9月15日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司創(chuàng)始人、董事長(zhǎng)、總經(jīng)理尹志堯在某活動(dòng)中探討如何打造高質(zhì)量、有競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體設(shè)備公司時(shí)，表示目前半導(dǎo)體公司的設(shè)備主要可以分為四大類，光刻機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)、薄膜設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。

以刻蝕機(jī)設(shè)備為例，等離子體刻蝕設(shè)備市場(chǎng)成長(zhǎng)迅速，目前年市場(chǎng)規(guī)模超過(guò)120億美元。并且等離子體刻蝕設(shè)備已經(jīng)工廠中投入最大的部分，已經(jīng)占到工廠設(shè)備成本的30%以上。

尹志堯提到一定要將更大力度推動(dòng)和發(fā)展半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備產(chǎn)業(yè)提到日程上來(lái)，半導(dǎo)體設(shè)備公司不僅是集成電路制造的供應(yīng)商和產(chǎn)業(yè)鏈，也是集成電路制造的最核心部分。而大國(guó)博弈在經(jīng)高科技戰(zhàn)線上，集中在半導(dǎo)體設(shè)備和關(guān)鍵零部件的限制上。



當(dāng)前中微半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)的四類設(shè)備均達(dá)到了國(guó)際領(lǐng)先水平，如CCP電容性刻蝕機(jī)、ICP電感型刻蝕機(jī)、深硅刻蝕機(jī)、MOCVCD。

其中，中微開(kāi)發(fā)的第三代CCP高能等離子體刻蝕機(jī)，已經(jīng)從過(guò)去的20:1發(fā)展到如今的60:1極高深寬比細(xì)孔。并且中微CCP刻蝕機(jī)在臺(tái)灣領(lǐng)先的晶圓廠和存儲(chǔ)廠，已經(jīng)占據(jù)三成市場(chǎng)份額。中微的MOCVD設(shè)備在國(guó)際氮化鎵基MOCVD市場(chǎng)占有率已在2018年第四季度已經(jīng)達(dá)到了70%以上。

尹志堯表示，十年來(lái)中國(guó)有54個(gè)公司和研究所曾宣布開(kāi)發(fā)MOCVD設(shè)備，但目前只有中微一家成功，并且已經(jīng)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的量產(chǎn)。多年來(lái)中微的MOCVD設(shè)備不斷提高藍(lán)綠光LED波長(zhǎng)均勻性，目前LED波長(zhǎng)片內(nèi)均勻性已經(jīng)做到0.71nm。

如何將中微半導(dǎo)體做大做強(qiáng)，尹志堯表示中微以“四個(gè)十大”為中心，總結(jié)17年的經(jīng)驗(yàn)與教訓(xùn)，繼續(xù)發(fā)展科創(chuàng)企業(yè)的管理章法，其中包括：中微產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的十大原則；中微戰(zhàn)略和商務(wù)的十大原則；中微運(yùn)營(yíng)管理的十大原則；中微精神文化的十大原則。

在開(kāi)發(fā)產(chǎn)品上，尹志堯表示不要老跟著外國(guó)人的設(shè)計(jì)，這樣很難做出自己獨(dú)有的產(chǎn)品，因此中微提出了甚高頻去耦合反應(yīng)離子體刻蝕，讓高頻、低頻都在下電極，當(dāng)前該技術(shù)已經(jīng)具備一定優(yōu)勢(shì)。

此外，中微公司還開(kāi)發(fā)了CCP單臺(tái)機(jī)和雙臺(tái)機(jī)，ICP單臺(tái)機(jī)和雙臺(tái)機(jī)，可以覆蓋90%的刻蝕應(yīng)用，不僅在成本上降低30%，效率上也提升了50%。



戰(zhàn)略上，中微將通過(guò)三維成長(zhǎng)（集成電路設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備、非半導(dǎo)體設(shè)備），計(jì)劃在未來(lái)10到15年成為國(guó)際一流的微觀加工設(shè)備公司。

公司運(yùn)營(yíng)管理上，中微通過(guò)運(yùn)營(yíng)KPI管理不斷提升質(zhì)量管理水平。截至2021年6月份，中微已經(jīng)申請(qǐng)了1883個(gè)專利，并已獲得1115個(gè)專利。

尹志堯表示，盡管中微在知識(shí)產(chǎn)權(quán)上已經(jīng)做得很全面，但也受到多次美國(guó)公司對(duì)中微發(fā)起的專利訴訟，有三次是美國(guó)公司對(duì)中微提起訴訟，一次是中微對(duì)美國(guó)公司發(fā)起的訴訟。值得注意的是，在專利訴訟中，兩次獲得了完全勝利，另外兩次也在較大優(yōu)勢(shì)下達(dá)成和解。

中微公司在等離子體刻蝕機(jī)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，也讓美國(guó)在2015年取消了對(duì)中國(guó)的出口控制，而中微的相關(guān)產(chǎn)品出口環(huán)境也變得極為寬松。



值得注意的是，中微實(shí)施了員工期權(quán)激勵(lì)和全員持股的模式，認(rèn)為這是高科技公司發(fā)展的生命線，也是社會(huì)主義集體所有制的核心。尹志堯認(rèn)為，企業(yè)價(jià)格由投入的股本金帶來(lái)和勞動(dòng)創(chuàng)造的價(jià)值兩部分組成，但公司80%的市值由勞動(dòng)力創(chuàng)造。

不忘初心，就是回到“資本論”，就是要解決剩余價(jià)格的合理分配問(wèn)題。通過(guò)期權(quán)和股權(quán)將員工長(zhǎng)期利益和企業(yè)綁定，使更多員工參加公司，使員工積極為公司工作，全員持股是中微賴以生存和發(fā)展的生命線。



尹志堯提到，自己僅占公司1%的股份，但這并不意味著就無(wú)法將公司做好。讓公司做大做強(qiáng)，要做到強(qiáng)群的總能量最大化和凈能量最大化，總能量最大化即使所有階層和所有部門(mén)人們的積極性群都發(fā)揮出來(lái)，凈能量最大化即怎樣使各個(gè)階層和各個(gè)部門(mén)的能量不會(huì)在內(nèi)耗中消失。

最后，尹志堯表示，一家公司從初創(chuàng)公司做到成功，公司的文化和作風(fēng)是主要應(yīng)隨，要建立一直領(lǐng)先的百年老店，初創(chuàng)時(shí)期，首先要有過(guò)硬的技術(shù)產(chǎn)品，到了大公司時(shí)期要有足夠的運(yùn)營(yíng)能力，做到領(lǐng)頭公司，則需要看公司的文化作風(fēng)。