纖毛泵入，是生物有機(jī)體在微尺度上控制和操縱液體的一種強(qiáng)有力的策略。然而，盡管近年來在光學(xué)、磁和電驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)方面取得了許多進(jìn)展，但具有應(yīng)用潛力的工程化纖毛平臺(tái)的開發(fā)，仍然難以實(shí)現(xiàn)。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，來自美國(guó)康奈爾大學(xué)的研究人員開發(fā)了基于電子驅(qū)動(dòng)的人工纖毛的主動(dòng)超表面，可以在液體表面附近創(chuàng)建任意的流動(dòng)模式。相關(guān)論文以題為“Cilia metasurfaces for electronically programmable microfluidic manipulation”發(fā)表在Nature上。

纖毛泵送是微觀世界中最重要、最普遍的流體輸送方法之一，一些開創(chuàng)性的研究，已經(jīng)展示了基于壓力、光、靜電和磁相互作用的驅(qū)動(dòng)制造人工纖毛的方法，然而，這些系統(tǒng)有嚴(yán)重的局限性，使其在微尺度上實(shí)施起來很有挑戰(zhàn)性。此外，目前還沒有明確的方法，將它們與移動(dòng)微型機(jī)集成，同時(shí)保持局部驅(qū)動(dòng)。靜電驅(qū)動(dòng)纖毛，已被證明是一種強(qiáng)大的快速泵送和混合的方法。然而，到目前為止所演示的驅(qū)動(dòng)器都是由大電壓驅(qū)動(dòng)的。這種巨大的電壓，使得它們與用于無線控制的互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）電子器件不兼容。此外，因?yàn)樵诖蠹s1.2V以上的電壓下會(huì)水解，所以靜電驅(qū)動(dòng)纖毛不能在水溶液中工作。

近年來，磁響應(yīng)材料制造人工纖毛的研究成為了新的關(guān)注焦點(diǎn)，目前相關(guān)研究已經(jīng)取得了一定成果。然而，在這種磁性系統(tǒng)中，很難定位驅(qū)動(dòng)或改變纖毛的原位磁化來重新配置流動(dòng)。因此，為了廣泛采用這種傳輸方法，仍然需要開發(fā)新型人工纖毛平臺(tái)。

康奈爾大學(xué)研究人員開發(fā)的表面電化學(xué)致動(dòng)器，可以用來克服以上這些挑戰(zhàn)。具體來看，研究人員開發(fā)的人工纖毛由一個(gè)大約50μm長(zhǎng)，5μm寬，約10nm薄的光刻制造的條組成，附著在基板的一端，如圖1a所示。人工纖毛在磷酸鹽緩沖鹽水（PBS）中將其相對(duì)于Ag/AgCl參比電極的電位提高到約1V，從而觸發(fā)暴露鉑表面的電化學(xué)氧化，同時(shí)避免了氣泡的形成。

而氧化使Pt表面膨脹，導(dǎo)致致動(dòng)器彎曲（圖1a，紅色反應(yīng)途徑，左→右）。接著，研究人員施加電壓還原Pt膜，使驅(qū)動(dòng)器恢復(fù)到初始狀態(tài)（圖1a，藍(lán)色反應(yīng)途徑，右→左），其電流密度約為1mA/cm2，這意味著一個(gè)完全被人工纖毛覆蓋的1cm × 1cm器件在掃描速率為1V/s時(shí)僅消耗約1mW的功率。

為了防止致動(dòng)器扭曲，研究人員沿每根纖毛設(shè)計(jì)了三個(gè)水平聚合物襯墊，每根纖毛之間間隔15μm。由于表面電化學(xué)執(zhí)行器可以光刻制造，一個(gè)4英寸的晶圓上可以制造數(shù)百萬個(gè)。在圖1b的右下角為纖毛橫切面的環(huán)形暗場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡（STEM）圖像。

圖1 基于表面電化學(xué)執(zhí)行器的人工纖毛

此外，研究人員開發(fā)的電壓驅(qū)動(dòng)纖毛，在1伏特的驅(qū)動(dòng)電壓下，可以產(chǎn)生非交互運(yùn)動(dòng)以每秒幾十微米的速度驅(qū)動(dòng)表面流動(dòng)，且可以局部創(chuàng)建一系列元素流幾何形狀，其纖毛超表面可以產(chǎn)生和切換任何所需的表面流動(dòng)模式。

最后，研究人員將纖毛與光動(dòng)力互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）時(shí)鐘電路集成，以演示無線操作。作為概念證明，研究人員使用該電路輸出具有不同相位延遲的電壓脈沖，以證明使用元時(shí)波提高泵浦效率。這些強(qiáng)大的結(jié)果，通過實(shí)驗(yàn)和理論計(jì)算得到了證實(shí)，說明其有實(shí)現(xiàn)精細(xì)尺度微流體操縱的潛力。

圖2 由纖毛單元產(chǎn)生的基本流動(dòng)模式

圖3 纖毛超表面能夠產(chǎn)生任意和可切換的微流體流

圖4 集成人工纖毛陣列的CMOS無線控制產(chǎn)生的元時(shí)波

綜上所述，研究人員提出的實(shí)驗(yàn)和模擬，預(yù)測(cè)了其開發(fā)的人工纖毛平臺(tái)在水介質(zhì)中實(shí)現(xiàn)無束縛控制和任意切換微流體操作的良好前景。例如，集成傳感器的光學(xué)驅(qū)動(dòng)CMOS電路，可以用來測(cè)量周圍流體的化學(xué)、光學(xué)和熱狀態(tài)，以便選擇合適的微流體操作，因此具有在簡(jiǎn)單的陽光照射下，使流體在輕型設(shè)備中的大量應(yīng)用的潛能。

論文鏈接：

https://doi.org/10.1038/s41586-022-04645-w

審核編輯 ：李倩