來源：《半導(dǎo)體芯科技》雜志

北京萊伯泰科儀器股份有限公司發(fā)布針對半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)生產(chǎn)的電感耦合等離子體三重四極桿質(zhì)譜儀LabMS 5000 ICP-MS/MS。

LabMS 5000 ICP-MS/MS采用工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)27MHz固態(tài)發(fā)生器，具有極高的系統(tǒng)穩(wěn)定性；使用MS/MS模式實現(xiàn)受控且可靠的干擾去除，精準(zhǔn)去除質(zhì)量干擾離子，從而獲得更低的檢出限和準(zhǔn)確的超痕量分析結(jié)果；低背景惰性進(jìn)樣系統(tǒng)集成氣體稀釋和加氧功能，極大擴(kuò)展檢測應(yīng)用范圍；智能軟件平臺HiMass，適用于實驗室的各種分析需求，極大提高工作效率。

LabMS 5000 ICP-MS/MS可用于監(jiān)控半導(dǎo)體硅材料、第三代半導(dǎo)體材料、濕電子化學(xué)品、電子特氣、制程溶劑/光刻膠等的無機(jī)元素污染，已通過半導(dǎo)體行業(yè)SEMI S2、SEMI E78認(rèn)證，助力半導(dǎo)體芯片制造商控制產(chǎn)品質(zhì)量，提升良率。

萊伯泰科是從事實驗分析儀器研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，提供潔凈環(huán)保型實驗室解決方案以及實驗室耗材和相關(guān)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)，打造的國產(chǎn)電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）系列品牌，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生命科學(xué)、新能源等領(lǐng)域。

萊伯泰科2021年已經(jīng)對外發(fā)布了電感耦合等離子體質(zhì)譜儀LabMS 3000 ICP-MS并在多個領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了產(chǎn)品銷售，首次實現(xiàn)了國產(chǎn)ICP-MS（電感耦合等離子體質(zhì)譜儀）在半導(dǎo)體行業(yè)芯片生產(chǎn)線上的應(yīng)用，打破了國外產(chǎn)品的長期壟斷。本次發(fā)布的新品是在LabMS 3000 ICP-MS產(chǎn)品的基礎(chǔ)上推出的全新一代三重四極桿質(zhì)譜儀，主要用于無機(jī)元素檢測。目前國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)用于無機(jī)元素檢測的三重四極桿質(zhì)譜儀以進(jìn)口產(chǎn)品為主，該產(chǎn)品能夠?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)替代。

萊伯泰科表示，新產(chǎn)品的發(fā)布進(jìn)一步豐富了公司分析測試儀器產(chǎn)品線，拓寬了公司產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域，將有助于鞏固和提升公司的核心競爭力。目前，該新產(chǎn)品已取得訂單并實現(xiàn)發(fā)貨。

審核編輯：湯梓紅