納米位移臺(tái)的工作原理

納米位移臺(tái)主要采用超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)超精密技術(shù)是由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)。內(nèi)部由一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng);通過柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)傳遞和放大;經(jīng)超精密電容傳感器將運(yùn)動(dòng)信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對(duì)該運(yùn)動(dòng)進(jìn)行修正、補(bǔ)償和控制;在對(duì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制時(shí)，可實(shí)現(xiàn)納米、亞納米級(jí)別的運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)控制精度。

以納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)為代表的微操控系統(tǒng)日益成為諸多超精密加工/量測(cè)裝備等相關(guān)高科技產(chǎn)業(yè)及交叉學(xué)科領(lǐng)域的核心技術(shù)。納米和亞納米尺度表征/檢測(cè)和制備方法及高端科學(xué)儀器與裝備的研發(fā)，得到了世界范圍的高度關(guān)注，也是我國戰(zhàn)略層面重點(diǎn)支持的領(lǐng)域之一。白光干涉測(cè)量系統(tǒng)以及納米裝配系統(tǒng)半導(dǎo)體、超精密加工中發(fā)揮著重要作用。

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納米位移臺(tái)在白光干涉測(cè)量系統(tǒng)以及納米裝配系統(tǒng)中的應(yīng)用：

在白光干涉儀中利用納米位移平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)z向高精度定位，采集不同軸向位置被測(cè)樣品表面的白光干涉條紋，可重建檢測(cè)面的三維表面形貌

白光干涉測(cè)量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖

系統(tǒng)三維圖

系統(tǒng)實(shí)物圖

審核編輯：湯梓紅