壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，可集成于各類高精密裝備，為其提供納米級運動控制，且應(yīng)用非常廣泛，例如顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。隨著科技不斷進步，精密定位技術(shù)對于定位系統(tǒng)的行程、負(fù)載、精度要求也不斷攀升，哈爾濱芯明天科技有限公司持續(xù)加強技術(shù)實力和研發(fā)能力，不斷攻克技術(shù)壁壘，提升產(chǎn)品性能，以滿足對大行程、大負(fù)載、高精度的應(yīng)用要求。

此次為大家介紹的是一款具有大行程、大負(fù)載特點的一維壓電納米定位臺，型號為XD770.300S，尺寸為130mm×100mm×33mm，實物外觀如下圖所示。

Z向運動，大負(fù)載、大行程

XD770.300S壓電納米定位臺為Z軸方向的運動平臺，行程可達300μm，負(fù)載可達5kg，實現(xiàn)行程范圍和負(fù)載能力的雙提升，為同時有大行程、大負(fù)載應(yīng)用需求提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。配合芯明天壓電控制器，分辨率高、響應(yīng)速度快。

配置閉環(huán)傳感，更高精度

XD770.300S壓電納米定位臺內(nèi)部配置有閉環(huán)傳感器，反饋可體現(xiàn)精確位置的電信號，可對壓電納米定位臺的運動位置進行實時調(diào)整，提供更高的精度。經(jīng)過實測，它的線性度可達0.08%F.S.,重復(fù)定位精度可達0.02%F.S.。

緊湊尺寸，多孔安裝

XD770.300S壓電納米定位臺在具有大承載的情況下，體積并未有過大的增加，反而很緊湊。在它的移動上表面，具有16個負(fù)載安裝孔，非常便于負(fù)載的安裝。

技術(shù)參數(shù)

推薦控制器

XD770.300S壓電納米定位臺可使用芯明天E53.D系列壓電控制器驅(qū)動，它是單通道壓電控制器，可通過模擬輸入控制或上位機軟件控制。具有體積小、易集成等特點。

審核編輯黃宇