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基于壓電陶瓷驅(qū)動的引線鍵合用微夾鉗/線夾/微夾持器

楊明遠 ? 來源:楊明遠 ? 作者:楊明遠 ? 2023-03-15 15:43 ? 次閱讀
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引線鍵合是一種微電子封裝技術(shù),用于將微小的電子元件(如晶體管、電容器、電阻器等)連接到電路板上。該技術(shù)使用金屬線將電子元件的引腳連接到電路板上的金屬焊盤上。這種技術(shù)通常用于制造集成電路和其他微電子設(shè)備。引線鍵合中使用的金屬線通常非常細,約幾十微米。

pYYBAGQRdySAY6huAAAAAAAAAAA619.gifBy Encik Tekateki - Own work, CC BY-SA 4.0

在引線鍵合過程中,需要微夾鉗/線夾的配合,它在引線鍵合中的作用是固定和夾持引線,以確保引線在鍵合過程中不會移動或扭曲。這對于保持引線的位置和方向非常重要,因為引線的正確位置和方向可以確保電子元件的正確連接和性能。微夾鉗/線夾通常通過自動方式進行操作,在引線鍵合過程中,被放置在引線的一端或兩端,以確保引線的位置和方向正確。

由于引線鍵合中金屬線非常細,因此要求微夾鉗/線夾/微夾持器的夾持動作的位移在微米量級,既能保證夾持住金屬線,又可保證不對金屬線造成損壞,因此對夾持動作的控制要求較高。

基于上述原因,芯明天研發(fā)設(shè)計了基于壓電陶瓷驅(qū)動、結(jié)合柔性機械的微夾持器-壓電鉗/線夾,它是一種微型機械裝置,它使用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,通過改變電壓來控制壓電陶瓷的形變,從而控制夾持器的夾持力。

芯明天壓電微夾持器具有無間隙、無摩擦、結(jié)構(gòu)緊湊、安裝簡單、無需潤滑油等優(yōu)點。由于采用壓電陶瓷驅(qū)動,它又具有響應(yīng)速度快、精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。芯明天微夾持器可用于微納加工、微操縱、微裝配等微型制造領(lǐng)域,可以夾持微小的零件或器件,實現(xiàn)微小尺寸的精密操作,在微型制造領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。

芯明天為客戶提供多種類型、參數(shù)的微壓電線夾/夾持器,以下為幾款標(biāo)準(zhǔn)型號,可根據(jù)所需夾持位移大小、是否需配備閉環(huán)傳感器等要求進行選型。此外,也可根據(jù)設(shè)備結(jié)構(gòu)進行微夾持器的定制。

XD002.90K微夾鉗/線夾/微夾持器

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型號 XD002.90K 單位
運動自由度 X
標(biāo)稱行程(0~120V) ±40 μm
行程范圍(0~150V) ±50 μm
運動方向的推/拉力 10/1 N
空載階躍時間 0.7 ms
電容 0.18 μF
材質(zhì) 不銹鋼
重量 10 g
通電鉗口狀態(tài) 打開

XD002.150K微夾鉗/線夾/微夾持器

pYYBAGQRdySAfmGxAAAAAAAAAAA310.jpg

型號 XD002.150K 單位
運動自由度 X
標(biāo)稱行程(0~120V) ±60 μm
行程范圍(0~150V) ±75 μm
靜電容量 0.17 μF
材質(zhì)
重量 8.7 g
通電鉗口狀態(tài) 打開

XD002.200S微夾鉗/線夾/微夾持器該微夾持器具有閉環(huán)傳感器。

poYBAGQRdyWAJtjhAAAAAAAAAAA233.jpg

型號 XD002.200S 單位
運動自由度 X(閉環(huán))
標(biāo)稱行程(0~120V) ±80 μm
行程范圍(0~150V) ±100 μm
運動方向的推力 4 N
靜電容量 7.2 μF
材質(zhì)
重量 305 g
通電鉗口狀態(tài) 閉合

以下幾款為大行程的壓電微夾持器,行程可達500μm或1mm。

壓電線夾/壓電鉗1 參數(shù)值
夾持行程 500μm@150V
靜電容量 1.8μF
空載諧振頻率 180Hz
材質(zhì) 鈦合金
壓電線夾/壓電鉗2 參數(shù)值
夾持行程 1000μm@150V
靜電容量 3.6μF
空載諧振頻率 110Hz
材質(zhì) 鈦合金
壓電線夾/壓電鉗3 參數(shù)值
夾持行程 1000μm@150V
靜電容量 3.6μF
空載諧振頻率 90Hz
重復(fù)定位精度 0.5%F.S.
位移傳感器
材質(zhì) 鈦合金

審核編輯黃宇

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