射頻微電子機(jī)械系統(tǒng)（RF-MEMS）是一種基于MEMS的射頻無(wú)源器件，與傳統(tǒng)的微波器件相比，它具有許多優(yōu)點(diǎn)，包括提高隔離度、降低功耗、降低成本、尺寸和重量。其中最成功的是RF-MEMS開(kāi)關(guān)。本篇文章納米軟件Namisoft將為大家詳細(xì)分享一下射頻MEMS芯片測(cè)試解決方案。

該技術(shù)可用于智能手機(jī)、移動(dòng)基礎(chǔ)設(shè)施、物聯(lián)網(wǎng)和國(guó)防等領(lǐng)域的各種無(wú)線通信應(yīng)用。它們可用于天線調(diào)諧、阻抗匹配、天線波束形成、相移以及為軟件可定義無(wú)線電（SDR）開(kāi)發(fā)可調(diào)諧濾波器。

RF MEMS是MEMS技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域之一，也是二十世紀(jì)九十年代以來(lái)MEMS領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。RFMEMS用于射頻和微波頻率電路中的信號(hào)處理，是一項(xiàng)將能對(duì)現(xiàn)有雷達(dá)和通訊中射頻結(jié)構(gòu)產(chǎn)生重大影響的技術(shù)。隨著信息時(shí)代的來(lái)臨，在無(wú)線通信領(lǐng)域，特別是在移動(dòng)通信和衛(wèi)星通信領(lǐng)域，正迫切需要一些低功耗、超小型化且能與信號(hào)處理電路集成的平面結(jié)構(gòu)的新型器件，并希望能覆蓋包括微波、毫米波和亞毫米波在內(nèi)的寬頻波段。而通訊系統(tǒng)中仍有大量不可或缺的片外分立元件，例如電感、可變電容、濾波器、耦合器、移相器、開(kāi)關(guān)陣列等，成為限制系統(tǒng)尺寸進(jìn)一步縮小的瓶頸。RF MEMS技術(shù)的出現(xiàn)有望解決這個(gè)難題。采用RF MEMS技術(shù)制造的無(wú)源器件能夠直接和有源電路集成在同一芯片內(nèi)，實(shí)現(xiàn)射頻系統(tǒng)的片內(nèi)高集成，消除由分立元件帶來(lái)的寄生損耗，真正做到系統(tǒng)的高內(nèi)聚，低耦合，能顯著提高系統(tǒng)的性能。

下一代電信系統(tǒng)和智能手機(jī)對(duì)RF MEMS開(kāi)關(guān)和其他RF MEMS器件的需求在不斷增長(zhǎng)。根據(jù)半導(dǎo)體市場(chǎng)調(diào)研機(jī)構(gòu)Yole Développement的報(bào)告，RF MEMS器件市場(chǎng)將大幅增長(zhǎng)。Yole指出，由于5G設(shè)備中需要有源天線，5G通信的發(fā)展將增加對(duì)基于MEMS的器件（如RF BAW濾波器）的需求。此外，RF MEMS振蕩器會(huì)被用于部署與5G相關(guān)的新基站和邊緣計(jì)算。

納米軟件Namisoft的RF MEMS芯片自動(dòng)測(cè)試方案

NSAT-1000RF MEMS芯片自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)線纜等無(wú)源器件進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試，測(cè)試場(chǎng)景如圖所示。用戶只要錄入測(cè)試被測(cè)產(chǎn)品的批次號(hào)、型號(hào)以及編號(hào)，便可對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行自動(dòng)測(cè)試，并保存測(cè)試數(shù)據(jù)到數(shù)據(jù)庫(kù)，用戶可根據(jù)需要查詢(xún)測(cè)試數(shù)據(jù)并生成報(bào)表。

◆兼容中電41所（思儀）、是德科技（Keysight）、安捷倫(Aglient)、日本安立（Anritsu）、羅德與施瓦茨（R&S）、韓國(guó)興倉(cāng)（Protek）、美國(guó)泰克（Tektronix）、創(chuàng)遠(yuǎn)和德力等主流網(wǎng)絡(luò)分析儀型號(hào)；智能匹配儀器型號(hào)，操作方便簡(jiǎn)單，提高測(cè)試效率；

◆自動(dòng)測(cè)量射頻微波無(wú)源器件（包括濾波器、功分器、天線、放大器、衰減器、混頻器、耦合器等）的S參數(shù)、增益、損耗、阻抗、平坦度、隔離度等指標(biāo)；

◆自動(dòng)保存配置信息、測(cè)試數(shù)據(jù)到數(shù)據(jù)庫(kù)中，方便隨時(shí)查詢(xún)；

◆自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告，用戶可根據(jù)需要定制報(bào)告模板；

◆支持電腦安裝和儀器內(nèi)部安裝兩種模式，方便用戶選擇；

◆內(nèi)置多語(yǔ)言支持，針對(duì)網(wǎng)絡(luò)分析儀系統(tǒng)的中英文不同版本可自動(dòng)匹配；

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