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SiC功率技術(shù)現(xiàn)狀和大規(guī)模商業(yè)化的障礙

eeDesigner ? 來源:物聯(lián)網(wǎng)評論 ? 作者:物聯(lián)網(wǎng)評論 ? 2022-02-24 14:55 ? 次閱讀
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硅 (Si) 功率器件由于其低成本的批量生產(chǎn)、出色的起始材料質(zhì)量、易于制造和經(jīng)過驗證的可靠性而在電力電子領(lǐng)域占據(jù)主導(dǎo)地位。盡管硅功率器件不斷改進(jìn),但它們正在接近其工作極限,這主要是由于它們相對較低的帶隙、臨界電場和熱導(dǎo)率會導(dǎo)致高傳導(dǎo)和開關(guān)損耗以及較差的高溫性能。碳化硅 (SiC) 的大帶隙和臨界電場允許具有更薄層的高壓器件,從而降低電阻以及相關(guān)的傳導(dǎo)和開關(guān)損耗。結(jié)合 SiC 的大熱導(dǎo)率,通過簡化的熱管理,可以在高功率水平下高溫運行。

此外,更薄的器件層和低比導(dǎo)通電阻允許減小電容的更小的形狀因數(shù)。這可以在遠(yuǎn)高于硅的頻率下高效運行,從而最大限度地減小無源系統(tǒng)組件的尺寸。因此,基于 SiC 的系統(tǒng)更高效、更輕、體積更小,并且具有成本競爭力(盡管器件成本高于 Si 器件),因為體積龐大的磁性元件和散熱器被最小化。

在過去的二十年中,這些引人注目的效率和系統(tǒng)優(yōu)勢導(dǎo)致了重大的開發(fā)工作,SiC 平面和溝槽 MOSFET 和 JFET 可作為分立元件和電壓范圍為 650 至 1,700 V 的高功率模塊從多家供應(yīng)商處商業(yè)化。 目前,電力電子工程師可以選擇 Si、SiC 和氮化鎵 (GaN) 組件用于他們的系統(tǒng)。當(dāng)然,在為應(yīng)用和電壓選擇合適的材料器件時,有許多權(quán)衡:電流、頻率、效率、溫度和成本是重要的考慮因素。

圖 1:Si、SiC 和 GaN 具有競爭力的電壓范圍

圖 1顯示了 Si、SiC 和 GaN 極具競爭力的電壓范圍。 硅可靠、堅固、便宜,并且能夠在“較低”頻率下進(jìn)行大電流高效運行。它在 15 至 650V 范圍內(nèi)特別具有競爭力。GaN 以合理的成本提供高效的高頻操作,因為它是在 CMOS 兼容的晶圓廠和代工廠中制造的,利用了硅制造的規(guī)模經(jīng)濟(jì)。GaN 器件是橫向的——與具有垂直配置的 SiC 功率器件不同——這簡化了封裝和 IC 制造。

然而,橫向配置實際上將操作限制在 ~650 V(一家 GaN 供應(yīng)商提供 900 V 器件),而 SiC 是高于該額定電壓的最佳解決方案。SiC 效率高,可在高電流和高頻率下工作。雖然不完全兼容 CMOS,它是在硅晶圓廠中制造的,只需對額外的 SiC 專用設(shè)備進(jìn)行少量資本投資。多個已建立的 Si 工藝已成功轉(zhuǎn)移到 SiC,并且特定的 SiC 工藝在全球眾多晶圓廠中處于成熟階段。總體而言,碳化硅具有成本競爭力,因為它在成熟節(jié)點完全折舊的大容量硅晶圓廠進(jìn)行加工,提供剩余的晶圓產(chǎn)能,最大限度地提高晶圓廠的利用率和利潤。

審核編輯:符乾江

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