在半導體檢測等諸多應用中，寬光譜光源是必備物件。比較常見的有氘燈、鎢燈、氙燈等，但這些傳統(tǒng)光源卻存在一些固有的問題。

光譜測量范圍上，它們都無法在200 nm-800 nm范圍內保持較高的輸出；壽命、亮度和穩(wěn)定性上，傳統(tǒng)光源需要在使用幾百小時或更短時間就進行重新校準，使用1000-2000小時后還需更換燈泡。

而歸根結底，這些都是其發(fā)光原理而帶來的“先天性”缺陷。傳統(tǒng)光源為電致發(fā)光，即通過光源燈室電極加高壓激發(fā)燈室中氣體放電，從而發(fā)光。這種使用電極耦合產生等離子體的方式，在亮度、穩(wěn)定性、UV波長覆蓋、壽命上都有很大的限制。

因此，從發(fā)光原理上進行變化，光源才有可能得到真正意義上的改善。今天我們將要聊到的“激光驅動白光光源（Laser Driven Light Source, LDLS）”正是完成了這一華麗轉變。

LDLS光源

什么是激光驅動白光光源（LDLS）？

激光驅動白光光源（Laser Driven Light Source, LDLS）是由美國著名EUV光源公司Energetiq（現已被濱松集團收購）開發(fā)并擁有專利技術的產品，也曾獲得被譽為光學界“奧斯卡”的“Prism Award”（棱鏡獎）。

其整體由一個特殊設計的燈室，驅動激光光源，激光聚焦光路，光源輸出光路，光源控制器等主要部分組成。和傳統(tǒng)電致發(fā)光光源原理不同，其采用無電極結構，將外置1000 nm左右波長的激光匯聚到光源燈室中，加熱氙等離子體至足夠高溫時便會發(fā)光。

LDLS有高效的光收集能力，亦可在深紫外至可見光以及更寬的光譜范圍（170 nm ~ 2100 nm）內提供超高發(fā)光亮度，其在DUV的亮度是傳統(tǒng)光源如氙燈的10倍以上。另外，整個光源的發(fā)光壽命相比較于傳統(tǒng)光源也高出近一個數量級（>9000 h），且穩(wěn)定性得到了極大的提高。

非常適合應用于寬光譜檢測、OCD量測、薄膜測厚、overlay量測、in situ量測、反應腔監(jiān)控、終點檢測等半導體領域，以及光學傳感器/組件/光纖檢測、生物/材料科學等領域。為目前在使用傳統(tǒng)弧光燈，但是苦于頻繁更換、波長覆蓋不足、亮度不夠的用戶，提供了一個新的選擇。

LDLS的優(yōu)勢點

170 nm-2100 nm波長范圍內具有超高亮度

100μm量級發(fā)光等離子體即可實現

輻照度＞10-100 mW/mm.sr.nm（波長相關）

超快速測量

光纖耦合或自由空間光束輸出

光學靈活性高

無電極結構

超長壽命、超高穩(wěn)定性、超低成本

審核編輯黃宇