝上,兩者雖然流程和復(fù)雜程度相似,但光子芯片對(duì)結(jié)構(gòu)的要求不像電芯片那樣嚴(yán)苛,一般是百納米級(jí)。因此,光子芯片不會(huì)像電子芯片那樣必須使用極紫外光刻機(jī)(EUV)。

“光的波長(zhǎng)在百納米到一微米量級(jí),因此限制了光子器件的集成密度。但同時(shí)也意味著,光芯片達(dá)到最理想的工作條件并不依賴最先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝制程,比如極紫外光刻機(jī)?!眲ⅡE秋說(shuō),“這大大降低了對(duì)先進(jìn)工藝的依賴,一定程度上減輕了當(dāng)前芯片發(fā)展的關(guān)鍵問(wèn)題。”

此外,光子芯片提供了全新的芯片設(shè)計(jì)架構(gòu)思路,徹底顛覆原有的設(shè)計(jì)理念,有更多的設(shè)計(jì)創(chuàng)意空間。

“光有光的優(yōu)勢(shì),電有電的優(yōu)勢(shì)。光的優(yōu)勢(shì)是穩(wěn)定,不容易受外界影響。同時(shí)這也是光的劣勢(shì),這意味著人們想操控光,改變它的狀態(tài),手段非常有限。”劉駿秋說(shuō),“在某些應(yīng)用場(chǎng)景中,兩者也有些競(jìng)爭(zhēng),比如神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)。但更多的時(shí)候,二者是合作關(guān)系。光芯片技術(shù)目前還沒(méi)有電芯片發(fā)展的成熟,所以未知的因素很多,兩者未來(lái)應(yīng)該很好地銜接起來(lái)。”

對(duì)此,中科院微電子所研究員、集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心副主任羅軍持同樣觀點(diǎn)。

“電子集成電路和光子集成電路之間是互補(bǔ)的關(guān)系。”羅軍對(duì)《中國(guó)科學(xué)報(bào)》說(shuō),“未來(lái)可以充分利用光子集成電路高速率傳輸和電子集成電路多功能、智能化的優(yōu)點(diǎn),在新的‘賽道’上跑出更好成績(jī)?!?/p>

責(zé)任編輯:lq

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原文標(biāo)題:電光集成:芯片領(lǐng)域進(jìn)入混合“賽道”

文章出處:【微信號(hào):MEMSensor,微信公眾號(hào):MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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