近日，上海疫情終于得到控制，政府宣布了解封的消息，隨之而來的也是一大批企業(yè)正式復(fù)工復(fù)產(chǎn)，上海及周邊地區(qū)的供應(yīng)鏈終于重新恢復(fù)了正常。

全球第一光刻機(jī)企業(yè)ASML的中國(guó)公司也正式恢復(fù)了生產(chǎn)工作，根據(jù)其發(fā)布的財(cái)報(bào)顯示，去年ASML中國(guó)地區(qū)的營(yíng)業(yè)額占據(jù)了全球總營(yíng)業(yè)額的14.5%，共計(jì)27億歐元，可見中國(guó)市場(chǎng)對(duì)ASML的重要性，這也是為什么ASML第一時(shí)間就開啟復(fù)工復(fù)產(chǎn)工作的原因。

據(jù)ASML中國(guó)公司表示，所有ASML中國(guó)的項(xiàng)目都在順利進(jìn)行中，并且為了擴(kuò)大中國(guó)市場(chǎng)，ASML中國(guó)公司還打算增加中國(guó)團(tuán)隊(duì)的人數(shù)，將繼續(xù)招聘200多名員工。

ASML為半導(dǎo)體生產(chǎn)商提供光刻機(jī)及相關(guān)服務(wù)，TWINSCAN系列是世界上精度最高，生產(chǎn)效率最高，應(yīng)用最為廣泛的高端光刻機(jī)型。全球絕大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商，都向ASML采購(gòu)TWINSCAN機(jī)型，比如英特爾（Intel）、三星、海力士、臺(tái)積電、中芯國(guó)際等。ASML的產(chǎn)品線分為PAS系列、AT系列、XT系列和NXT系列，其中PAS系列現(xiàn)已停產(chǎn)；AT系列屬于老型號(hào)，多數(shù)已經(jīng)停產(chǎn)。市場(chǎng)上的主力機(jī)種是XT系列以及NXT系列，為ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的機(jī)型，分為干式和沉浸式兩種，而NXT系列則是主推的高端機(jī)型，全部為沉浸式。已經(jīng)商用的最先進(jìn)機(jī)型是Twinscan NXT 1950i，屬于沉浸式光刻機(jī)，用來生產(chǎn)關(guān)鍵尺度低于38納米的集成電路。ASML正在加緊研制基于極紫外（EUV）光源的新型光刻機(jī)，型號(hào)定為NXE系列。如果量產(chǎn)成功，將成為劃時(shí)代的產(chǎn)品，有望將關(guān)鍵尺寸縮小至10nm以下，并且可以顯著提高集成電路質(zhì)量。

綜合整理自 中國(guó)新聞網(wǎng) 中關(guān)村在線 蔡發(fā)濤

審核編輯 黃昊宇